电介质阻挡放电离子化检测器的制作方法

文档序号:13941166阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
提供能够实现高SN比的氩气‑BID。在电介质阻挡放电离子化检测器中具有:电介质圆筒管(111);高压电极(112),围绕设置于电介质圆筒管(111)的外壁并连接于交流电源;上游侧接地电极(113)以及下游侧接地电极(114),围绕设置于高压电极(112),通过在放电部(110)内的放电而从包含氩气的气体生成等离子体,通过等离子体的作用,使被供给至电荷收集部(120)的试料气体中的成分离子化,检测该离子化后成分的离子电流,在电介质圆筒管(111)的内周面形成半导体膜(117),并且使上游侧接地电极(113)以及下游侧接地电极(114)的长度分别比高压电极(112)与管路前端部件(116)之间以及高压电极(112)与电荷收集部(120)之间的沿面放电的开始距离长。

技术研发人员:品田惠;北野胜久
受保护的技术使用者:株式会社岛津制作所;国立大学法人大阪大学
技术研发日:2017.09.07
技术公布日:2018.03.16
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1