1.一种集成电路测试方法,包括:
采用测试配置测试多个集成电路以获得测试数据;以及
根据所述测试数据获得所述多个集成电路的测试结果,
其中,在所述测试步骤中,根据所述测试数据相关的变更条件实时变更所述测试配置,所述测试配置规定至少一个测试项、以及与所述至少一个测试项对应的测试激励和测试规范。
2.根据权利要求1所述的集成电路测试方法,其中,所述变更条件包括同时满足的以下条件:
已测试的集成电路的数量大于等于第一阈值;以及
已测试的集成电路的失效率小于第二阈值。
3.根据权利要求2所述的集成电路测试方法,其中,实时变更所述测试配置包括:
从所述测试配置中删除所述至少一个测试项中的测试项,或者删除所述至少一个测试项的测试激励。
4.根据权利要求1所述的集成电路测试方法,其中,所述变更条件包括同时满足的以下条件:
已测试的集成电路的数量大于等于第三阈值;以及
已测试的集成电路的失效率大于等于第四阈值。
5.根据权利要求4所述的集成电路测试方法,其中,实时变更所述测试配置包括:
为所述测试配置增加测试项,或者为所述至少一个测试项增加测试激励。
6.根据权利要求2或4所述的集成电路测试方法,其中,所述变更条件还包括满足以下条件:
所述多个集成电路属于新生产批次。
7.根据权利要求1所述的集成电路测试方法,其中,所述变更条件包括满足以下条件:
预估的采用变更后的所述测试配置测试的集成电路的失效率的增量小于第五阈值。
8.根据权利要求7所述的集成电路测试方法,其中,实时变更所述测试配置包括:实时调整所述测试规范中相关参数的上限值和下限值。
9.根据权利要求7所述的集成电路测试方法,其中,预估采用变更后的所述测试配置测试的集成电路的失效率的增量包括:
根据采用变更前的所述测试配置测试集成电路获得的测试数据,分析所述至少一个测试项对应的输出响应分布以及所述至少一个测试规范中的相关参数的中心值波动;
根据所述中心值波动,预估调整所述至少一个测试规范后所述相关参数的上限值和下限值;以及
根据所述输出响应分布,预估采用变更后的测试配置测试的集成电路的失效率的增量。
10.根据权利要求7所述的集成电路测试方法,其中,所述变更条件还包括满足以下条件:
所述多个集成电路属于多个生产批次或同一个生产批次。
11.根据权利要求7至10中任一项所述的集成电路测试方法,其中,
重复所述测试步骤一定次数,在每一次的所述测试步骤中,根据之前所述测试步骤中获得的所述测试数据相关的变更条件实时变更所述测试配置。
12.根据权利要求1所述的集成电路测试方法,其中,所述采用测试配置测试多个集成电路以获得测试数据包括:
按照一定测试比例,采用多个测试配置测试测试周期内的多个集成电路以获得测试数据;
所述根据所述测试数据获得所述多个集成电路的测试结果包括:
根据所述测试数据获得所述测试周期内所述多个集成电路的测试结果。
13.根据权利要求12所述的集成电路测试方法,其中,所述变更条件包括满足以下条件:
判定采用第一测试覆盖率对应的测试配置测试的集成电路的失效率小于第六阈值;
实时变更所述测试配置包括:
减少所述第一测试覆盖率对应的测试配置测试所述测试周期内的所述多个集成电路的电路数量。
14.根据权利要求12所述的集成电路测试方法,其中,所述变更条件包括满足以下条件:
判定采用第一测试覆盖率对应的测试配置测试的集成电路的失效率大于第七阈值;
实时变更所述测试配置包括:
增大所述第一测试覆盖率对应的测试配置测试所述测试周期内的所述多个集成电路的电路数量。
15.根据权利要求12至14中任一项所述的集成电路测试方法,其中,所述多个测试配置具有不同的测试覆盖率。
16.根据权利要求12至14中任一项所述的集成电路测试方法,其中,所述一定测试比例是一个测试周期内不同测试覆盖率所对应的测试配置所测试的集成电路个数的比例。
17.根据权利要求13至14中任一项所述的集成电路测试方法,其中,所述第一测试覆盖率是所述多个测试配置中测试覆盖率最高的测试配置的测试覆盖率。
18.根据权利要求13至14中任一项所述的集成电路测试方法,其中,所述测试周期为采用所述多个测试配置按照所述一定测试比例测试一次集成电路的总个数。
19.根据权利要求1所述的集成电路测试方法,其中,所述方法包括:
采用初始测试配置对新生产批次中的待测集成电路进行测试,根据测试数据获得所述当前待测集成电路的测试结果;
判断已测试的集成电路的数量是否大于等于第一阈值,如果是,则判断已测试的集成电路的失效率是否小于第二阈值;
如果已测试的集成电路的失效率小于所述第二阈值,则从所述测试配置中删除所述至少一个测试项中的测试项,或者删除所述至少一个测试项对应的测试激励。
20.根据权利要求1所述的集成电路测试方法,其中,所述方法包括:
采用初始测试配置对新生产批次中的待测集成电路进行测试,根据测试数据获得所述当前待测集成电路的测试结果;
判断已测试的集成电路的数量是否大于等于第三阈值,如果是,则判断已测试的集成电路的失效率是否大于等于第四阈值;
如果已测试的集成电路的失效率大于等于所述第四阈值,则为所述测试配置增加测试项,或者为所述至少一个测试项增加测试激励。
21.根据权利要求1所述的集成电路测试方法,其中,所述方法包括:
按照一定测试比例,采用多个测试配置测试测试周期内的多个集成电路以获得测试数据,根据所述测试数据获得所述测试周期内的所述多个集成电路的测试结果;
判断采用第一测试覆盖率对应的测试配置测试的集成电路的失效率是否小于第六阈值,如果所述失效率小于所述第六阈值,则减少所述第一测试覆盖率对应的测试配置测试所述测试周期内的所述多个集成电路的电路数量;
判断采用所述第一测试覆盖率对应的测试配置测试的集成电路的失效率是否大于第七阈值,如果所述失效率大于所述第七阈值,则增大所述第一测试覆盖率对应的测试配置测试所述测试周期内的所述多个集成电路的电路数量。
22.根据权利要求1所述的集成电路测试方法,其中,所述方法包括:
积累采用变更前的测试配置测试集成电路获得的测试数据;
根据所述获得的测试数据,分析所述至少一个测试项对应的输出响应分布以及所述至少一个测试项对应的测试规范中的相关参数的中心值波动;
根据所述至少一个测试项对应的测试规范中的相关参数的中心值波动,预估调整所述至少一个测试项对应的测试规范后所述相关参数的上限值和下限值;
根据所述至少一个测试项对应的输出响应分布,预估采用变更后的测试配置测试的集成电路的失效率的增量;
判断预估的采用变更后的测试配置测试的集成电路的失效率的增量是否小于第五阈值,如果是,则实时调整所述测试规范中相关参数的上限值和下限值,如果否,则维持现有的测试配置。
23.一种集成电路测试系统,其中,采用测试配置测试多个集成电路以获得测试数据;根据所述测试数据获得所述多个集成电路的测试结果,所述测试配置规定至少一个测试项、以及与所述至少一个测试项对应的测试激励和测试规范,所述集成电路测试系统包括:
激励单元,根据所述测试配置向所述多个集成电路提供测试激励;
分析单元,根据所述测试配置对所述多个集成电路的测试数据进行比较分析;
评估单元,与所述分析单元相连接,根据所述比较分析的结果评估集成电路的测试结果;以及
配置更新单元,与所述分析单元相连接以提供所述测试配置对应的测试数据的信息,在测试步骤中,所述配置更新单元根据所述测试数据相关的变更条件实时变更所述测试配置。
24.根据权利要求23所述的集成电路测试系统,其中,所述变更条件包括同时满足的以下条件:
已测试的集成电路的数量大于等于第一阈值;以及
已测试的集成电路的失效率小于第二阈值。
25.根据权利要求24所述的集成电路测试系统,其中,实时变更所述测试配置包括:
从所述测试配置中删除所述至少一个测试项中的测试项,或者删除所述至少一个测试项的测试激励。
26.根据权利要求23所述的集成电路测试系统,其中,所述变更条件包括同时满足的以下条件:
已测试的集成电路的数量大于等于第三阈值;以及
已测试的集成电路的失效率大于等于第四阈值。
27.根据权利要求26所述的集成电路测试系统,其中,实时变更所述测试配置包括:
为所述测试配置增加测试项,或者为所述至少一个测试项增加测试激励。
28.根据权利要求24或26所述的集成电路测试系统,其中,所述变更条件还包括满足以下条件:
所述多个集成电路属于新生产批次。
29.根据权利要求23所述的集成电路测试系统,其中,所述变更条件包括满足以下条件:
预估的采用变更后的所述测试配置测试的集成电路的失效率的增量小于第五阈值。
30.根据权利要求29所述的集成电路测试系统,其中,实时变更所述测试配置包括:实时调整所述测试规范中相关参数的上限值和下限值。
31.根据权利要求29所述的集成电路测试系统,其中,预估采用变更后的所述测试配置测试的集成电路的失效率的增量包括:
根据采用变更前的所述测试配置测试集成电路获得的测试数据,分析所述至少一个测试项对应的输出响应分布以及所述至少一个测试规范中的相关参数的中心值波动;
根据所述中心值波动,预估调整所述至少一个测试规范后所述相关参数的上限值和下限值;以及
根据所述输出响应分布,预估采用变更后的测试配置测试的集成电路的失效率的增量。
32.根据权利要求29所述的集成电路测试系统,其中,所述变更条件还包括满足以下条件:
所述多个集成电路属于多个生产批次或同一个生产批次。
33.根据权利要求29至32中任一项所述的集成电路测试系统,其中,
重复所述测试步骤一定次数,在每一次的所述测试步骤中,所述配置更新单元根据之前所述测试步骤中获得的所述测试数据相关的变更条件实时变更所述测试配置。
34.根据权利要求23所述的集成电路测试系统,其中,所述采用测试配置测试多个集成电路以获得测试数据包括:
按照一定测试比例,采用多个测试配置测试测试周期内的多个集成电路以获得测试数据;
所述根据所述测试数据获得所述多个集成电路的测试结果包括:
根据所述测试数据获得所述测试周期内所述多个集成电路的测试结果。
35.根据权利要求34所述的集成电路测试系统,其中,所述变更条件包括满足以下条件:
判定采用第一测试覆盖率对应的测试配置测试的集成电路的失效率小于第六阈值;
实时变更所述测试配置包括:
减少所述第一测试覆盖率对应的测试配置测试所述测试周期内的所述多个集成电路的电路数量。
36.根据权利要求34所述的集成电路测试系统,其中,所述变更条件包括满足以下条件:
判定采用第一测试覆盖率对应的测试配置测试的集成电路的失效率大于第七阈值;
实时变更所述测试配置包括:
增大所述第一测试覆盖率对应的测试配置测试所述测试周期内的所述多个集成电路的电路数量。
37.根据权利要求34至36中任一项所述的集成电路测试系统,其中,所述多个测试配置具有不同的测试覆盖率。
38.根据权利要求34至36中任一项所述的集成电路测试系统,其中,所述一定测试比例是一个测试周期内不同测试覆盖率所对应的测试配置所测试的集成电路个数的比例。
39.根据权利要求35至36中任一项所述的集成电路测试系统,其中,所述第一测试覆盖率是所述多个测试配置中测试覆盖率最高的测试配置的测试覆盖率。
40.根据权利要求35至36中任一项所述的集成电路测试系统,其中,所述测试周期为采用所述多个测试配置按照所述一定测试比例测试一次集成电路的总个数。