技术特征：
技术总结
本发明涉及微/纳米仪器领域，具体涉及一种纳米压痕加热装置以及相应的纳米压痕测试仪。本发明的散热带末端与扫描电镜(SEM)墙壁连接，形成散热通道，减少了散热系统设计、安装复杂度，提高整个系统工作过程中高温稳定性能，同时本发明用于加热在SEM真空环境中纳米线至800℃，可在短时间内能够将加热平台升温并稳定在在800℃，同时靠近连接部件底部位置温度保持在40℃‑60℃，避免高温影响设置在连接部件上的元器件，有效降低了纳米力学性能测试仪工作过程中热漂移以及元器件使用风险。
技术研发人员：陈科纶;谷森;朱军辉;孙钰;汝长海
受保护的技术使用者：江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司
技术研发日：2019.02.25
技术公布日：2019.04.12