一种用于设备壳体细微形变检测的石墨烯探测元件的制作方法

文档序号:11944296阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于设备壳体细微形变检测的石墨烯探测元件,包括电路板,其特征在于:所述电路板上开有镂空;所述电路板位于镂空处的两面分别贴有石墨烯导电薄膜;所述石墨烯导电膜附于绝缘的弹性基层上,且上下两层石墨烯导电薄膜相对设置;石墨烯导电膜与电路板之间设置有贴合电极。

2.根据权利要求1所述的一种用于设备壳体细微形变检测的石墨烯探测元件,其特征在于:所述石墨烯导电膜为三维石墨烯导电薄膜。

3.根据权利要求2所述的一种用于设备壳体细微形变检测的石墨烯探测元件,其特征在于:所述石墨烯导电膜图形化为圆柱形、方柱形、圆锥形、方锥形中的一种,且上下石墨烯导电膜图形化后的形态相互啮合。

4.根据权利要求3所述的一种用于设备壳体细微形变检测的石墨烯探测元件,其特征在于:所述石墨烯导电膜的厚度为为100nm~2um,图形化后的形态底部直径或者宽度为为100nm~100um。

5.根据权利要求1所述的一种用于设备壳体细微形变检测的石墨烯探测元件,其特征在于:所述基层由PDMS、TPU、Ecoflex、PET中的一种制作。

6. 根据权利要求5所述的一种用于设备壳体细微形变检测的石墨烯探测元件,其特征在于:所述基层的厚度为0.1 um~500um。

7.根据权利要求1所述的一种用于设备壳体细微形变检测的石墨烯探测元件,其特征在于:所述石墨烯导电膜方阻为10~1000Ω/□。

8.根据权利要求1所述的一种用于设备壳体细微形变检测的石墨烯探测元件,其特征在于:所述贴合电极为银浆。

9.根据权利要求1所述的一种用于设备壳体细微形变检测的石墨烯探测元件,其特征在于:还包括从贴合电极引出的引出线端子。

10.根据权利要求1所述的一种用于设备壳体细微形变检测的石墨烯探测元件,其特征在于:所述电路板为FPC柔性电路板,其厚度为0.1~0.2mm。

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