一种用于半导体封装成品的外观检测装置的制作方法

文档序号:22053313发布日期:2020-09-01 17:05阅读:343来源:国知局
一种用于半导体封装成品的外观检测装置的制作方法

本实用新型是涉及一种用于半导体封装成品的外观检测装置,属于半导体封装设备技术领域。



背景技术:

半导体封装过程中通常包括如下操作:采用压机对半导体料片进行塑封;将塑封后的料片从压机中取出;对压机的模面进行清洁;将塑封后的料片放入去胶道机中,通过去胶道机去除塑封后的料片上多余的黑胶溢料;对去除黑胶溢料的成品料片进行外观检测,根据检测结果对成品料片进行分拣,其中的外观检测结果对于料片后续的分拣具有重要影响。但是,目前半导体封装企业,对封装后的料片的外观检测完全靠人工目检,不仅检测效率低,易漏检、误检,且检测标准主观性强、检测能力有限,不能保证半导体封装成品质量的一致性,以致影响了后续的应用性能。



技术实现要素:

针对现有技术存在的上述问题,本实用新型的目的是提供一种用于半导体封装成品的外观检测装置。

为解决上述问题,本实用新型采用如下技术方案:

一种用于半导体封装成品的外观检测装置,包括用于放置待检测料片的检测平台、用于对料片外观进行检测的视觉检测组件、检测移动机构、视觉图像处理器和控制器,所述检测移动机构设于检测平台的周边,所述视觉检测组件能在检测移动机构的驱动下被移至检测平台处,所述视觉检测组件与视觉图像处理器信号连接,所述视觉图像处理器和检测移动机构分别与控制器电连接。

作为一种实施方案,还包括影视检测基板,所述检测平台和检测移动机构均安装于影视检测基板上。

作为一种实施方案,在所述检测平台的附近设有用于放置检测后产品的产品放置区。

作为一种实施方案,所述视觉检测组件包括光源和设于光源附近的相机,所述相机与视觉图像处理器信号连接。

作为一种实施方案,所述检测移动机构包括设于检测平台周边的xy移动机构和xy驱动机构,所述xy移动机构包括x导轨,所述x导轨上滑动设有y导轨,所述视觉检测组件滑动设于y导轨上,所述xy驱动机构包括x驱动机构和y驱动机构,所述x驱动机构与y导轨相连,所述y导轨能在x驱动机构的驱动下在x导轨上直线移动,所述y驱动机构与视觉检测组件相连,所述视觉检测组件能在y驱动机构的驱动下在y导轨上直线移动,所述xy驱动机构与控制器电连接。

作为优选方案,所述xy移动机构包括两条互相平行的x导轨,每条x导轨上分别滑动设有x导轨滑块,所述x导轨滑块的顶部连接有y机构滑动基板,所述y导轨设于y机构滑动基板上,所述y导轨上滑动设有y导轨滑块,所述y导轨滑块上设有y移动滑板,所述y移动滑板连接有检测安装架,所述视觉检测组件设于检测安装架上,所述x驱动机构与y机构滑动基板相连,所述y驱动机构与y移动滑板相连。

作为优选方案,在检测安装架的上下两部对称设有上下对称分布的两个视觉检测组件。

作为优选方案,所述x驱动机构包括分别设于x导轨两端的x同步轮a和x同步轮b,所述x同步轮a与x同步轮b之间连接有x同步带,所述x同步轮a连接有x伺服马达,所述x同步带与y导轨相连;所述y驱动机构包括分别设于y导轨两端的y同步轮a和y同步轮b,所述y同步轮a与y同步轮b之间连接有y同步带,所述y同步轮a连接有y伺服马达,所述y同步带与视觉检测组件相连。

相较于现有技术,本实用新型的有益技术效果在于:

采用本实用新型提供的外观检测装置,可实现半导体封装成品外观检测的自动化,明显提高对半导体封装成品外观检测的效率和质量,能明显降低检测成本,且保证了后续应用性能的一致性,具有明显工业应用价值。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种用于半导体封装成品的外观检测装置的轴测图;

图2是本实用新型实施例所提供的外观检测装置在另一个视角下的轴测图;

图3是本实用新型实施例中所述检测移动机构的轴测图;

图4是本实用新型实施例中所述检测移动机构在另一个视角下的轴测图;

图中标号示意如下:

1、检测平台;2、视觉检测组件;21、光源;22、相机;3、检测移动机构;31、x导轨;32、y导轨;33、x导轨滑块;34、y机构滑动基板;35、y导轨滑块;36、y移动滑板;37、检测安装架;38、x同步轮a;39、x同步轮b;310、x同步带;311、x伺服马达;312、y同步轮a;313、y同步轮b;314、y同步带;315、y伺服马达;316、x皮带连接块;317、x皮带压紧块;318、y皮带连接块;319、y皮带压紧块;320、x惰轮轴固定架;321、x惰轮轴;322、y惰轮轴固定架;323、y惰轮轴;4、影视检测基板;5、产品放置区;6、平台支柱;7、立柱;8、外观检测机架;9、外观检测机箱;10、显示器;11、保护罩。

具体实施方式

以下将结合实施例和附图对本实用新型的技术方案做进一步清楚、详细地描述。

实施例

如图1至图4所示:本实用新型提供的一种用于半导体封装成品的外观检测装置,包括用于放置待检测料片的检测平台1、用于对料片外观进行检测的视觉检测组件2、检测移动机构3、视觉图像处理器和控制器(未显示),所述检测移动机构3设于检测平台1的周边,所述视觉检测组件2能在检测移动机构3的驱动下被移至检测平台1处,所述视觉检测组件2与视觉图像处理器信号连接,所述视觉图像处理器和检测移动机构分别与控制器电连接。使用的时候,将待检测的料片放入检测平台1上,启动检测移动机构3,视觉检测组件2在检测移动机构3的作用下被送至检测平台1处,即可对检测平台1上的料片的外观进行视觉检测,视觉检测组件2将检测的信息传递给视觉图像处理器,由视觉图像处理器对采集的图像与预存的标准图像进行比对,并将比对结果传送给控制器,从而实现对封装成品料片外观的自动检测。本实施例中,所述视觉检测组件2包括光源21和相机22,通过相机22对料片的外观进行拍摄,其中,所述相机22与视觉图像处理器信号连接。

所述外观检测装置6还包括影视检测基板4,所述检测平台1和检测移动机构3均安装于影视检测基板4上。此外,在所述检测平台1的附近设有用于放置检测后产品的产品放置区5。料片外观检测结束后,将料片从检测平台1上取出后放置到产品放置区5,产品放置区5上可设有用于放置产品的料盒。安装的时候,影视检测基板4上竖直设有若干平台支柱6,检测平台1水平设于平台支柱6的顶部,通过平台支柱6安装于影视检测基板4上。影视检测基板4上竖直设有若干立柱7,产品放置区5设于立柱7的顶部,通过立柱7安装于影视检测基板4上,所述产品放置区5实际上即相当于一个水平设置的产品放置板。

再结合图3和图4可见,所述检测移动机构3包括设于检测平台1周边的xy移动机构和xy驱动机构,所述xy移动机构包括x导轨31,所述x导轨31上滑动设有y导轨32,所述视觉检测组件2滑动设于y导轨32上,所述xy驱动机构包括x驱动机构和y驱动机构,所述x驱动机构与y导轨32相连,所述y导轨32能在x驱动机构的驱动下在x导轨31上直线移动,所述y驱动机构与视觉检测组件2相连,所述视觉检测组件2能在y驱动机构的驱动下在y导轨32上直线移动,所述xy驱动机构与控制器电连接。

进一步,所述xy移动机构包括两条互相平行的x导轨31,每条x导轨31上分别滑动设有x导轨滑块33,所述x导轨滑块33的顶部连接有y机构滑动基板34,所述y导轨32设于y机构滑动基板34上,所述y导轨32上滑动设有y导轨滑块35,所述y导轨滑块35上设有y移动滑板36,所述y移动滑板36连接有检测安装架37,所述视觉检测组件2设于检测安装架37上,所述x驱动机构与y机构滑动基板34相连,所述y驱动机构与y移动滑板36相连。两条x导轨31,加强了y导轨32移动的平衡稳固性,进而加强了视觉检测组件2移动的平衡稳固性。使用的时候,y机构滑动基板34能在x驱动机构的驱动下在x导轨31上直线移动,y移动滑板36能在y驱动机构的驱动下在y导轨上32上直线移动,进而带动视觉检测组件2在y导轨32上直线移动,从而使得视觉检测组件2可以在检测平台1上进行二轴方向的自由移动,以致可以方便快速地移动至检测平台1处,对检测平台1上的料片的外观进行高效检测。

当在检测安装架37的上下两部对称设有上下对称分布的两个视觉检测组件2,即可全方位的对料片进行外观检测,使检测结果更为准确。

所述x驱动机构包括分别设于x导轨两端的x同步轮a38和x同步轮b39,所述x同步轮a38与x同步轮b39之间连接有x同步带310,所述x同步轮a38连接有x伺服马达311,所述x同步带310与y轴导轨32相连;所述y驱动机构包括分别设于y导轨两端的y同步轮a312和y同步轮b313,所述y同步轮a312与y同步轮b313之间连接有y同步带314,所述y同步轮a312连接有y伺服马达315,所述y同步带314与视觉检测组件2相连。其中,x同步轮a38、x同步轮b39、x同步带310、x轴伺服马达311构成皮带传送式x驱动机构,y同步轮a312、y同步轮b313、y同步带314、y伺服马达315构成皮带传送式y驱动机构。其中,所述x轴同步带310与y轴导轨32相连,具体的是,x轴同步带310与y机构滑动基板34相连,进而间接的与y轴导轨32相连;所述y同步带314与视觉检测组件2相连,具体的是,y同步带314与y移动滑板36相连,进而间接的与视觉检测组件2相连。

安装的时候,x同步带310上设有x皮带连接块316,x皮带连接块316上设有x皮带压紧块317,x皮带压紧块317与y机构滑动基板34相连,从而将x同步带310压紧固定在y机构滑动基板34上;y同步带314上设有y皮带连接块318,y皮带连接块318上设有y皮带压紧块319,y皮带压紧块319与y移动滑板36相连,从而将y同步带314压紧固定在y移动滑板36上。

此外,在x同步轮b39处设有x惰轮轴固定架320,在x惰轮轴固定架320内设有x惰轮轴321,x同步轮b39通过x惰轮轴321安装于x惰轮轴固定架320内;在y同步轮b313处设有y惰轮轴固定架322,在y惰轮轴固定架322内设有y惰轮轴323,y同步轮b313通过y惰轮轴323安装于y惰轮轴固定架322内。

此外,所述外观检测装置还包括外观检测机架8,影视检测基板4设于外观检测机架8的顶部台面上,在外观检测机架8的下部设有外观检测机箱9,视觉图像处理器可安装于外观检测机箱9内。

影视检测基板4上设有显示器10,可用于显示外观检测结果。此外,在产品放置区5的侧边可设置保护罩11,以用于保护检测后的产品。

最后有必要在此指出的是:以上所述仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

当前第1页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1