一种智能化在线稀释校准仪的制作方法

文档序号:11381961阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种智能化在线稀释校准仪,其特征在于:包括标气系统(1,2,3,4,5,6,7,8,22,9,10,11,12,13,23,25,26),稀释气系统(20,21,15,16,17),稀释管路控制系统(18,19,24);其中所述标气系统的标气(1,2,3,4,5,6,7)和吹扫气(8)并列排列,并依次经过连接的多通(22),颗粒过滤器(25),稳压阀(9),电磁三通阀(10),旁路吹扫系统(12),流量控制系统(11),三通(26),单向阀(13),电磁三通阀(14),吹扫气放空口(23);所述稀释气系统的第一稀释气(20)和第二稀释气(21),经过第一质量流量计(15)和第二质量流量计(16),经过电磁三通阀(17)至稀释管路系统;所述稀释管路控制系统的稀释管路(18),经管路解法(19),经过最终稀释气出口(24);所述电磁三通阀(14)连接所述稀释管路控制系统。

2.如权利要求1所述的智能化在线稀释校准仪,其特征是:所述标气(1,2,3,4,5,6,7),吹扫气(8)分别接入多通(22)的其中八个口,多通(22)的第九个口接在颗粒过滤器(25)的入口,颗粒过滤器(25)的出口接稳压阀(9)的入口,稳压阀(9)出口接电磁三通阀(10)的COM口,电磁三通阀(10)的NC口接旁路吹扫系统(12)入口,电磁三通阀(10)的NO口接流量控制系统(11)入口,旁路吹扫系统(12)出口与流量控制系统(11)出口接三通(26)其中两口,三通(26)第三个口接单向阀(13)入口,单向阀(13)出口接电磁三通阀(14)的COM口,电磁三通阀(14)的NC口接吹扫气放空口(23),电磁三通阀(14)的NO口接入稀释管路控制系统。

3.如权利要求1所述的智能化在线稀释校准仪,其特征是:所述稀释气系统的第一稀释气(20)接入第一质量流量计(15)入口,第一质量流量计(15)出口连接电磁三通阀(17)的NO口;稀释气系统的第二稀释气(21)接入第二质量流量计(16)入口,第二质量流量计(16)出口连接电磁三通阀(17)的NC口,电磁三通阀(17)的COM口接入稀释管路控制系统。

4.如权利要求2或3所述的智能化在线稀释校准仪,其特征是:电磁三通阀(17)的COM口与电磁三通阀(14)的NO口连接至稀释气管路系统,其中电磁三通阀(14)的NO口插入稀释管路控制系统。

5.如权利要求1所述的智能化在线稀释校准仪,其特征是:在某一稀释比状态下,在所述吹扫气(8)打开,依次经过多通(22),经过颗粒过滤器(25),经过稳压阀(9),经过电磁三通阀(10),经过吹旁路吹扫系统(12),经过三通(26),经过单向阀(13),经过电磁三通阀(14),经过吹扫气放空口(23)。

6.如权利要求5所述的智能化在线稀释校准仪,其特征是:所述标气,依次经过多通(22),经过颗粒过滤器(25),经过稳压阀(9),经过电磁三通阀(10),经过旁路吹扫系统(12),经过三通(26),经过单向阀(13),经过电磁三通阀(14),最终到达稀释管路控制系统。

7.如权利要求3所述的智能化在线稀释校准仪,其特征是:在稀释比为1:999下,第一稀释气(20)依次经过接入第一质量流量计(15),电磁三通阀(17),稀释管路(18),稀释气出口(24);在稀释比为1000:9999下,第二稀释气(21)依次经过接入第二质量流量计(16),电磁三通阀(17),稀释管路(18),稀释气出口(24)。

8.如权利要求1所述的智能化在线稀释校准仪,其特征是:所述标气系统的流量控制系统(11)是内径0.1mm,外径1/16英寸不锈钢管,旁路吹扫系统(12)是外径1/8英寸,内径2.8mmPFA管,质量流量计(15)是量程0-1L/min,质量流量计(16)是量程0-10L/min,稀释管路(18)是外径1/4英寸,内径3.6mmPFA管。

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