技术特征:
技术总结
本发明提供一种气体传感器及其制备方法。所述气体传感器包括基底以及多个气敏元件。所述基底设置有多个间隔设置的镂空部。每个所述气敏元件设置于一个所述镂空部中。多个所述气敏元件与多个所述镂空部一一对应设置,同时切除了所述基底上多余的部分,从而使得所述基底镂空。由于镂空后的所述基底的面积变小,减小了所述气敏元件阵列封装结构的发热面积,进而降低了所述气敏元件阵列封装结构的热功耗。
技术研发人员:左国民;高适;张顺平;王学峰;李丹萍;张立功;王宁;周建梅;鲁胜利
受保护的技术使用者:中国人民解放军陆军防化学院
技术研发日:2017.11.10
技术公布日:2018.04.20