缺陷检查方法及缺陷检查装置与流程

本发明涉及对表面形成有线状图案的工件的缺陷进行检查的缺陷检查方法及缺陷检查装置。

背景技术：

以往，有在表面形成有线状图案的工件(work)。

例如，显示用的张贴物的冲裁模具在模具主体的表面形成以封闭的环状连续的突条，将该突条的前端作为刀头来使用(参照文献1：特开2014-193966号公报)。

在制造冲裁模具时，对模具主体的平坦的表面实施切削加工或蚀刻，形成与张贴物等的冲裁轮廓对应的规定图案的突条。然后，在形成的突条的前端实施淬火处理等而形成冲裁刀。

在冲裁刀中，为了准确地进行冲裁加工、特别是要求切入深度的精度的半切，刀头的宽度及高度被要求遍及图案整体为规定值。

在这样的刀头的检查中，利用基于图像处理的图案检查装置。

作为图案检查装置，对作为工件的冲裁模具的表面进行拍摄，针对图像中出现的线状图案的刀头的形状，与基准图案进行比较，如果存在差异，则检测为缺陷(参照文献2：特开平8-184570号公报、文献3：特开2006-184037号公报)。

在刀头的形状的检查中，除了检查刀头的两侧缘的轮廓形状，还检查刀头的宽度、即两侧缘的距离。

在前述的图案检查装置中，仅选择工件表面的包含线状图案的区域，通过限定检查范围，来抑制要检查的图像的处理时间及数据量。

例如，在文献2的检查装置中，通过鼠标等操作单元，描绘出包围检查对象的框线，从而在画面上指定检查范围。此外，在文献3的检查装置中，选择成为包围检查对象的框线的图形，并将该框线配置在画面上，从而指定检查范围。

但是，在任一装置中都是由操作者来进行检查范围的指定，存在增加操作者的负担并且不利于自动化的问题。

此外，在前述的图案检查装置中，需要在各个检索区划中预先准备基准图像，以便将工件图像和基准图像进行比较。

特别是，形成于工件的表面的线状图案是微细形状的情况下，为了对其进行识别，需要高的分辨率，存在基准图像的数据量庞大的问题。

因此，如果将现有的图案检查装置用于前述的冲裁模具的刀头等具有线状图案的工件的缺陷检查，则无法避免前述的对检查范围进行指定的操作的问题、以及基准图像的准备的问题，存在难以进行高效的缺陷检查的问题。

此外，同样的问题不限于前述的冲裁模具那样的突条连续的线状图案，对于连续地形成有槽的线状图案、以及在工件表面连续地形成有光学特性不同的线状的图案也是同样的。

技术实现要素：

本发明的目的在于，提供一种缺陷检查方法及缺陷检查装置，能够高效地进行在表面形成有线状图案的工件的缺陷检查。

本发明的缺陷检查方法，对于在表面形成有线状图案的工件，检查所述线状图案的缺陷，其特征在于，包括：拍摄工序，沿着所述线状图案依次拍摄检查图像；以及检查工序，对于所述检查图像，依次进行缺陷检查，在所述检查工序中，基于所述检查图像中包含的所述线状图案的连续性及图像面积的至少某个来对缺陷进行判定。

在这样的本发明中，基于检查图像中包含的线状图案的连续性及图像面积的至少某个来对缺陷进行判定，所以不需要预先准备基准图像。此外，检查图像是沿着线状图案而依次拍摄的，所以不需要进行指定检查区划的操作。

因此，根据本发明，能够高效地进行在表面形成有线状图案的工件的缺陷检查。

本发明的缺陷检查方法优选为，在所述检查工序中，基于光学特性的差异，将所述检查图像划分为表示所述线状图案的图案区域和所述图案区 域的外侧的图案外区域，计算所述图案区域及所述图案外区域的面积，并与其他所述检查图像进行比较，如果面积没有变动，则判定为没有缺陷。

在本发明中，作为图案区域及图案外区域的面积，可以利用检查图像中的各自的面积及像素数，也可以利用某一方的占有比率等。此外，作为要比较的其他检查图像，例如可以利用相邻的前一个检查图像。

根据这样的本发明，通过检查图像中的图案区域及图案外区域的面积的计算这样的简单的操作，就能够进行作为检查工序的缺陷判定。例如，如果是以一定宽度连续的线状图案，则沿着该线状图案拍摄的检查图像中的图案区域及图案外区域的面积在任何部位均为一定。因此，像本发明这样，对于沿着线状图案拍摄的多个检查图像，分别计算图案区域及图案外区域的面积并依次进行比较，从而能够高效地进行作为检查工序的缺陷判定。

本发明的缺陷检查方法优选为，在所述检查工序中，基于光学特性的差异，将所述检查图像划分为表示所述线状图案的图案区域和所述图案区域的外侧的图案外区域，检测所述图案区域及所述图案外区域的边界线来作为所述线状图案的轮廓，如果所述轮廓是连续的，则判定为没有缺陷。

在本发明中，轮廓是否连续的判定，能够通过在一个检查图像中检测轮廓的任意的部位相对于与其相邻的部位的宽度方向的位移或倾斜角度来进行。此外，也可以通过与相邻的其他检查图像的轮廓之间的比较来判定同样的连续性。

另外，轮廓连续指的是，在轮廓中不存在相当于缺陷的预期的不连续性。相当于缺陷的不连续性指的是，轮廓线存在显著的弯曲部或折曲部的情况、存在与周围相比曲率急剧变大的部分的情况、存在轮廓线在任意点的前后交叉的角部的情况等。关于线状图案的角部，在折曲由曲线构成的情况下，有时也能够判定为轮廓是连续的。此外，在本发明中，线状图案不限于由直线部分构成的情况，也可以是一部分或整体由曲线构成。

在本发明中，判定为不连续的程度基于应检查的缺陷的程度来适当设定即可。

根据这样的本发明，通过检查图像中的线状图案的轮廓的检测及其连续性的判定这样的简单的操作，就能够进行作为检查工序的缺陷判定。例 如，如果连续的线状图案存在缺损，则该部分的轮廓是不连续的，通过与相邻部位的比较而能够容易地判定。

本发明的缺陷检查方法优选为，所述检查图像通过规定形状的检查框来指定，在所述拍摄工序中，对于所述线状图案的任意部位分配最初的所述检查框之后，对于所述线状图案的相邻部位依次分配下一所述检查框，由此拍摄沿着所述线状图案的多个所述检查图像。

在这样的本发明中，对于线状图案的整体或任意的区间，能够拍摄沿着线状图案的多个检查图像，能够得到适合基于检查工序中的线状图案的连续性及图像面积的至少某一方来进行缺陷的判定的检查图像。

本发明的缺陷检查方法优选为，所述工件为通过根据加工程序来动作的加工装置在表面形成有线状图案，在所述拍摄工序中，基于所述加工程序中包含的所述线状图案的形状数据，使依次拍摄所述检查图像的部位移动。

根据这样的本发明，能够参照用于加工工件的加工程序来设定依次拍摄检查图像的动作时的移动路径。因此，不需要为了设定移动路径而另外拍摄工件或者通过手动操作来指示。

本发明的缺陷检查方法优选为，在加工所述工件的所述加工装置装配摄像机，通过所述摄像机来拍摄所述检查图像。

根据这样的本发明，能够在工件上加工了线状图案之后，立即执行线状图案的缺陷检查。因此，不需要进行为了加工的后检查而移载工件等的操作。并且，还能够将加工装置兼用于缺陷检查，能够削减设备成本和设备空间。

本发明的缺陷检查方法优选为，在所述拍摄工序中，沿着所述线状图案使摄像机移动的同时，通过闪光灯对所述线状图案间歇地进行照明，在由所述闪光灯进行照明的期间通过所述摄像机拍摄所述检查图像。

根据这样的本发明，不必使沿着线状图案移动的摄像机停止，能够通过闪光灯拍摄来得到清晰的检查图像。因此，与反复移动和停止而进行拍摄的情况相比，能够在短时间内进行拍摄。并且，即使没有高速摄像机等特殊的摄像机也能够进行高速拍摄，所以能够降低设备成本。

本发明的缺陷检查装置，对于在表面形成有线状图案的工件，检查所 述线状图案的缺陷，其特征在于，具备：拍摄部，沿着所述线状图案依次拍摄检查图像；以及检查部，对于所述检查图像，依次进行缺陷检查，所述检查部基于所述检查图像中包含的所述线状图案的连续性及图像面积的至少某个来对缺陷进行判定。

在本发明中，作为拍摄部，例如可以利用装配于对工件进行加工的工作机械的摄像机，作为检查部，可以利用控制工作机械的控制装置。作为控制装置，可以利用与工作机械连接的NC装置(数值控制装置)或者与NC装置连接的外部计算机系统等。

在这样的本发明的缺陷检查装置中，能够得到与前述的本发明的缺陷检查方法同样的作用效果。

根据本发明，不需要预先准备基准图像，而且在拍摄检查图像时不需要进行指定检查区划的操作。因此，根据本发明，能够高效地进行在表面形成有线状图案的工件的缺陷检查。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式的装置构成的示意图。

图2是表示所述实施方式的工件的立体图。

图3是表示所述实施方式的工件的部分截断放大立体图。

图4是表示所述实施方式的拍摄工序的立体图。

图5是表示所述实施方式的拍摄工序的(A)平面图及(B)截面图。

图6是表示所述实施方式的检查工序中的正常状态的平面图。

图7是表示所述实施方式的检查工序中的缺陷检测的平面图。

图8是表示所述实施方式的检查工序中的另一缺陷检测的平面图。

图9是表示在所述实施方式中能够检查的其他线状图案的立体图。

图10是表示本发明的其他实施方式的拍摄工序的立体图。

具体实施方式

以下，基于附图来说明本发明的一个实施方式。

〔缺陷检查装置1〕

在图1中，缺陷检查装置1是通过在工作机械2的主轴头26装配摄像 机3而构成的。

工作机械2通过装配于主轴27的工具4来对工件9进行三维加工。

工作机械2在机床21的上表面具有工作台22及门形的支柱23，在支柱23的横梁24上经由鞍座25支承着主轴头26，在主轴头26支承着主轴27。

工作台22能够相对于机床21向X轴方向移动，鞍座25能够沿着横梁24向Y轴方向移动，主轴头26能够相对于鞍座25向Z轴方向移动。

通过这样的3轴移动，能够使摄像机3及工具4相对于载置在工作台22上的工件9进行三维移动。

为了控制工作机械2中的三维动作，工作机械2连接着控制装置5，控制装置5连接着控制用的计算机系统6。

控制装置5是现有的数值控制装置，基于来自计算机系统6的控制指令，控制工作机械2的动作。在控制装置5中记录有加工程序51，该加工程序51记述着用于加工工件9的工作机械2的动作。

加工程序51通过对控制装置5的操作而被执行，或者通过经由计算机系统6向控制装置5指示来执行，控制工作机械2的动作。由此，在工作机械2中，由工具4对工件9进行加工，能够在工件9上形成规定形状。

在计算机系统6中记录着检查程序62，该检查程序62用于使工作机械2执行基于本发明的缺陷检查方法的动作。

此外，在计算机系统6中记录有与控制装置5中记录的加工程序51相同的加工程序61，以供检查程序62参照。

在本实施方式的缺陷检查装置1中，装配于工作机械2的摄像机3是拍摄部，根据检查程序62动作的计算机系统6是检查部。

〔工件9〕

在图2中，本实施方式的工件9作为张贴物的冲裁模具来使用，在平坦的上表面91形成有作为冲裁刀的突条92。

突条92是以环状连续的凸形状的线状图案，是通过用立铣刀等工具4对工件9的基材90的表面进行切削来加工而成的。

如图3所示，突条92的前端面93平坦，该前端面93遍及突条92的全长被加工为同一高度。

突条92作为冲裁刀来使用，因此以前端面93的宽度较小、根部即基材90侧的宽度变大的方式形成为截面三角形状的山形，突条92的两侧的侧面94、95分别形成为倾斜面。

〔缺陷检查步骤〕

在本实施方式中，在将工具4装配到前述的工作机械2的状态下，通过由控制装置5执行加工程序51，来形成具有前述的突条92(线状图案)的工件9。

然后，在加工后，使用装配于工作机械2的摄像机3，由计算机系统6执行检查程序62，来进行线状图案的突条92的、特别是作为冲裁刀起作用的前端面93的形状的缺陷检查。

基于检查程序62的缺陷检查通过下述的拍摄工序及检查工序来进行。

〔拍摄工序〕

在拍摄工序中，通过装配于工作机械2的摄像机3，对工件9的突条92进行拍摄。

在图4中，摄像机3的拍摄对工件9的表面中由检查框Pf围出的区域来进行。然后，由摄像机3拍摄的图像从控制装置5传送到计算机系统6，作为检查图像P被依次记录。

检查图像P的分辨率被设定为，对于检查与工件9的整体相比为微细构造的突条92的前端面93而言充分高的分辨率。因此，检查图像P的大小不能大到能够一次拍摄到突条92整体的程度。

在此，执行检查程序62的计算机系统6使工作机械2动作，使摄像机3沿着突条92移动，使摄像机3的检查框Pf依次移动而反复进行拍摄。

像这样，通过使沿着突条92拍摄的多个检查图像P依次连续，能够拍摄突条92的整体。

在拍摄工序中，为了使摄像机3沿着突条92移动，执行检查程序62的计算机系统6参照计算机系统6中保持的加工程序61，从该加工程序61的加工指令的内容取得突条92的位置及形状的数据。然后，基于取得的突条92的形状数据，设定摄像机3的移动路径以追踪突条92。

具体地说，对突条92的任意部位分配最初的检查框Pf，在该检查框Pf中进行拍摄而取得了检查图像P之后，沿着突条92将检查框Pf移动一 个检查框Pf的量，对与刚刚结束了拍摄的检查框Pf相邻的部位分配下一检查框Pf，进行检查图像P的拍摄。以下，一边追踪突条92一边依次地重复进行移动和拍摄，从而能够取得涵盖了突条92整体的多个检查图像P。

如图5所示，检查框Pf和依次拍摄的检查图像P，其区域是沿着突条92的宽度方向延伸的长方形状。

如图5的(A)部及(B)部所示，检查框Pf被设定为，以突条92的前端面93为中心，两侧越过了倾斜的侧面94、95而到达工件9的上表面91。

然后，多个检查图像P以各自的长边依次相邻的状态沿着突条92配置。前述的检查框Pf的移动以多个检查图像P成为这样的排列的方式来进行。

〔检查工序〕

检查工序在对于突条92的整体完成了前述的拍摄工序之前开始。即，一边在其他部位执行拍摄工序一边对已拍摄的检查图像P执行缺陷检查。

在检查工序中，执行与检查图像P中的区域面积有关的面积检查和与检查图像P中出现的轮廓的连续性有关的连续性检查这两个检查。

在检查工序中，基于光学特性的差异，将检查图像P划分为表示线状图案的图案区域和图案区域的外侧的图案外区域。

在图6中，在相邻的检查图像P1、P2、P3中，在其宽度方向的中央处呈现有纵向延伸的亮区域AC1、AC2、AC3，在其两侧呈现有暗区域AL1、AL2、AL3及暗区域AR1、AR2、AR3。

亮区域AC1、AC2、AC3是拍摄了作为线状图案的突条92的前端面93而得的区域(图案区域)。前端面93是平坦的而且正对着摄像机3，由此，将照明光的大半部分反射而使其入射至摄像机3，所以在检查图像P1、P2、P3中成为明亮的区域。

暗区域AL1、AL2、AL3及暗区域AR1、AR2、AR3是拍摄了作为线状图案的突条92的侧面94、95而得的区域(图案外区域)。这些侧面94、95是相对于摄像机3倾斜的面，入射至摄像机3的照明光的反射光较少，在检查图像P1、P2、P3中成为暗的区域。

〔面积检查〕

在面积检查中，在各检查图像P1～P3中，计算亮区域AC1～AC3及暗 区域AL1～AR3的各像素数，根据其变动来对缺陷进行判定。

具体地说，在检查图像P1中，设亮区域AC1为20像素、暗区域AL1为40像素、暗区域AR1为40像素。

在图6中，在下一检查图像P2及再下一个检查图像P3中，亮区域AC2、AC3分别为20像素，暗区域AL2、AL3分别为40像素，暗区域AR2、AR3分别为40像素。

即，在检查图像P1～P3中，亮区域AC1～AC3及暗区域AL1～AR3的各像素数没有变动。

因此，判定为拍摄出检查图像P1～P3的部位的突条92的前端面93没有缺陷。

在图7中，检查图像P1、P2与前述的图6相同，但是在检查图像P3中，左侧的暗区域AL3突出，进入到了亮区域AC3的一部分中。

在这样的状态下，暗区域AL3超过40像素，亮区域AC3低于20像素。即，在检查图像P3中，相对于检查图像P1、P2，亮区域(图案区域)及暗区域(图案外区域)的面积发生了变动，所以判定为存在缺陷。

这样的图7的缺陷在前端面93的边缘产生了缺口时等情况下被检测到。

此外，在如图8所示的检查图像P3那样前端面93向宽度方向变形的情况下，相对于其他检查图像P1、P2，亮区域AC3的像素数没有变动，但两侧的暗区域AL3、AR3的像素数变动，所以能够作为缺陷检测到。

〔连续性检查〕

在图8中，如前述那样，如检查图像P3那样前端面93向宽度方向变形的情况下，通过检查亮区域(图案区域)的轮廓的连续性、即与暗区域(图案外区域)的边界线的形状的连续性，能够对缺陷进行判定。

在连续性检查中，在各检查图像P1～P3中，将亮区域AC1～AC3与暗区域AL1～AL3的边界线EL1～EL3、以及亮区域AC1～AC3与暗区域AR1～AR3的边界线ER1～ER3作为线状图案即突条92的前端面93的轮廓来检测。

根据亮区域AC1～AC3与暗区域AL1～AL3的明亮度的差、以及亮区域AC1～AC3与暗区域AR1～AR3的明亮度的差，能够分别检测这些边界 线EL1～EL3及边界线ER1～ER3的位置。

在此，在检查图像P1、P2中，边界线EL1、EL2以直线延伸。但是，在检查图像P3中，暗区域AL3进入到亮区域AC3中，边界线EL3以弧状弯曲。结果，相对于边界线EL1、EL2的延长线(在检查图像P3中以虚线示出)，边界线EL3较大地偏离，将其判定为缺陷。

同样，相对于边界线ER1、ER2，边界线ER3以弧状弯曲，相对于边界线ER1、ER2的延长线(在检查图像P3中以虚线示出)，边界线ER3较大地偏离，将其判定为缺陷。

〔检查的结束〕

依次执行前述那样的拍摄工序及检查工序，在面积检查及连续性检查中均未发现缺陷而遍及线状图案即突条92整体进行了检查之后，认为检查的工件9“无缺陷”，结束缺陷检查。

另一方面，如果在面积检查及连续性检查的某个中发现了缺陷，则在该时刻中止拍摄工序及检查工序的依次执行，对于该工件9记录缺陷。

〔实施方式的效果〕

在本实施方式中，在检查工序中，能够基于检查图像P中呈现的作为线状图案的突条92的连续性及图像面积的至少某个来对缺陷进行判定，在缺陷检查中，不需要预先准备突条92的基准图像。

此外，在拍摄工序中，检查图像P是沿着作为线状图案的突条92依次拍摄的，所以不需要由操作者进行指定检查区划的操作。

因此，能够高效地进行在表面形成有作为线状图案的突条92的工件9的缺陷检查。

在本实施方式中，在检查工序中采用了面积检查，所以通过检查图像P中的图案区域(亮区域AC1～AC3)及图案外区域(暗区域AL1～AR3)的面积的计算这样的简单的操作，就能够进行作为检查工序的缺陷判定。

特别是，在本实施方式中，累计各检查图像P1～P3中的各区域的像素数，并与其他检查图像中的像素数进行比较，所以能够更高效地进行作为检查工序的缺陷判定。

在本实施方式中，在检查工序中还进行连续性检查，所以能够更可靠地进行缺陷检查。

在连续性检查中，通过检查图像P中的线状图案的轮廓的检测(亮区域及暗区域的边界线的检测)及其连续性的判定这样的简单的操作，就能够进行作为检查工序的缺陷判定。

在本实施方式中，在拍摄工序中，沿着作为线状图案的突条92来依次分配检查框Pf，拍摄多个检查图像P，所以能够得到适合检查工序中的前述的面积检查及连续性检查的检查图像。

特别是，在本实施方式中，能够参照与用于加工工件9的加工程序51相同的加工程序61来设定依次拍摄检查图像P的动作时的移动路径。因此，不需要为了设定移动路径而另外拍摄工件9或者通过手动操作来指示。

进而，在本实施方式中，在加工工件9的工作机械2上装配摄像机3，通过该摄像机3来依次拍摄检查图像P，所以能够在对工件9加工了作为线状图案的突条92之后立即对其执行缺陷检查。

因此，不需要进行在加工后为了检查而移载工件9等的操作。并且，能够将工作机械2兼用作缺陷检查装置1，能够削减设备成本及设备空间。

〔其他实施方式〕

本发明不限于前述的实施方式，能够达成本发明的目的的范围内的变形等包含在本发明中。

在所述实施方式中，在检查工序中，进行面积检查及连续性检查的双方，但是也可以仅进行某一方。

作为面积检查，不限于所述实施方式那样计算检查图像P中的图案区域(亮区域AC1～AC3)及2个图案外区域(暗区域AL1～AL3及暗区域AR1～AR3)各自的面积。

例如，也可以将2个图案外区域(暗区域AL1～AL3及暗区域AR1～AR3)合并，计算明亮的图案区域和暗的图案外区域这2个的面积。

特别是，作为2个区域来处理的情况下，将检查图像P分为2个区域，所以只要计算出明亮的图案区域和暗的图案外区域的某个的面积(像素数)，通过从根据检查框Pf而已知的检查图像P的整体面积(全部像素数)中减去该计算出的面积，就能够计算出另一方的面积。

在这样的面积检查中也能够检测图7那样的亮区域AC3的单侧的轮廓弯曲那样的缺陷。

作为连续性检查，不限于所述实施方式那样针对检查图像P中的图案区域(亮区域AC1～AC3)与两侧的图案外区域(暗区域AL1～AL3及暗区域AR1～AR3)的边界线来与相邻的检查图像P进行比较。

例如，也可以在同一检查图像P中检查图像中呈现的边界线的连续性，检测相当于缺陷的不连续性。

在所述实施方式中，作为检查对象的线状图案，使用了图2所示的矩形的突条92。所述实施方式的检查对象不限于各部由直线构成的矩形，也可以是一部分或整体由曲线构成的线状图案，例如可以使用图9所示的圆形的突条92A。

在所述实施方式中，在拍摄工序中，使用规定形状的检查框Pf进行拍摄，取得多个一定尺寸的检查图像P。

与此相对，在拍摄时也可以不使用检查框Pf，而取得与突条92等的线状图案相应的形状及尺寸的图像，并在检查工序中对其进行检查。

但是，如本实施方式那样将多个检查图像P设为一定的形状尺寸，能够高效地对检查工序中的检查进行处理。

在所述实施方式中，一边在作为线状图案的突条92的一部分执行拍摄工序，一边对已经拍摄了检查图像P的部位执行检查工序，从而并行地进行拍摄工序及检查工序，能够缩短处理时间。

但是，也可以对于作为线状图案的突条92依次执行拍摄工序，在对于突条92的整体取得了检查图像P之后，一并执行检查工序。

在所述实施方式中，在拍摄工序中，一边使摄像机3沿着突条92(线状图案)移动一边使用检查框Pf进行拍摄，取得多个检查图像P。在通常的摄像机3中，为了得到清晰的图像，需要在拍摄位置停止。即，摄像机3重复“移动～停止～拍摄～移动”这样的动作，可能会导致处理时间变得冗长。

与此相对，作为本发明的另一实施方式，能够采用闪光灯拍摄。

在图10中，本实施方式基本上具有与前述的图1～图9的实施方式同样的构造。但是，与摄像机3相邻地设置有闪光灯3A，能够以强光间歇地对将摄像机3的检查框Pf覆盖的区域Lf进行照明。

在这样的本实施方式中，使摄像机3沿着突条92连续地移动，在该期 间中利用闪光灯3A间歇地对突条92进行照明，在照明的期间由摄像机3进行拍摄。

由此，突条92被闪光灯3A的强光照明，摄像机3所拍摄的图像清晰。进而，摄像机3不需要停止，所以能够缩短拍摄的处理时间。其结果，即使不使用高速摄像机，也能够高速地得到清晰的图像，能够降低设备成本。

在所述实施方式中，在加工工件9的工作机械2中，在主轴27上装配工具4，并且在主轴头26上装配摄像机3，由此作为缺陷检查装置1而使用。

但是，也可以不是在工作机械2同时设置摄像机3和工具4，而是采用更换式。例如，也可以在主轴27上装配工具4并进行了工件9的加工之后，卸下工具4而在主轴27上装配摄像机3，进行工件9的拍摄。

像这样将摄像机3装配到主轴27的情况下，不需要在主轴头26上装配摄像机3，使用自动工具更换装置就能够简单地装配摄像机3。

但是，频繁地更换工具4和摄像机3是非高效的，所以限定为在工具4对工件9的加工全部结束之后、再由摄像机3依次拍摄突条92(线状图案)这样的工序。

与此相对，如果像所述实施方式那样在工作机械2设置摄像机3及工具4，则也可以采用对工件9的一部分进行加工、拍摄加工完的部分、再对下一部分进行加工、然后再进行拍摄、这样的工序。

在所述实施方式中，在工作机械2上装配摄像机3并兼用作了缺陷检查装置1，但是也可以使用与加工工件9的工作机械2不同的专用的缺陷检查装置1。

这种情况下，优选为取出由工作机械2的控制装置5执行的加工程序51或者在此指定的突条92的形状(线状图案)，存入到专用的缺陷检查装置1，以便在拍摄工序中利用。

在所述实施方式中，还在计算机系统6中记录了与为了加工工件9而记录在控制装置5中的加工程序51相同的加工程序61，参照该加工程序61，在拍摄工序进行作为线状图案的突条92的追踪。但是，如果在加工工件9的加工程序51、61之外还有线状图案的形状数据，也可以利用该形状数据。