一种基于有机薄膜晶体管反相器的传感器的制作方法

文档序号:11858478阅读:来源:国知局
技术总结
一种基于有机薄膜晶体管反相器的传感器,包括电接触端子以及设置于衬底之上的第一有机薄膜晶体管和第二有机薄膜晶体管,所述第一有机薄膜晶体管作为负载元件,采用有机半导体层埋在栅绝缘层下面的顶栅底接触型结构,所述第二有机薄膜晶体管作为传感元件实现各类传感功能,采用有机半导体层暴露在外面的底栅底接触型结构,该第一有机薄膜晶体管和第二有机薄膜晶体管公用同一栅绝缘层,组成互补反相器,所述电接触端子与所述第一有机薄膜晶体管连接。较之于单一有机薄膜晶体管传感器而言,本发明极大地提升了传感器的稳定性和降低了传感器的功耗,具有稳定性好、功耗低、结构简单、加工工序简化和制造成本低的优点。

技术研发人员:郭小军;唐伟;李乔峰;黄钰坤;丁立;赵家庆
受保护的技术使用者:上海交通大学
文档号码:201610417269
技术研发日:2016.06.15
技术公布日:2016.11.16

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