技术特征：
技术总结
本发明公开了一种金刚石刀具刃口轮廓质量超精密测量装置，该装置的左右移动导轨A、上下移动导轨A、前后移动导轨用于实现原子力扫描头与金刚石刀具十微米量级的偏心调整；左右移动导轨B、前后移动导轨B用于实现光学显微镜与金刚石刀具十微米量级的偏心调整；三维精密位姿调整机构用于实现金刚石刀具与原子力扫描探针亚微米量级的偏心调整；超精密空气静压回转轴系用于实现金刚石刀具全刃口锋利度和圆弧波纹度的测量。本发明的金刚石刀具刃口轮廓质量超精密测量装置能够有效控制超精密轴系的振动和回转误差对测量结果的影响，同时显著提升金刚石刀具刃口锋利度、圆弧波纹度、刃口微豁、刃口表面粗糙的测量效率。
技术研发人员：雷大江;崔海龙;岳晓斌;刘坤;雷艳华;张新疆;蓝河;夏欢
受保护的技术使用者：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
技术研发日：2017.12.07
技术公布日：2018.03.16