技术总结
本发明涉及缺陷检查方法及缺陷检查装置。为了检查在工件(9)的表面形成的作为线状图案的突条(92)的缺陷，具有：拍摄工序，沿着突条(92)依次拍摄检查图像(P)；以及检查工序，对于检查图像(P)，依次进行缺陷检查，在检查工序中，基于检查图像(P)中包含的突条(92)的前端面的轮廓的连续性及图像面积来对缺陷进行判定。在拍摄工序中，根据从工件(9)的加工程序得到的突条(92)的形状数据来使摄像机(3)移动。
技术研发人员：室伏勇
受保护的技术使用者：东芝机械株式会社
文档号码：201610404074
技术研发日：2016.06.08
技术公布日：2016.12.21