一种光学气体传感器芯体、传感器及芯体制备方法与流程

文档序号:11912543阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光学传感器芯体,其特征在于,包括基片(1),所述基片(1)上设有底层反射层(3),所述底层反射层(3)上设有电极柱(4),所述电极柱(4)的另一端上设有顶层反射层(6),所述底层反射层(3)和顶层反射层(6)平行设置且中间形成光腔室,所述底层反射层(3)的两侧分别设置有发射组件(9)和接收组件(10),所述发射组件(9)的光发射方向和接收组件(10)的光接收方向与顶层反射层(6)呈夹角β,所述夹角0<β<90度。

2.根据权利要求1所述的光学传感器芯体,其特征在于,所述底层反射层(3)的两侧设有倾斜状的台阶(8),所述发射组件(9)和接收组件(10)安装于台阶(8)的倾斜面上。

3.根据权利要求1所述的光学传感器芯体,其特征在于,所述顶层反射层(6)于光腔室的一内侧设置有支撑层(5),所述支撑层(5)为Si3N4支撑层。

4.根据权利要求3所述的光学传感器芯体,其特征在于,所述顶层反射层(6)的外侧设置有保护层(7)。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的光学传感器芯体,其特征在于,所述发射组件(9)为发光二极管,所述接收组件(10)为红外探测器。

6.根据权利要求1至4中任意一项所述的光学传感器芯体,其特征在于,所述基片(1)与所述底层反射层(3)之间设置有过渡层(2)。

7.根据权利要求1至4中任意一项所述的光学传感器芯体,其特征在于,所述底层反射层(3)和顶层反射层(6)均为Al反射层;所述电极柱(4)为Al电极柱。

8.一种光学传感器,其特征在于,包括基座(12),所述基座(12)内设有空腔且一端安装有透气外壳(14),所述空腔内安装有如权利要求1至7中任意一项所述的光学传感器芯体,所述基座(12)的另一端烧结有引针(13),所述引针(13)的一端与芯体相连,另一端伸出至基座(12)外部。

9.一种如权利要求1至7中任意一项所述的光学传感器芯体的制备方法,其特征在于,步骤为:

S01、清洗基片(1);

S02、在所述基片(1)上制备底层反射层(3),并在底层反射层(3)的两侧安装发射组件(9)和接收组件(10);

S03、在底层反射层(3)上制备牺牲层和电极柱(4);

S04、在电极柱(4)的上端制备顶层反射层(6);

S05、释放牺牲层,以使底层反射层(3)和顶层反射层(6)之间形成光腔室,所述发射组件(9)的光发射方向和接收组件(10)的光接收方向与顶层反射层(6)呈夹角β,所述夹角0<β<90度。

10.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,在步骤S02中,在所述底层反射层(3)的两侧制备倾斜状台阶(8),所述发射组件(9)和接收组件(10)分别安装于底层反射层(3)两侧台阶(8)的倾斜面上。

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