微电子气体传感器的制作方法

文档序号:13759054阅读:285来源:国知局

本发明属于一种传感器,具体涉及一种微电子气体传感器。



背景技术:

气体传感器是一种将某种气体体积分数转化成对应电信号的转换器。探测头通过气体传感器对气体样品进行调理,通常包括滤除杂质和干扰气体、干燥或制冷处理仪表显示部分。

测量时,由于气体分子的离吸作用使其表面电位高低发生变化,传感器的电阻值发生变化,电阻值的变化是检测气体的浓度,而待测气体很容易混入一些杂质,待测气体与半导体表面吸附的氧发生氧化反应,从而降低传感器的灵敏度,影响测量数据的精确性。而现有的气体传感器结构比较复杂,维护不便,并且测量的气体没妥善的处理,对环境造成一定的污染。

因此,发明一种微电子气体传感器显得非常必要。



技术实现要素:

本发明的目的在于提供一种微电子气体传感器,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种微电子气体传感器,是由筒体、测量气室、气体扩散通道和储气瓶组成,所述筒体底部与测量气室连接,所述测量气室下端通过气体扩散通道与储气瓶连接,所述筒体内部设置有滤芯,所述滤芯外壁和筒体内壁之间设置有滤网,所述筒体下端一侧设置有开关阀门,所述筒体一侧设置进气管,所述筒体顶部设置有端盖,所述测量气室内部设置传感器元件。

优选的,所述滤网为螺旋型。

优选的,所述筒体与端盖可拆卸连接。

优选的,所述筒体底端为向下弧形结构。

优选的,所述气体扩散通道设置有两个。

优选的,所述储气瓶口设有密封环。

本发明的技术效果和优点:该微电子气体传感器,通过过滤器与传感器结合的方式,过滤器顶部采用可拆卸端盖,便于拆卸滤芯,过滤之后的气体进入测量气室,提高了传感器的灵敏度和精确度,检测完成后通过气体扩散通道进入储气瓶,避免了被测气体与空气中的其他物质发生化学反应,起到了保护环境的好处。

附图说明

图1为本发明的结构示意图;

图中:筒体1、测量气室2、气体扩散通道3、储气瓶4、滤芯5、滤网6、开关阀门7、进气管8、端盖9、传感器元件10。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

本发明提供了如图1所示的一种微电子气体传感器,是由筒体1、测量气室2、气体扩散通道3和储气瓶4组成,所述筒体1底部与测量气室2连接,所述测量气室2下端通过气体扩散通道3与储气瓶4连接,所述筒体1内部设置有滤芯5,所述滤芯5外壁和筒体1内壁之间设置有滤网6,所述筒体1下端一侧设置有开关阀门7,所述筒体1一侧设置进气管8,所述筒体1顶部设置有端盖9,所述测量气室2内部设置传感器元件10。

进一步地,所述滤网6为螺旋型。

进一步地,所述筒体1与端盖9可拆卸连接。

进一步地,所述筒体1底端为向下弧形结构。

进一步地,所述气体扩散通道3设置有两个。

该微电子气体传感器,通过过滤器与传感器结合的方式,过滤器顶部采用可拆卸端盖9,便于拆卸滤芯5;当被测气体由进气管8进入筒体1后,气体中的杂质在滤芯5和滤网6共同作用下过滤出来,达到更好的过滤效果,然后进入测量气室2进行检测,由于金属氧化物一旦加热,空气中的氧就会从金属氧化物半导体结晶粒子的施主能级中夺走电子,而在结晶表面上吸附负电子,使表面电位增高,从而阻碍导电电子的移动,所以,气体传感器在空气中为恒定的电阻值。这时还原性气体与半导体表面吸附的氧发生氧化反应,由于气体分子的离吸作用使其表面电位高低发生变化,随之传感器的电阻值要发生变化。对于还原性气体,电阻值减小,对于氧化性气体,则电阻值增大。因此,根据电阻值的变化就能检测气体的浓度。检测完成后通过气体扩散通道3进入储气瓶4,避免了被测气体与空气中的其他物质发生化学反应,起到了保护环境的好处。

最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

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