技术总结
本实用新型涉及一种高灵敏度薄膜压力传感器，具有一个下部装有压力接口座的中空壳体，在壳体上端套装有接插组件，在压力接口座上部设有敏感芯体元件和线路板支架，在线路板支架上安装有复制了惠斯通电桥电路的转接电路板，敏感芯体元件包括一个下部焊接在压力接口座上的敏感弹性体，在敏感弹性体表面依次设置有绝缘膜、应变膜、焊接膜和保护膜，其中在应变膜上复制有惠斯通电桥，线路板支架上安装有转接电路板，转接电路板的输入端及输出端分别与敏感芯体元件上惠斯通电桥的信号输出端以及接插组件连接。本实用新型由于采用氮氧化钛薄膜作为应变膜感受应变，使压力传感器的灵敏度得到提高，同时还具有长期稳定性好、测量温度范围宽的优点。
技术研发人员：潘婷;戚云娟;戚龙;闫军花
受保护的技术使用者：陕西电器研究所
文档号码：201621383853
技术研发日：2016.12.16
技术公布日：2017.07.28