技术特征：
技术总结
本发明涉及后置分光瞳激光差动共焦镜组轴向间隙测量方法与装置，属于光学精密测量技术领域。本方法利用后置光瞳遮挡一半测量光束，使用分光瞳激光差动共焦探测系统对测量光束进行探测，利用差动共焦响应曲线的绝对零点分别对被测镜组的各表面位置进行定焦，通过光线追迹及其补偿模型计算镜组内各轴向间隙。本发明首次将后置分光瞳激光差动共焦技术用于镜组轴向间隙的高精度检测，仅用一路探测器即可实现差动共焦定焦，将激光差动共焦技术与光线追迹技术有机融合，消除各定焦表面参数之间的影响，并通过线性拟合绝对零点附近的数据实现快速触发定焦，避免了更换被测镜可能导致的定焦精度下降，测量速度、精度及抗散射能力大大提升。
技术研发人员：赵维谦;杨帅;王允;卜乙禄
受保护的技术使用者：北京理工大学
技术研发日：2018.11.13
技术公布日：2019.01.11