一种智能化在线稀释校准仪的制作方法

文档序号:11381961阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种智能化在线稀释校准仪,包括标气系统,稀释气系统,稀释管路控制系统;其中所述标气系统的标气(1,2,3,4,5,6,7)和吹扫气(8)并列排列,并依次经过连接的多通(22),颗粒过滤器(25),稳压阀(9),电磁三通阀(10),旁路吹扫系统(12),流量控制系统(11),三通(26),单向阀(13),电磁三通阀(14),吹扫气放空口(23);所述稀释气系统的稀释气(20,21),经过质量流量计(15,16),经过电磁三通阀(17)至稀释管路系统;所述管路控制系统的稀释管路(18),经管路解法(19),经过最终稀释气出口(24);所述电磁三通阀(14)连接所述稀释管路控制系统。

技术研发人员:杨任;王浩
受保护的技术使用者:常州磐诺仪器有限公司
文档号码:201720075269
技术研发日:2017.01.19
技术公布日:2017.09.22

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