一种可拆卸的集成式变温测试杜瓦及其组件的制作方法

文档序号:12265737阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可拆卸的集成式变温测试杜瓦,包括变温杜瓦主体(1),其特征在于:所述变温杜瓦主体(1)包括冷指基座(3)、外壳(4)、冷指气缸(5)、冷盘(15)和性能测试组件,所述外壳(4)下端与冷指基座(3)连接,所述外壳(4)由可拆卸连接的上部分和下部分构成密闭空间,该密闭空间内由下至上依次连接冷指气缸(5)、冷盘(15)和性能测试组件,所述外壳(4)上设置真空阀(6)。

2.如权利要求1所述的可拆卸的集成式变温测试杜瓦,其特征在于:所述冷指气缸(5)设置在外壳(4)的下部分内,所述冷盘(15)和性能测试组件设置在外壳(4)的上部分内。

3.如权利要求1所述的可拆卸的集成式变温测试杜瓦,其特征在于:所述外壳(4)的上部分和下部分之间通过法兰(9)连接,外壳(4)的上部分与法兰(9)之间通过螺钉(8)紧固连接,所述冷盘(15)位于法兰(9)处。

4.如权利要求3所述的可拆卸的集成式变温测试杜瓦,其特征在于:所述外壳(4)的上部分与法兰(9)之间通过O型橡胶圈(16)密封。

5.如权利要求1所述的可拆卸的集成式变温测试杜瓦,其特征在于:所述外壳(4)的上部分为窗口组件,该窗口组件包括窗框(10)和设置在窗框(10)顶部的窗片(11),窗框(10)下端与外壳(4)的下部分可拆卸连接。

6.如权利要求1所述的可拆卸的集成式变温测试杜瓦,其特征在于:所述冷盘(15)的下表面粘接有活性炭(17)。

7.如权利要求1或2所述的可拆卸的集成式变温测试杜瓦,其特征在于:所述性能测试组件包括陶瓷引线环(7)、陶瓷基板(14)、冷屏(13)和滤光片(12),所述陶瓷引线环(7)设置在外壳(4)的上部分和下部分之间,所述陶瓷基板(14)、冷屏(13)和滤光片(12)由下至上依次连接在冷盘(15)上。

8.如权利要求7所述的可拆卸的集成式变温测试杜瓦,其特征在于:所述冷屏(13)为内空的圆柱结构,冷屏(13)下端与陶瓷基板(14)之间通过低温胶粘接。

9.如权利要求1所述的可拆卸的集成式变温测试杜瓦,其特征在于:所述变温杜瓦主体(1)的氦质谱检漏率<0.1×10-12Pa·m3/s。

10.如权利要求1~9任一项所述的可拆卸的集成式变温测试杜瓦组件,其特征在于:包括变温杜瓦主体(1)和制冷机(2),所述变温杜瓦主体(1)的外壳(4)下端通过冷指基座(3)与制冷机(2)连接,所述冷指气缸(5)底部通过冷指基座(3)与制冷机(2)的出气口连通。

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