与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置的制作方法

文档序号:12799804阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置,该拉伸装置(B)包括底座(1)、高精度涡轮式粗微调微分头(2)、固定立柱(3)、活动挡板(4)、固定挡板(5)、弹性基片(6)、电机(7)、电机电源(8),其中:底座(1)的一端设有固定挡板(5);底座(1)的另一端设有固定立柱(3);高精度涡轮式粗微调微分头(2)设置在固定立柱(3)上,并且与活动挡板(4)连接;活动挡板(4)位于固定挡板(5)和固定立柱(3)之间;弹性基片(6)被夹持于活动挡板(4)与固定挡板(5)之间,且不与底座(1)接触;电机(7)与高精度涡轮式粗微调微分头(2)连接并驱动高精度涡轮式粗微调微分头(2);电机电源(8)与电机(7)实现电连接;

其中:该装置(B)的长为45-155mm;宽为25-85mm;高为5-55mm。

2.根据权利要求1所述的非晶合金涂层拉伸装置,其特征在于:该装置(B)的长为75-125mm;宽为35-75mm;高为10-45mm。

3.根据权利要求1或2所述的非晶合金涂层拉伸装置,其特征在于:该装置(B)还包括控制系统(14),控制系统(14)包括接收装置(9)和遥控装置(11),控制系统(14)连接并控制电机电源(8)和/或电机(7);和/或

电机(7)通过齿轮(10)或皮带与高精度涡轮式粗微调微分头(2)连接。

4.根据权利要求1或2所述的非晶合金涂层拉伸装置,其特征在于:高精度涡轮式粗微调微分头(2)包括微调钮(201)、粗调钮(202)、粗微调切换钮(203)和伸缩杆(204),伸缩杆(204)的一端与活动挡板(4)上的伸缩杆连接件(401)固定连接;微调钮(201)与粗调钮(202)均与伸缩杆(204)连接并控制伸缩杆(204)的伸长或缩短;或者,微调钮(201)与粗调钮(202)控制伸缩杆(204)的移动;粗微调切换钮(203)控制电机(7)与微调钮(201)或粗调钮(202)交替连接。

5.根据权利要求3所述的非晶合金涂层拉伸装置,其特征在于:高精度涡轮式粗微调微分头(2)包括微调钮(201)、粗调钮(202)、粗微调切换钮(203)和伸缩杆(204),伸缩杆(204)的一端与活动挡板(4)上的伸缩杆连接件(401)固定连接;微调钮(201)与粗调钮(202)均与伸缩杆(204)连接并控制伸缩杆(204)的伸长或缩短;或者,微调钮(201)与粗调钮(202)控制伸缩杆(204)的移动;粗微调切换钮(203)控制电机(7)与微调钮(201)或粗调钮(202)交替连接。

6.根据权利要求4所述的非晶合金涂层拉伸装置,其特征在于:粗微调切换钮(203)位于高精度涡轮式粗微调微分头(2)背离活动挡板(4)一端的端部。

7.根据权利要求5所述的非晶合金涂层拉伸装置,其特征在于:粗微调切换钮(203)位于高精度涡轮式粗微调微分头(2)背离活动挡板(4)一端的端部。

8.根据权利要求4所述的非晶合金涂层拉伸装置,其特征在于:该装置(B)还包括限位螺母(12),其中高精度涡轮式粗微调微分头(2)通过限位螺母(12)固定在固定立柱(3)上,伸缩杆(204)穿过固定立柱(3)和限位螺母(12)与活动挡板(4)上的伸缩杆连接件(401)连接。

9.根据权利要求5-7中任一项所述的非晶合金涂层拉伸装置,其特征在于:该装置(B)还包括限位螺母(12),其中高精度涡轮式粗微调微分头(2)通过限位螺母(12)固定在固定立柱(3)上,伸缩杆(204)穿过固定立柱(3)和限位螺母(12)与活动挡板(4)上的伸缩杆连接件(401)连接。

10.根据权利要求1、2或5-8中任一项所述的非晶合金涂层拉伸装置,其特征在于:高精度涡轮式粗微调微分头(2)的位移精度达到0.5μm。

11.根据权利要求3所述的非晶合金涂层拉伸装置,其特征在于:高精度涡轮式粗微调微分头(2)的位移精度达到0.5μm。

12.根据权利要求4所述的非晶合金涂层拉伸装置,其特征在于:高精度涡轮式粗微调微分头(2)的位移精度达到0.5μm。

13.根据权利要求9所述的非晶合金涂层拉伸装置,其特征在于:高精度涡轮式粗微调微分头(2)的位移精度达到0.5μm。

14.根据权利要求10所述的非晶合金涂层拉伸装置,其特征在于:高精度涡轮式粗微调微分头(2)的应变精度达到2.5*10-5

15.根据权利要求11-13中任一项所述的非晶合金涂层拉伸装置,其特征在于:高精度涡轮式粗微调微分头(2)的应变精度达到2.5*10-5

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