技术总结
本发明公开了一种光学传感器芯体，包括基片，基片上设有底层反射层和电极柱，电极柱的上端设有顶层反射层，底层反射层的两侧分别设置有发射组件和接收组件。本发明还公开了一种光学传感器，包括基座，基座内设有空腔，空腔内安装有芯体。本发明的芯体及传感器均具有适用于不同浓度气体检测、以及结构简单、体积小等优点。本发明还公开了一种芯体制备方法，步骤S01、清洗基片；S02、在基片上制备底层反射层，并在底层反射层的两侧安装发射组件和接收组件；S03、在底层反射层上制备牺牲层和电极柱；S04、在电极柱的上端制备顶层反射层；S05、释放牺牲层，以使底层反射层和顶层反射层之间形成光腔室。本发明的方法具有操作简便、工艺简单、易于实现等优点。
技术研发人员：何峰;谢贵久;陈伟;陈浩;谢锋;颜志红
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第四十八研究所
文档号码：201611074790
技术研发日：2016.11.29
技术公布日：2017.05.17