技术特征：
技术总结
本公开提供一种用于图像采集的电子束成像模块、电子束检测设备、以及利用上述电子束检测设备的图像采集方法。本公开的总体思路在于，通过将整体视场分层级划分为多个面积较小的子视场(CFOV)，并且采集这些子视场的图像，继而拼接这些图像、以及后续通过校正和积分平均化至少部分地去除甚至完全消除小视场之间的重叠，来合成全景图像。在子视场和全景视场的扫描中，采用至少一组偏转器来进行电子束的移位。本公开不仅实现了高速且精确的电子束扫描，而且实现了大视场电子束图像的成像。
技术研发人员：滝川忠宏;土屋清一;刘玉平;孙伟强
受保护的技术使用者：东方晶源微电子科技（北京）有限公司
技术研发日：2017.07.25
技术公布日：2019.02.01