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一种高精度谐振压力传感器芯体底座的制作方法
文档序号:11103080
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来源:国知局
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一种高精度谐振压力传感器芯体底座的制造方法与工艺
技术总结
本发明公开了一种高精度谐振压力传感器芯体底座,用于高精度压力传感器芯体表头封装,包括螺纹、基座、凹槽、敏感芯片安装槽、引脚。引脚与基座之间设置玻璃绝缘层,本发明的优点为:密封结构有效的将外界介质与传感器芯体隔离,保护芯体;引脚与基座之间的玻璃绝缘层尽可能地削弱温度所带来的影响。
技术研发人员:
常林法
受保护的技术使用者:
蚌埠开恒电子有限公司
文档号码:
201611207392
技术研发日:
2016.12.23
技术公布日:
2017.05.10
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