技术总结
本实用新型公开了一种具有超薄氮化硅观察窗口的TEM液体测试芯片。所述测试芯片包括：隔离层、第一绝缘膜、第二绝缘膜、上芯片、下芯片以及支撑层；所述上芯片具有朝向下芯片凸起的凸台，所述凸台具有第一通孔，所述第一绝缘膜覆盖凸台的表面及第一通孔在凸台表面上的开口；所述下芯片具有第二通孔，所述第二绝缘膜覆盖第二通孔在下芯片表面上的开口；所述支撑层夹设在上芯片、下芯片之间，使上芯片的凸台卡设至支撑层形成的凹槽中，形成封闭的检测腔室。第一通孔与第二通孔垂直相交设置，所述隔离层夹设在第一、二绝缘膜之间。本实用新型采用光刻胶在下芯片上形成凹槽结构，可以有效避免因湿法腐蚀对LPCVD沉积设备造成的金属离子污染。
技术研发人员：张跃钢;赵美珍;周莉莎;李洪飞
受保护的技术使用者：南通盟维芯片科技有限公司
文档号码：201721274801
技术研发日：2017.09.30
技术公布日：2018.05.11