本发明涉及缺陷检测领域，特别涉及一种缺陷检测装置及方法。
背景技术：
随着平板显示大范围应用，对平板显示的缺陷检测要求日益凸显。目前，业界对mura(平板由于亮度显示不均匀性造成各种痕迹的现象)检测多数还是通过人工目视检查，受主观影响大，易出现漏检等问题。
使用设备采图并检测mura所存在的难点在于：如图1所示，莫尔条纹1是由周期接近的两组周期图案形成的拍频图案，容易被探测到从而造成误检，或淹没缺陷信号。但由于莫尔条纹图像与平板方向、像素尺寸、相对夹角等众多因素相关，每块薄膜晶体管显示屏的莫尔条纹1都不同，难以通过常规的图像处理方法完全消除，如频域滤波、作为固定背景消除等处理方法。
技术实现要素：
为了弥补现有的技术缺陷，本发明提出一种缺陷检测装置及方法，获得信噪比更高的图像，能清楚分辨出莫尔条纹引起的干扰，从而更有效的检测缺陷。
为实现上述目的，本发明的技术方案如下：
一种缺陷检测装置，其特征在于，包括
光学单元，用于对发光面板成像；
探测单元，放置在光学单元的像面上，用于接收发光面板的成像；
微动单元，用于使探测单元感光面相对于发光面板的像发生位置的振动；
以及
处理单元，和探测单元相连接，用于分析处理探测单元采集的图像。
可选地，所述微动单元与所述探测单元连接。
可选地，所述微动单元与所述光学单元连接。
可选地，所述微动单元与发光面板连接。
可选地，所述微动单元与所述光学单元和探测单元的整体结构连接。
可选地，所述微动单元采用压电陶瓷驱动器。
为实现上述目的，本发明还提出采用上述缺陷检测装置的一种缺陷检测方法，包括利用微动单元使得探测单元的感光面相对于发光面板的像发生位置的振动，探测单元采集振动状态下发光面板在光学单元上的成像，处理单元对采集图像进行分析处理。
可选地，所述利用处理单元分析对采集图像进行处理分析的过程包括：
1)对采集图像进行预处理；
2)通过缺陷检测算法检测图像的缺陷；
3)输出缺陷信息。
可选地，所述微动单元在图像单次采集时间内产生振动至少1个周期。
可选地，振动的方向与像素排列方向呈30至60度的夹角。
可选地，振动的振幅大于等于0.25像素且小于1像素。
可选地，所述微动单元在图像单次采集时间内产生振动大于10个周期。
可选地，所述缺陷检测算法是阈值分割法或者边缘提取方法。
本发明提供了一种缺陷检测装置及方法，加入微动单元，在检测过程中微小改变发光面板与探测器相对位置关系，探测两幅或多幅发光面板图像，再对采集到的图像进行处理分析，提高了图像信噪比，清楚分辨出莫尔条纹引起的干扰，提高缺陷检测的准确性。
附图说明
附图1为莫尔条纹示意图；
附图2为本发明实施例一缺陷检测装置结构示意图；
附图3为无振动匀化的莫尔条纹仿真效果图；
附图4为振动匀化后的单方向莫尔条纹仿真效果图；
附图5为本发明实施例二缺陷检测装置结构示意图；
附图6为本发明实施例三缺陷检测装置结构示意图；
附图7为本发明实施例四缺陷检测装置结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。需说明的是，本发明附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的
实施例一：
本实施例的缺陷检测装置，如图2所示，包括待检测单元50、光学单元10、探测单元20、微动单元30和处理单元40，所述待检测单元50为发光面板，所述光学单元10放置在发光面板上，收集发光面板发出的光并成像，所述探测单元20放置在光学单元10像面上，接收发光面板经过光学单元10的成像，微动单元30与探测单元20连接，处理单元40与探测单元20相连接，处理分析探测单元20采集的图像数据。本实施例微动单元30优选采用压电陶瓷驱动器。
继续参照图2，本实施例还提供一种缺陷检测方法，包括如下步骤：
1)利用微动单元30使得探测单元20感光面相对于发光面板的像发生位置的振动：具体地，启动微动单元30，使微动单元30处于周期振动状态，带动探测单元20共同产生微小振动，并且在探测单元20积分时间内也即是图像单次采集时间内至少振动1个周期，最好大于10个周期，可以消除莫尔条纹的影响。最佳效果为整数周期。为适应不同检测曝光时间，可增加较为复杂昂贵的控制设备控制振动元件在曝光时间内振动整数周期。实际使用过程中，为降低成本，可使用一个振动频率较高的振动元件实现在曝光时间内多周期的振动，获得较好的莫尔条纹抑制效果。本实施例优选10.1个周期进行说明。
进一步的，微动单元30在像素排列方向上的振幅大于等于0.25像素，小于1像素，本实施例优选0.5像素，振动方向设置在像素排列方向的30至60度角，本实施例优选45度角。
2)探测单元20采集振动状态下发光面板在光学单元10上的成像：
发光面板发出的光进入光学单元10，并在探测单元20的感光面上成像，探测单元20采集振动状态下发光面板的成像。
3)最后利用处理单元40对探测单元20采集到的图像进行处理分析：
具体为：首先对采集的图像进行预处理，然后通过缺陷检测算法检测图像缺陷，检测算法有阈值分割、边缘提取等图像处理算法，本实施例优选阈值分割方法；最后输出缺陷信息，如强度差异百分比等。
如图3所示，未经过振动匀化的图像受莫尔条纹干扰很严重，如图4所示，采用本实施例的装置和方法后，获得的图像经过分析处理后基本消除了莫尔条纹的干扰。
实施例二：
如图5所示，本实施例和实施例一的区别在于：本实施例中的微动单元30与光学单元10连接。也即是说，本实施例中，微动单元30通过带动光学单元10周期振动，使得探测单元20感光面相对于发光面板的像发生位置的振动，进而清楚分辨出莫尔条纹引起的干扰，提高缺陷检测的准确性。
实施例三：
如图6所示，本实施例和实施例一的区别在于：本实施例中的微动单元30与光学单元10和探测单元20形成的整体结构连接。也即是说，本实施例中，微动单元30通过带动光学单元10和探测单元20形成的整体结构周期振动，使得探测单元20感光面相对于发光面板的像发生位置的振动，进而清楚分辨出莫尔条纹引起的干扰，提高缺陷检测的准确性。
实施例四：
如图7所示，本实施例和上述三个实施例区别在于：本实施例中的微动单元30与发光面板连接。也即是说，本实施例中，微动单元30通过带动发光面板周期振动，使得探测单元20感光面相对于发光面板的像发生位置的振动，进而清楚分辨出莫尔条纹引起的干扰，提高缺陷检测的准确性。
上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。