一种声表面波器件的频率特性连续调节检测方法及其检测系统及发生器与流程

文档序号:19150775发布日期:2019-11-16 00:03阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种声表面波器件的频率特性连续调节检测方法,其特征在于:该方法包括以下步骤:

步骤一:一对叉指换能器对置设置,其中一个叉指换能器作为输入端和声表面波发生器连接,其中另一个叉指换能器作为检测端和示波器连接;

步骤二:仿真得到其设计谐振频率,在其90%-110%范围内,以0.1mhz为步进值连续调节声表面波发生器输出频率,设置输出电压峰峰值为20vpp,进行连续扫频;

步骤三:检测端叉指换能器所接示波器读取并记录输出电压峰峰值,电压峰峰值绘制成图,得到实际的声表面波器件频率特性。

2.根据权利要求1所述的一种声表面波器件的频率特性连续调节检测方法,其特征在于:所述声表面波发生器激振频率可连续调节。

3.根据权利要求1或2所述的一种声表面波器件的频率特性连续调节检测方法,其特征在于:所述可不停机连续改变负载,检测不同负载下声表面波器件的频率特性。

4.一种声表面波器件的频率特性连续调节检测系统,包括声表面波发生器、压电基片、一对叉指换能器和示波器,其特征在于:一对叉指换能器对置设置,声表面波发生器产生兆赫兹级激振频率,其中一个叉指换能器作为输入端和声表面波发生器连接,其中另一个叉指换能器作为检测端和示波器连接,由逆压电效应在压电基片上产生声表面波行波,传至对侧叉指换能器处时由压电效应转换为相应电信号。

5.一套可连续调节激振频率的声表面波发生器,包括声表面波发生器、压电基片、一对叉指换能器和示波器,一对叉指换能器对置设置,声表面波发生器产生兆赫兹级激振频率,其中一个叉指换能器作为输入端和声表面波发生器连接,其特征在于:声表面波发生器激振频率可连续调节。


技术总结
本发明涉及检测方法,更具体的说是一种声表面波器件的频率特性连续调节检测方法及其检测系统及发生器,包括声表面波发生器、压电基片、一对叉指换能器和示波器,一对叉指换能器对置设置,声表面波发生器产生兆赫兹级激振频率,其中一个叉指换能器作为输入端和声表面波发生器连接,声表面波发生器激振频率可连续调节,可以通过步进连续调节声表面波发生器输出频率,进行连续扫频,利用检测端叉指换能器所接示波器读取并记录输出电压峰峰值,记录即得到实际的声表面波器件频率特性;还可以不停机连续改变负载检测声表面波器件的频率特性。

技术研发人员:董惠娟;杨泽浩;隋明扬;赵杰;李灏宇
受保护的技术使用者:哈尔滨工业大学
技术研发日:2019.08.19
技术公布日:2019.11.15
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