技术总结
本发明涉及测量装置、计算方法、系统和物品的制造方法。本发明提供的用于测量待测物的形状的测量装置，包括被配置为基于通过对其上投影沿第一方向交替包含明部和暗部的图案光的待测物进行成像所获得的图像来获得关于待测物的形状的信息的处理单元，其中，处理单元从图像的与暗部对应的区域获得相互不同且指示在与第一方向相交的第二方向上的光强度分布的多个第一信号。
技术研发人员：山崎刚资
受保护的技术使用者：佳能株式会社
文档号码：201610365053
技术研发日：2016.05.27
技术公布日：2016.12.07