一种真空压力控制和测量装置的制作方法

文档序号:13245841阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种真空压力控制和测量装置,其特征是:该装置包括反应腔室(1),所述反应腔室与真空泵组增压泵(3)连通,所述真空泵组增压泵前端与真空泵组前级泵连通(2);所述反应腔室分别与大量程真空计(4)和小量程真空计(5)连接;所述反应腔室与小量程真空计之间设置有阀门(6)。

2.根据权利要求1所述的一种真空压力控制和测量装置,其特征是:所述反应腔室的腔容积为50L~1000L,材质为铝合金或不锈钢。

3.根据权利要求1所述的一种真空压力控制和测量装置,其特征是:所述真空泵组前级泵为干式螺杆泵、罗茨泵、分子泵或水环泵,抽速为50~3000m3/h。

4.根据权利要求1所述的一种真空压力控制和测量装置,其特征是:所述真空泵组增压泵为罗茨泵、螺杆泵、分子泵或水环泵,抽速为50~3000m3/h。

5.根据权利要求1所述的一种真空压力控制和测量装置,其特征是:所述大量程真空计为皮拉尼真空计、薄膜电容真空计、冷阴极真空计或热阴极真空计,量程为0~1000Torr。

6.根据权利要求1所述的一种真空压力控制和测量装置,其特征是:所述小量程真空计为皮拉尼真空计、薄膜电容真空计、冷阴极真空计或热阴极真空计,量程为0~1Torr。

7.根据权利要求1所述的一种真空压力控制和测量装置,其特征是:所述阀门为球阀、角阀、蝶阀或插板阀。

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