具有较高结构热稳定性的二维角度传感器的制作方法

文档序号:12443776阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有较高结构热稳定性的二维角度传感器,其特征是:

在传感器的基板(1)上设置各光学器件,分别是沿X轴向设置的各X轴向器件和沿Y轴向设置的各Y轴向器件;所述X轴向器件是与激光器(9)的光轴同处在X轴向上的偏振分光棱镜(10)、1/4波片(4)和作为被测对象的平面反射镜(11),所述Y轴向器件是与所述偏振分光棱镜(10)同处在Y轴向上的聚焦透镜(12)和四象限光电探测器(13);

设置基于自准直光路的测量光路为:由激光器(9)沿X轴向出射的准直光束依次经过偏振分光棱镜(10)和1/4波片(4)后转变成圆偏振光,所述圆偏振光入射在平面反射镜(11)上,平面反射镜(11)中的反射光束经1/4波片(4)后转变为s线偏振光;所述s线偏振光入射经偏振分光棱镜(10)反射后通过设置在Y轴向上的聚焦透镜(12)照射在四象限光电探测器(13)上;根据平面反射镜(11)所发生的偏摆或俯仰的角度变化,照射在四象限光电探测器(13)上的光点位置及四象限光电探测器(13)的输出信号会发生相应的变化,以此获得平面反射镜(11)的角度的变化值;

所述各X轴向器件分别固定设置在各自的X向器件基座中,各X向器件基座利用螺钉独立固定在基板(1)上,所述各X向器件基座在沿X向和Y向上为轴对称结构;

所述各Y轴向器件分别固定设置在各自的Y向器件基座中,各Y向器件基座利用螺钉独立固定在基板(1)上,所述各Y向器件基座在沿Y向上和X向上为轴对称结构。

2.根据权利要求1所述的具有较高结构热稳定性的二维角度传感器,其特征是:设置用于安装偏振分光棱镜(10)的第一基座(3)为中心镂空的立方体结构,包括底板、顶板和连接在底板与顶板之间的四个边柱,偏振分光棱镜(10)置于底板上,并限位于四个边柱,在所述顶板上分布有四个螺孔,利用螺钉通过所述螺孔对所述偏振分光棱镜(10)形成Z向限位,所述底板在沿X向上的两端分别有延伸的耳板,所述耳板由螺钉固定设置在基板(1)上;所述偏振分光棱镜(10)连同第一基座(3)整体结构,以及各螺钉的分布在沿X向上为轴对称结构,且在沿Y向上亦为轴对称结构。

3.根据权利要求2所述的具有较高结构热稳定性的二维角度传感器,其特征是:所述1/4波片(4)安装在第一基座(3)上朝向平面反射镜(11)所在的一侧。

4.根据权利要求1所述的具有较高结构热稳定性的二维角度传感器,其特征是:用于安装平面反射镜(11)的第二基座(5)是由中立板和底部平板构成的倒“T”形座,所述平面反射镜(11)固定设置在其中间立板上朝向偏振分光棱镜(10)的一侧,所述底部平板通过螺钉固定设置在基板(1)上,所述第二基座(5)的整体结构及螺钉的分布在X向和Y向为轴对称结构。

5.根据权利要求1所述的具有较高结构热稳定性的二维角度传感器,其特征是:用于安装平面反射镜(11)的第二基座(5)是由中立板和底部平板构成的倒“T”形座,所述平面反射镜(11)固定设置在其中间立板上朝向偏振分光棱镜(10)的一侧;设置用于调整第二基座(5)的调整机构(6),所述调整机构(6)具有一固定设置在基板(1)上的外立板,在外立板的内侧弹性连接一内侧立板,在所述内侧立板上固定连接一“L”形承接板,所述第二基座(5)利用螺钉固定设置所述“L”形承接板上;在所述外立板的对角位置上设置两只紧钉螺钉,通过调整两只紧钉螺钉的紧钉程度实现第二基座(5)的偏转角及俯仰角的调整,使被测光束投射在四象限光电探测器(13)的感测区域内;所述第二基座(5)的整体结构及螺钉的分布在X向和Y向为轴对称结构。

6.根据权利要求1所述的具有较高结构热稳定性的二维角度传感器,其特征是:用于安装聚焦透镜(12)的第三基座(7)是由中立框架和一对底部侧耳构成的倒“T”形座,所述聚焦透镜(12)固定设置在中立框架的中心通孔中,在所述中立框架的顶部中心以及两侧边各设置一螺孔,利用螺钉通过所述螺孔对所述聚焦透镜(12)形成限位;所述底部侧耳通过螺钉固定设置在基板(1)上,所述聚焦透镜(12)连同第三基座(7)的整体结构,以及各螺钉的分布在沿X向和Y向上为轴对称结构。

7.根据权利要求1所述的具有较高结构热稳定性的二维角度传感器,其特征是:用于安装四象限光电探测器(13)的第四基座(8)是由直立框架和一对底部耳板构成的倒“T”形座,所述四象限光电探测器(13)固定设置在直立框架的中心通孔中,在所述直立框架的顶部中心以及两侧边各设置一螺孔,利用螺钉通过所述螺孔对所述四象限光电探测器(13)形成限位;所述底部耳板通过螺钉固定设置在基板(1)上,所述四象限光电探测器(13)连同第四基座(8)的整体结构,以及各螺钉的分布在沿X向和Y向上为轴对称结构。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1