技术特征：
技术总结
提供一种扫描探针，以用于坐标测量机。扫描探针包括旋转位置检测配置和轴向位置检测配置，旋转位置检测配置输出表示触针联接部分围绕旋转中心的旋转的X和Y位置信号，轴向位置检测配置输出表示触针联接部分沿着轴向方向的位置的Z位置信号。Z位置信号对轴向检测偏转器在横向于轴向方向的至少一个方向上的运动基本上不敏感。X、Y和Z位置信号可以被处理，以确定触针的接触部分的3D位置，其可以包括利用Z位置信号结合扫描探针的已知三角学，从X或Y位置信号中的至少一个移除轴向运动交叉耦合分量。
技术研发人员：D.W.塞斯科
受保护的技术使用者：株式会社三丰
技术研发日：2016.12.19
技术公布日：2017.07.14