一种高精度谐振压力传感器芯体底座的制作方法

文档序号:11103080阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高精度谐振压力传感器芯体底座,包括螺纹、基座、凹槽、敏感芯片安装槽、引脚,其特征在于,所述的基座采用不锈钢材质,所述引脚采用膨胀系数稳定的合金材料,其中有6个引脚,每个引脚与基座之间都设置玻璃绝缘层,本发明与被封装器件采用铝丝焊接,引脚镀金。

2.根据权利要求书1所述的一种高精度谐振压力传感器芯体底座,其特征在于,所述基座底面上设置凹槽,凹槽深度为1.7mm。

3.根据权利要求书1所述的一种高精度谐振压力传感器芯体底座,其特征在于,所述玻璃绝缘层的玻璃膨胀系数与引脚的合金材料的膨胀系数相匹配。

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