一种测试探针台的制作方法

本实用新型涉及半导体检测设备领域，特别涉及一种测试探针台。

背景技术：

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发中，主要用于检测半导体芯片的质量。

目前，申请公布号为CN104698230A的中国专利公开了一种半导体芯片测试手动探针台，它包括探针台底座、承片台、承片台座、快速寻址机构、锁紧机构及微调机构，其特征是，锁紧机构由真空吸盘构成，微调机构由连杆、微调导向板、微调手柄、关节轴承、调心轴承构成，真空吸盘与探针台底座的台面为真空锁紧状态时，快速寻址机构被固定锁紧；微调手柄底端和关节轴承连接，微调手柄中部通过调心轴承连接连杆一端，连杆另一端与承片台座连接，拨动微调手柄，调心轴承能在水平面内做360°摆动，并带动连杆在水平面内做任何方向的移动，实现承片台座的微调。

这种半导体芯片测试手动探针台虽然完成芯片的检测，但是现有某种型号的芯片，其在正常的环境中处于低活跃状态，需要在磁场中才能检测，而现有的探针台无法提供磁场，无法检测芯片。

技术实现要素：

本实用新型是提供一种测试探针台，根据芯片要求产生磁场，使半导体芯片能被成功检测。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种测试探针台，包括机箱，所述机箱上开有固定腔，所述固定腔固定连接有装有芯片的圆晶片，所述固定腔还安装有探针片，所述探针片朝向圆晶片的一面设置有探针，所述探针片背离探针的一面上设有电磁线圈。

通过采用上述技术方案，在工作的过程中，首先将需要监测的芯片安装在圆晶片上，之后将圆晶片固定在固定腔中，此时探针片带有探针的一面正对于圆晶片，之后电磁线圈通电启动由于电磁感应，产生磁场激活芯片，使探针可以顺利的检测半导体芯片。

进一步设置：探针片的中心位置设有探针固定部，所述探针通过焊接的方式固定在探针固定部上。

通过采用上述技术方案，探针固定部主要用于精准的确定探针的安装位置并通过焊接方式使探针牢固地固定连接杂在探针固定部。

进一步设置：探针从两侧伸出有呈辐射状的导线，所述探针固定部设有呈均匀圆周分布的用于和导线配合的圆孔。

通过采用上述技术方案，探针的导线分布在其两侧并呈对称分布，并且导线穿过探针固定部周围的圆孔与外界的设备相连，当探针完成半导体芯片检测之后，检测信号经过导线向外界传导。

进一步设置：探针片上粘接有覆盖探针固定部的防护罩。

通过采用上述技术方案，防护罩遮盖探针，防止探针在工作的过程中遭到破坏，提高了探针的使用寿命。

进一步设置：电磁线圈的两端分别设有线圈固定块，所述线圈固定块固定连接在探针片的表面。

通过采用上述技术方案，线圈固定块主要用于作为电磁线圈的安装接触，电磁线圈通过线圈固定块安装在探针片，使电磁线圈激发的磁场可以影响到半导体芯片。

进一步设置：探针片上设有两个接线槽，所述接线槽关于探针片长边中线对称设置并且位于电磁线圈的两侧。

通过采用上述技术方案，接线槽主要用于和导线带的端部配合，在检测的过程中，传输数据的导线带通过接线槽与探针片数据相通，便于控制整个探针的工作，同时保护导线带的接头处

进一步设置：固定腔中设有两个相对运动的固定板，两个固定板上分别设置有固定块，所述固定块上设有沿长度方向设置的卡槽。

通过采用上述技术方案，在检测开始的时候，工作人员将圆晶片安装在两个固定板之间，此时圆晶片的边缘卡接在卡槽之中，同时设备启动两块固定板相向运动，避免圆晶片脱离工作位置。

进一步设置：固定块设有垂直设置的固定螺栓若干，所述固定螺栓的一端伸出到卡槽中。

通过采用上述技术方案，在检测的过程中，固定螺栓位于卡槽中的端部与圆晶片的表面接触，防止圆晶片脱离工作位置。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1、这种测试探针台能激发磁场，方便探针进行检测；

2、将需要检测的半导体芯片精准的固定在设定好的位置，方便进行质量检测。

附图说明

图1是测试探针台结构示意图；

图2是测试探针台拆下探针片的结构示意图；

图3是图2中B处局部放大的结构示意图；

图4是探针片上装有电磁线圈的结构示意图；

图5是探针片上装有探针的结构示意图。

图中，1、机箱；11、控制面板；111、显示屏；12、输出模块；13、固定板；131、固定块；132、固定螺栓；133、卡槽；14、固定腔；2、圆晶片；3、探针片；31、探针；32、探针固定部；33、导线；34、防护罩；35、接线槽；36、电磁线圈；361、线圈固定块。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

实施例：一种测试探针台，如图1所示，包括机箱1，机箱1上设有控制装置，控制装置设有控制面板11，控制面板11上安装用于显示检测半导体芯片状态的显示屏111，控制面板11用于输入控制参数对整个探针台进行控制，同时检测半导体芯片的情况也实时反馈到显示屏111上。机箱1上还设有输出模块12，输出模块12上设有若干接线端，方便控制信号的输出和检测信号的输入。

结合图2和图3所示，机箱1顶面的中部开有固定腔14，固定腔14中设有两个固定板13，并且固定板13由控制面板11控制，驱使两个固定板13做相向运动或相离运动。固定板13上设有固定块131，固定块131上开有沿固定块131长度方向设置的卡槽133，每个固定块131上还分别垂直设置有固定螺栓132若干，固定螺栓132的一端伸入到开槽中。固定腔14中安装有圆晶片2，圆晶片2上固定有需要检测的半导体芯片若干，圆晶片2的外缘与卡槽133卡接配合，同时旋转固定螺栓132驱使其朝向圆晶片2移动，压紧圆晶片2进一步加强其固定的牢固强度，避免圆晶片2从卡槽中脱落的情况发生。

结合图1和图3所示，固定腔14的顶部安装有探针片3，探针片3位于圆晶片2上方并与圆晶片2相互平行设置。

结合图1和图5所示，探针片3朝向圆晶片2的一面的中心位置上设有探针固定部32，探针固定部32上通过焊接的方式固定连接探针31，探针31通过热熔胶粘连的方式固定，探针31的两侧伸出有若干导线33，导线33穿过探针固定部32边缘呈圆周分布的圆孔中。

如图4所示，探针片3上还设有用于罩设探针31透明的防护罩34，防护罩34并且通过胶带粘连的方式与探针片3表面固定，在检测半导体芯片的时候，避免出现划伤探针的情况发生，有利于延长探针的使用寿命。

结合图1和图4所示，探针片3背离探针的一面设有两个接线槽35，接线槽35沿探针片3宽度方向布置，并且两个接线槽35关于中心对称设置，接线槽35上还设有卡扣，机箱1的输出模块12伸出有数据带，数据带的连接端卡接在接线槽35中并通过卡扣固定，使探针片3与输出模块12可以进行数据交互。

结合图1和图4所示，探针片3背离探针的一面还设有电磁线圈36，电磁线圈36的两端分别设有线圈固定块361，线圈固定块361与探针片3通过热熔胶粘连的方式固定于探针片3中心位置，使电磁线圈36位于探针31的背面，同时线圈固定块361通过数据线与接线槽35连接，从而使电磁线圈36可以接受到控制信号。在检测半导体芯片的过程中，电磁线圈36通电产生磁场，使半导体芯片处于激活状态可以被探针31正常检测，之后将探针31的检测信号输出到输出模块12中，并且在输出模块12中转变为数字信号放映在显示屏111上，检测人员直接通过观察显示屏111直观了解半导体芯片的质量。

上述的实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。