半导体测试装置的制作方法

本实用新型涉及一种半导体测试装置，尤其涉及一种适用范围更广的半导体测试装置。

背景技术：

在目前使用半导体寿命测试仪中，基本根据实际检测的半导体的尺寸需求来制作对应尺寸的测试装置，如果需要测试其他型号的半导体，需要重新进行制作测试装置，一方面测试成本增加，另一方面也会极大地降低检测效率。

有鉴于此，有必要对现有的半导体测试装置予以改进，以解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种适用范围更广的半导体测试装置。

为实现上述实用新型目的，本实用新型提供了一种半导体测试装置，包括：底座；多个限位块，分别设置于所述底座上以固定待测元件；探针机构，设置于所述底座上以电性连接待测元件；移动机构，分别设置于所述限位块和所述底座、所述探针机构和所述底座之间，以使所述限位块和所述探针机构根据待测元件的尺寸能够沿底座进行适应性地移动调整。

作为本实用新型的进一步改进，所述底座上设有沿所述探针机构移动方向延伸设置的导电区域，所述探针机构在滑动过程中始终电性连接所述导电区域。

作为本实用新型的进一步改进，移动机构具有设置于底座上与所述探针机构相配合的探针滑轨，所述探针滑轨包括平行设置的第一探针滑轨和第二探针滑轨，所述导电区域设置于所述第一探针滑轨和所述第二探针滑轨之间。

作为本实用新型的进一步改进，所述探针机构具有与所述导电区域电性连接的探针，所述探针的下端具有可沿所述导电区域滑动的滚珠或滚轮。

作为本实用新型的进一步改进，移动机构具有设置于底座上以与所述探针机构相配合的探针滑轨、与所述限位块相配合的限位滑轨，所述探针滑轨和所述限位滑轨分别具有沿其各自延伸方向均匀设置的刻度。

作为本实用新型的进一步改进，所述探针滑轨位于相邻的两个限位滑轨之间，所述底座呈矩形设置，所述探针滑轨沿底座的对角线延伸设置，所述限位滑轨分别沿底座相对侧的中心连线的方向延伸。

作为本实用新型的进一步改进，所述限位块和所述限位滑轨、所述探针机构和所述探针滑轨之间分别设有相互固定的固定机构。

作为本实用新型的进一步改进，所述固定机构包括设置于所述探针滑轨和所述限位滑轨上的多个卡勾，所述限位块和所述探针机构分别设有可与所述卡勾相固定和解除固定的卡槽。

作为本实用新型的进一步改进，所述限位块具有用以承载待测元件的承载部、自所述承载面远离待测元件的一侧向上突伸的限位部。

作为本实用新型的进一步改进，所述测试装置还包括盖合所述底座的上盖，所述上盖具有自其下表面向下突伸的突出部、自所述突出部凹陷设置的上检测区域、设置于所述上检测区域内的光电传感器。

本实用新型的有益效果：本实用新型通过在底座上设置可移动的限位块和探针机构，从而实现各种尺寸待测元件的测试，节省成本。

附图说明

图1是本实用新型半导体测试装置的立体示意图。

图2是本实用新型半导体测试装置的俯视图。

图3是本实用新型探针机构的立体示意图。

图4是本实用新型限位块的立体示意图。

具体实施方式

以下将结合附图所示的实施方式对本实用新型进行详细描述。但该实施方式并不限制本实用新型，本领域的普通技术人员根据该实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本实用新型的保护范围内。

请参图1至图4所示为本实用新型半导体测试装置的实施例，一种半导体测试装置，包括：底座1；多个限位块2，分别设置于所述底座1上以固定待测元件3；探针机构4，设置于所述底座1上以电性连接待测元件3；移动机构，分别设置于所述限位块2和所述底座1、所述探针机构4和所述底座1之间，以使所述限位块2和所述探针机构4根据待测元件3的尺寸能够沿底座1进行适应性地移动调整。

具体地，如图1和图2所示，所述底座1呈矩形设置，所述底座1具有自其上表面向下凹陷设置的凹槽11、设置于所述凹槽11中央的测试区域12，在本实施例中，所述测试装置主要用于测试oled屏的寿命测试，所述测试区域12为感光区域，其主要用于检测oled屏亮度衰减的时间，所述测试区域12呈矩形设置且沿上下方向贯穿所述凹槽11。当然在其他实施例中，也可不必设置所述测试区域12，只需采用所述探针机构4测试待测元件3的相关性能即可。

所述移动机构为设置于所述凹槽11内的限位滑轨5和探针滑轨6、分别设置于所述限位块2上和所述探针机构4上的限位滑槽21和探针滑槽41，所述探针滑轨6沿底座1的对角线延伸设置，所述限位滑轨5分别沿底座1相对侧的中心连线的方向延伸。在本实施例中，所述限位滑轨5和所述探针滑轨6自所述测试区域12的四周向外发散延伸设置。

所述凹槽11上设有沿所述探针机构4移动方向延伸设置的导电区域(未图示)，所述探针机构4在滑动过程中始终电性连接所述导电区域。所述探针机构4包括沿所述探针滑轨6滑动的探针固定块42、沿上下方向固定于所述探针固定块42内的探针43，所述探针滑槽41设置于所述探针固定块42上，所述探针43具有位于其上端以和待测元件3电性连接的上导接部431、位于其下端以和所述导电区域电性连接的下导接部432。

在本实施例中，所述导电区域可以为沿所述探针滑轨6延伸方向设置的金属板，所述底座1内部具有和所述金属板电性连接的电源线，所述电源线和外界电源相连接，所述下导接部432为可沿所述金属板滑动滚轮或滚珠结构，如此，可方便所述探针43较为顺滑地移动，避免探针43受损。当然在其他实施例中，所述探针43也可直接与电源线相连。

如图3所示，在本实施例中，所述探针滑轨6包括平行设置的第一探针滑轨61和第二探针滑轨62，所述导电区域设置于所述第一探针滑轨61和所述第二探针滑轨62之间，如此，可有效避免操作人员接触所述导电区域，从而提高作业安全性。在本实施例中，所述限位滑轨5与所述探针滑轨6结构相同，从而方便制作所述测试装置。

所述探针滑轨6和所述限位滑轨5还分别具有沿其延伸方向均匀设置的刻度(未图示)。当需要测试待测元件3时，先根据待测元件3的大小尺寸，确定所述限位块2和所述探针机构4所要滑动的距离，然后将所述限位块2和所述探针机构4滑动至指定位置，之后将待测元件3放置在所述限位块2上，最后可再微调所述限位块2和所述探针机构4达到最佳位置。如此，可避免先放置待测元件3时导致待测元件3放置位置不对的情况产生。

如图4所示，所述限位块2具有用以承载待测元件3的承载部22、自所述承载面远离测试区域12的一侧向上突伸的限位部23，在本实施例中，所述限位块2大致呈“l”状，如此可平稳地放置待测元件3，同时通过滑动所述限位块2来使所述限位部23固定待测元件3。所述承载部22的上表面不高于所述探针43的顶端，如此可保证待测元件3和所述探针43稳定电性连接。当然在其他实施例中，所述限位块2也可为直角结构，且设置于所述凹槽11的四角处，如此可固定待测元件3的四个角。

所述限位块2和所述限位滑轨5、所述探针机构4和所述探针滑轨6之间分别设有相互固定的固定机构(未图示)。在本实施例中，所述固定机构包括设置于所述探针滑轨6和所述限位滑轨5上的多个卡勾，所述限位块2和所述探针机构4分别设有可与所述卡勾相固定和解除固定的卡槽。当所述限位块2或所述探针机构4滑动到指定位置时，可通过旋转所述卡槽固定至所述卡勾上，如此可避免述限位块2或所述探针固定块42活动，当需要调整述限位块2或所述探针固定块42位置时，旋转所述卡槽即可解除固定。

在本实施例中，所述测试装置包括至少两对探针43，且每一所述探针43均分别一一对应设置于每一所述探针固定块42上，每对所述探针43均包括一阳极探针43和一阴极探针43，如此，可一次性测试待测元件3上的多对接点，减少重新调整待测元件3的次数，提高测试效率。

所述测试装置还包括盖合于所述底座1上方的上盖7，在本实施例中，所述限位块2、所述探针43、待测元件3的上端均不高于所述底座1的上表面，如此，所述上盖7可贴合地盖合于所述底座1的上表面，从而避免外界光源对内部干扰，提高测试精确性。

所述上盖7还具有自其下表面向下突伸设置的突出部71，当所述上盖7盖合时，所述突出部71可进一步固定所述待测元件3，所述上盖7还具有自所述突出部71向上凹陷设置的上测试区域72，如此，当待测元件3为透明的oled屏时，待测元件3上下面均发光，从而可同时检测待测元件3两侧的亮度。在本实施例中，一般采用光电传感器来检测待测元件3的亮度。

综上所述，本实用新型在底座1上设置可移动的限位块2和探针机构4，从而实现各种尺寸待测元件3的测试，节省成本。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围。