一种非腔体结构件的检漏装置的制作方法

本实用新型属于氦质谱检漏技术领域，具体涉及一种非腔体结构件的检漏装置。

背景技术：

氦质谱仪被广泛应用于航空航天、医疗、核工业、电力、制冷、精密仪器仪表等数十个行业。检漏的方式有背压法、喷吹法等。一些腔体结构形式的被检工件易于利用背压法或喷吹法的基本原理进行改进检漏，而非腔体结构形式的工件则比较复杂，特别是批量检漏实现工艺繁多。

非腔体结构件通常制作相应的工装，将工件装配于工装，利用胶封或机械夹紧形成密封腔体，然后放置于压氦罐中，在0.2MPa下压氦1-4h，然后泄压，静置15分钟或氮气吹除吸附氦气。该种方式工序繁多，被检工件数量受工装数量的限制，被检工件需要涂胶或机械夹持的方式与工装形成密封连接，工件易受损伤，最大被检漏率受涂胶密封形式和胶的密封性能的影响。

因此，设计一种适合非腔体结构的批量检漏装置具有现实意义，能够解决工程实际问题。

技术实现要素：

针对上述问题，本实用新型提出了一种非腔体结构件的检漏装置。

一种非腔体结构件的检漏装置，包括：氦质谱检漏仪、工件夹持机构、喷吹管路、氦气源，以及排出管路和机械泵；

所述喷吹管路的一端与所述工件夹持机构相连，另一端与所述氦气源相连；所述排出管路的一端与所述喷吹管路相连，另一端与所述机械泵相连；

所述工件夹持机构包括工件夹持上部和工件夹持下部；所述工件夹持上部能够夹持所述结构件的一侧，形成气密性密封，并与所述喷吹管路的一端连通；所述工件夹持下部能够夹持所述结构件的另一侧，形成气密性密封，并且与所述氦质谱检漏仪连通。

优选地，所述喷吹管路的一端上并联多个工件夹持机构，实现批量检漏。

优选地，所述氦气源对喷吹管路内喷吹氦气的喷吹量为3～5ml/min。

优选地，所述氦质谱检漏仪能够自动执行检测程序，检测从被检的所述结构件漏过的氦气。

优选地，所述机械泵抽速为3～5L/S。

优选地，所述工件夹持机构还包括工件夹持上部密封圈和工件夹持下部密封圈。

优选地，所述工件夹持上部密封圈和工件夹持下部密封圈分别可拆卸地安装在所述工件夹持上部和所述工件夹持下部。

优选地，所述装置还包括气体控制系统，其能够控制氦气喷吹、排出。

优选地，所述气体控制系统包括与所述氦气源相连的第一控制阀、与所述机械泵相连的第二控制阀，以及与所述工件夹持机构相连的第三控制阀。

优选地，在批量检漏时，所述气体控制系统能够控制与每个所述工件夹持机构分别相连的所述第三控制阀独立先后工作或同时工作。

本实用新型的有益效果：

1、本实用新型提供检漏装置，通过气体管路系统和控制系统的设计，能够实现非腔体结构的工件的快速批量检漏。

2、本实用新型提供的检漏装置，结构设计巧妙，整个装置气路管道与工件形成密封，用于测漏的氦气不会泄露到检漏仪周围空气中，造成检漏仪工作效率下降或氦气中毒，从而达到连续批量检漏的效果。

3、本实用新型提供的检漏装置，工件夹持部分可做成多分支结构，可实现一分支检漏的过程中，另一分支工件装配，也可以在同一分支上设置多个工件安装位置，实现“多路多件”检漏，便于提高检漏效率。

4、本实用新型提供的检漏装置，只需更改设计工件夹持部分结构，便可检各种能够形成上下密封形式的非密封件，适用范围广，可以实现快速重复检漏。

附图说明

图1是一种两支路非腔体结构件的气密性检漏装置的示意图；

图2A具体实施例是一种可检工件的结构示意图；

图2B、图2C是适合于图2A实施例工件的夹持结构示意图。

图中，1-氦质谱检漏仪，2-工件夹持机构，3-喷吹管路，4-电磁阀，5-机械泵，6-排气出口，7-氦气源，8-排气管路，10-被检结构件，11-导线，12-绝缘体，13-法兰，14-导线与绝缘体连接缝隙，15-绝缘体与法兰连接缝隙，20-工件夹持上部，21-工件夹持上部密封圈，22-工件夹持下部密封圈，23-喷气管路接口，24-氦质谱检漏仪接口，25-工件夹持下部。

具体实施方式

下面结合附图，对实施例作详细说明。

根据本实用新型的一种非腔体结构件的检漏装置，包括：氦质谱检漏仪、工件夹持机构、喷吹管路、氦气源，以及排出管路和机械泵。

所述喷吹管路的一端与所述工件夹持机构相连，另一端与所述氦气源相连；所述排出管路的一端与所述喷吹管路相连，另一端与所述机械泵相连。

所述工件夹持机构包括工件夹持上部和工件夹持下部；所述工件夹持上部能够夹持所述结构件的一侧，形成气密性密封，并与所述喷吹管路的一端连通；所述工件夹持下部能够夹持所述结构件的另一侧，形成气密性密封，并且与所述氦质谱检漏仪连通。

所述喷吹管路上并联两个或多个工件夹持机构，实现被检工件批量捡漏。所述氦气源用于对喷吹管路内喷吹氦气。所述氦质谱检漏仪对腔体抽真空后检测从被检工件漏过的氦气。所述机械泵用于将检测完成后的残余氦气抽出。所述管路中布置有多个控制阀，控制氦气喷吹、排出。

通过集成的控制系统协同工作，能够实现一键检漏，一键停止。本实用新型通过对氦质谱检漏仪的改进，工件夹持部分的设计，能够实现非腔体形式的封装结构件的快速精确检漏，例如，电连接器。本实用新型气密性检漏装置能快速重复检漏，对被检工件几乎没有损伤，检漏效率高，特别适用于中、小尺寸批量检漏的工件。

检漏工作时，气体喷吹管路对该测进行喷吹氦气，喷吹量为3～5ml/min。检漏工作时，氦质谱仪对该测进行抽真空，测量泄露情况。

机械泵抽速为3～5L/S，工件检漏完成时，残余的氦气由机械泵抽到室外，防止检漏仪氦中毒。

所述工件夹持机构，由上下两部分构成，上下两部分皆有用于与工件形成密封的密封圈。工作时，将工件夹持其中，上面部分接通喷吹管路喷气，下面部分接通检漏仪，抽气检漏。所述工件夹持机构可以是一个、两个或多个，形成分支，能独立控制，达到一次同时或分别检漏多个工件。

密封圈由模压制成，材料是硅橡胶，也可以是其它不易吸附氦气的高分子材料。所述夹持结构的密封圈在使用的过程中定期更换，防止氦气残留，降低检漏精度。

图1给出了一种非腔体结构件的气密性检漏装置的示意图。该检漏装置包括：氦质谱检漏仪1、工件夹持机构2、气体喷吹管路3、电磁阀4(DV1、DV2、DV3、DV4)、机械泵5、排气出口6、氦气源7、排气管路8、氦质谱检漏仪1、外加气体喷吹管路3通过集成的控制系统协同工作。本气密性检漏装置，能够实现一键检漏，一键停止，满足批量检漏需求。

图2A给出了一种需检漏的非腔体结构电连接器工件10的示意图，其主要由导线11、绝缘体12、法兰13组成，需要检测导线11与绝缘体12连接缝隙14，绝缘体12与法兰13连接缝隙15气密性情况。

图2B、图2C给出了该被检工件10对应的工装夹持部分结构设计示意图，其主要由工件夹持上部20、工件夹持上部密封圈21、工件夹持下部密封圈22、喷气管路接口23、氦质谱检漏仪接口24组成。

使用本检漏装置对该工件进行检漏时，具体工作动作过程如下：

手动打开气源，调节到需要输出的压力值。手动打开质谱仪工作电源。安装两个被测件。安装工件10，工件10一侧被工件夹持上部20夹持，形成气密性密封，并且与喷气管路连通。被检工件10的另一侧被工件夹持下部25夹持形成气密性密封，并且与氦质谱检漏仪1通过氦质谱检漏仪接口24连通。点击检漏装置启动键，电磁阀DV1打开，检漏仪1自动运行检漏程序，X秒后(时间可设定3-99S)电磁阀DV3打开(启动第一路工装夹持机构时电磁阀DV3打开，启动第二路工装夹持机构时电磁阀DV4打开)，得到结果后，点击检漏装置停止键，检漏仪1停止工作，电磁阀DV1关闭。机械泵5开启，电磁阀DV2开启，X秒后(时间可设3-99S)，电磁阀DV3关闭(启动第一路工装夹持机构时电磁阀DV3关闭，启动第二路工装夹持机构时电磁阀DV4关闭)。随后电磁阀DV2关闭，机械泵5关闭。

此实施例仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。