1.一种用于测量待测物的形状的测量装置,其特征在于,所述测量装置包括:
处理单元,被配置为基于通过对待测物进行成像所获得的图像来获得关于待测物的形状的信息,待测物上被投影沿第一方向交替包含明部和暗部的图案光,
其中,所述处理单元从图像的与暗部对应的区域获得相互不同且指示与第一方向相交的第二方向上的光强度分布的多个第一信号,
所述处理单元获得指示对多个校正信号的评价的评价值,所述多个校正信号是通过使用所述多个第一信号校正第二信号获得的,第二信号从图像的与明部对应的区域获得并且代表第二方向上的光强度分布,以及,
所述处理单元通过使用具有落在允许范围内的评价值的校正信号获得所述信息。
2.根据权利要求1所述的装置,其中,
所述图案光包含第一方向上的长度不同的多个暗部,以及
所述处理单元从图像的与所述多个暗部对应的多个区域获得所述多个第一信号。
3.根据权利要求2所述的装置,其中,所述处理单元从图像的与所述多个暗部在第一方向上的中心部分对应的多个区域获得所述多个第一信号。
4.根据权利要求1所述的装置,其中,所述处理单元从图像的与暗部的多个部分对应的多个区域获得所述多个第一信号,所述暗部的多个部分沿第一方向离暗部在第一方向上的端部的距离不同。
5.根据权利要求1所述的装置,其中,
所述图案光沿第一方向包含多个明部,以及
所述处理单元通过计算从图像的与所述多个明部中的一个明部对应的区域获得的第二信号与所述多个第一信号之间的差值来获得所述多个校正信号,
所述处理单元选择与所述多个校正信号中具有最高评价值的校正信号对应的第一信号,以及
所述处理单元针对从图像的与所述多个明部对应的多个区域获得的多个第二信号,通过计算第二信号和与具有最高评价值的校正信号对应的第一信号之间的差值,获得评价值落在允许范围内的校正信号。
6.根据权利要求5所述的装置,其中,所述处理单元从图像的与所述一个明部在第一方向上的中心部分对应的区域获得第二信号。
7.根据权利要求1所述的装置,其中,
所述处理单元通过计算所述多个第一信号和从图像的与明部的多个部分对应的多个区域获得的多个第二信号之间的差值,来获得所述多个校正信号,所述明部的多个部分沿第一方向离明部在第一方向上的边缘的距离不同,以及
所述处理单元针对所述明部的所述多个部分,从所述多个校正信号获得具有最高评价值的校正信号作为具有落入允许范围内的评价值的校正信号。
8.根据权利要求1所述的装置,其中,暗部配置用于识别包含图案光中的明部的线的识别部分。
9.根据权利要求8所述的装置,其中,识别部分包含多个点。
10.根据权利要求1所述的装置,其中,评价值包含指示校正信 号的波形的对称性的值。
11.根据权利要求1所述的装置,还包括:
投影单元,被配置为将图案光投影到待测物上;和
成像单元,被配置为通过对其上投影图案光的待测物进行成像来获得图像,
其中,所述处理单元基于通过成像单元获得的图像来获得关于待测物的形状的信息。
12.一种计算待测物的形状的计算方法,其特征在于,所述计算方法包括:
通过对其上投影沿第一方向交替包含明部和暗部的图案光的待测物进行成像,获得图像;以及
基于所述图像获得关于待测物的形状的信息,
其中获得所述信息包含:
从图像的与暗部对应的区域获得相互不同且指示与第一方向相交的第二方向上的光强度分布的多个第一信号;
获得指示对多个校正信号的评价的评价值,所述多个校正信号是通过使用所述多个第一信号校正第二信号获得的,第二信号从图像的与明部对应的区域获得并且代表第二方向上的光强度分布;以及
通过使用具有落在允许范围内的评价值的校正信号来获得所述信息。
13.一种用于测量待测物的形状的测量装置,其特征在于,所述测量装置包括处理单元,所述处理单元被配置为基于通过对待测物进行成像所获得的图像来获得关于待测物的形状的信息,待测物上被投影沿第一方向交替包含明部和暗部的图案光,
其中所述图案光包含第一方向上的长度不同的多个暗部,以及
所述处理单元从图像的与所述多个暗部对应的多个区域获得相互 不同且指示与第一方向相交的第二方向上的光强度分布的多个第一信号,以及
所述处理单元通过使用第一信号校正从图像的与明部对应的区域获得的并且代表第二方向上的光强度分布的第二信号,来获得所述信息。
14.根据权利要求13所述的装置,其中所述处理单元通过由第一信号校正从图像的与明部对应的区域获得的并且代表第二方向上的强度分布的第二信号,来获得所述信息。
15.根据权利要求13所述的装置,还包括:
投影单元,被配置为将图案光投影到待测物上;和
成像单元,被配置为通过对其上投影图案光的待测物进行成像来获得图像,
其中,所述处理单元基于通过成像单元获得的图像来获得关于待测物的形状的信息。
16.一种计算待测物的形状的计算方法,其特征在于,所述计算方法包括:
通过对其上投影沿第一方向交替包含明部和暗部的图案光的待测物进行成像,来获得图像;以及
基于所述图像来获得关于待测物的形状的信息,
其中,图案光包含第一方向上的长度不同的多个暗部,以及
获得所述信息包含:
从图像的与所述多个暗部对应的多个区域获得相互不同且指示与第一方向相交的第二方向上的强度分布的多个第一信号,和
通过使用第一信号校正从图像的与明部对应的区域获得的并且代表第二方向上的光强度分布的第二信号,来获得所述信息。
17.一种系统,其特征在于,包括:
测量装置,被配置为测量待测物;和
机器人,被配置为基于来自测量装置的测量结果来保持和移动待测物,
其中,测量装置测量待测物的形状,并且包括处理单元,所述处理单元被配置为基于通过对其上投影沿第一方向交替包含明部和暗部的图案光的待测物进行成像所获得的图像来获得关于待测物的形状的信息,
其中所述处理单元从图像的与暗部对应的区域获得相互不同且指示与第一方向相交的第二方向上的光强度分布的多个第一信号,
所述处理单元获得指示对多个校正信号的评价的评价值,所述多个校正信号是通过使用所述多个第一信号校正第二信号获得的,第二信号从图像的与明部对应的区域获得并且代表第二方向上的光强度分布,以及
所述处理单元通过使用具有落在允许范围内的评价值的校正信号来获得所述信息。
18.一种系统,其特征在于,包括:
测量装置,被配置为测量待测物;和
机器人,被配置为基于来自测量装置的测量结果来保持和移动待测物,
其中测量装置测量待测物的形状,并且包括处理单元,所述测量单元被配置为基于通过对其上投影沿第一方向交替包含明部和暗部的图案光的待测物进行成像所获得的图像来获得关于待测物的形状的信息,
其中图案光包含第一方向上的长度不同的多个暗部,以及
所述处理单元从图像的与所述多个暗部对应的多个区域获得相互不同且指示与第一方向相交的第二方向上的光强度分布的多个第一信号,以及
所述处理单元通过使用第一信号校正从图像的与明部对应的区域获得的并且代表第二方向上的光强度分布的第二信号,来获得所述信息。
19.一种物品的制造方法,其特征在于,包括:
通过使用机器人保持和移动被测量装置测量的待测物;以及
通过加工或组装被移动的待测物,来制造物品,
其中测量装置测量待测物的形状,并且包括处理单元,所述处理单元被配置为基于通过对其上投影沿第一方向交替包含明部和暗部的图案光的待测物进行成像所获得的图像来获得关于待测物的形状的信息,
其中,所述处理单元从图像的与暗部对应的区域获得相互不同且指示与第一方向相交的第二方向上的光强度分布的多个第一信号,
所述处理单元获得指示对多个校正信号的评价的评价值,所述多个校正信号是通过使用所述多个第一信号校正第二信号获得的,第二信号从图像的与明部对应的区域获得并且代表第二方向上的光强度分布,以及
所述处理单元通过使用具有落在允许范围内的评价值的校正信号来获得所述信息。
20.一种物品的制造方法,其特征在于,包括:
通过使用机器人来保持和移动被测量装置测量的待测物;以及
通过加工或组装被移动的待测物,来制造物品,
其中测量装置测量待测物的形状,并且包括处理单元,所述处理单元被配置为基于通过对其上投影沿第一方向交替包含明部和暗部的图案光的待测物进行成像所获得的图像来获得关于待测物的形状的信息,
其中图案光包含第一方向上的长度不同的多个暗部,以及
所述处理单元从图像的与所述多个暗部对应的多个区域获得相互 不同且指示与第一方向相交的第二方向上的光强度分布的多个第一信号,以及
所述处理单元通过使用第一信号校正从图像的与明部对应的区域获得的并且代表第二方向上的光强度分布的第二信号,来获得所述信息。