探针卡针尖压力检测设备的制作方法

1.本实用新型涉及探针卡检测技术领域，尤其涉及探针卡针尖压力检测设备。


背景技术：

2.探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试。探针卡包括基板和设置基板上的探针，探针卡使用时，探针要与待测芯片抵靠，因此探针卡在出厂时，对于其上的探针的压力检测至关重要。
3.目前探针卡针尖检测方法普遍通过探针卡针尖的变形量计算压力，检测方法单一，操作复杂，不够直观。


技术实现要素：

4.为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供探针卡针尖压力检测设备，结构简单，操作便捷，可快速检测针尖的压力和变形量。
5.为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：探针卡针尖压力检测设备，包括底座，所述底座上设置有供待测探针卡放置的检测区，其特征在于：所述底座上还设置有观察机构和检测机构，所述检测机构包括固定在底座上的三维微调平台，所述三维微调平台上设置有检测其z向输出轴升降高度的高度传感器，所述三维微调平台的z向输出轴固结有压力传感器，所述压力传感器的测试头上设置有测试顶针，所述测试顶针位于检测区正上方；所述观察机构包括固定在底座上的龙门固定架，所述龙门固定架上设置有能十字移动的运动座，所述运动座上固结有体式显微镜，所述体式显微镜位于检测区正上方。
6.进一步来说，所述三维微调平台固定在检测区一侧，所述压力传感器通过横梁与三维微调平台的z向输出轴固结，所述横梁两端分别与压力传感器和三维微调平台的z向输出轴固结。压力传感器通过横梁与三维微调平台的z向输出轴固定，可延伸至检测区。
7.进一步来说，所述龙门固定架的横板上固定有左右导轨，所述左右导轨上滑动连接有沿其滑动的左右滑板，所述左右滑板上端设置有前后滑座，所述前后滑座内滑动连接有可沿其滑动的前后导轨，所述前后导轨与左右导轨垂直且固定在运动座下端。运动座通过左右导轨、左右滑板、前后滑座和前后导轨实现前后和左右方向上的十字型移动，以实现体式显微镜的检测区上方位置的调节，便于观察探针卡。
8.进一步来说，所述底座上固定有与压力传感器通信连接的压力显示器，所述高度传感器连接有显示其测量值的高度显示屏。可直观的记录探针高度方向位移和压力之间的数据。
9.进一步来说，所述底座上固定有朝向检测区的照明灯，照明灯对检测区的待测探针卡照明，便于检测者通过体式显微镜观察探针针头与测试顶针的抵靠状态。
10.进一步来说，所述底座的四角设置有把手，便于手动搬动整个压力检测设备。
11.本实用新型的有益效果在于：待测探针卡放置在检测区，调整三维微调平台，是测试顶针定位到待测针尖位置与针尖抵靠，移动体式显微镜至最佳观察位置观察检测顶针与
针尖的接触及下压情况，三维微调平台的z向输出轴带动测试顶针下压达到设定的形变量，通过压力传感器和高度传感器记录压力值和高度值，完成待测探针卡针尖的压力检测。整个检测装置结构简单、操作方便，便于观测和记录检测结果。
附图说明
12.图1为本实用新型实施例的立体结构示意图；
13.图2为本实用新型实施例的立体结构示意图；；
14.图3为本实用新型实施例的俯视图。
15.图中：
[0016]1‑
底座，1a
‑
检测区,2
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三维微调平台,3
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高度传感器,4
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压力传感器,5
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测试顶针,6
‑
龙门固定架,7
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运动座,8
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体式显微镜,9
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横梁,10
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左右导轨,11
‑
左右滑板,12
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前后导轨,13
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压力显示器,14
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高度显示屏,15
‑
把手。
具体实施方式
[0017]
下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0018]
实施例
[0019]
参见附图1
‑
3所示，本实用新型的探针卡针尖压力检测设备，包括底座1，底座1固定在桌面上，所述底座1上设置有供待测探针卡放置的检测区1a。所述底座1上还设置有观察机构和检测机构。
[0020]
所述检测机构包括固定在底座1上的三维微调平台2，三轴微调平台实现压力传感器4在x轴、y轴和z轴的三向移动，确保压力传感器4移动到待测探针卡对应的针尖正上方。三轴微调平台为现有技术，在光学检测领域又广泛引用，在申请号为cn201420154806.1的中国专利中已公开，此处不再赘述。所述三维微调平台上设置有检测其z向输出轴升降高度的高度传感器3，高度传感器3通过固定架固定在三维微调平台的z向输出轴上，所述高度传感器3连接有显示其测量值的高度显示屏14，直观的记录待测探针卡针尖上的高度变化即形变量。所述三维微调平台的z向输出轴固结有压力传感器4，所述压力传感器4的测试头上设置有测试顶针5，所述测试顶针5位于检测区1a正上方，用于抵靠在待测探针卡的针尖上。
[0021]
所述三维微调平台固定在检测区1a一侧，所述压力传感器4通过横梁9与三维微调平台的z向输出轴固结，所述横梁9两端分别与压力传感器4和三维微调平台的z向输出轴固结。压力传感器4通过横梁9与三维微调平台的z向输出轴固定，可延伸至检测区1a。所述底座1上固定有与压力传感器4通信连接的压力显示器13，可直观的记录施加在待测探针卡针尖上的压力。
[0022]
所述观察机构包括固定在底座1上的龙门固定架6，所述龙门固定架6上设置有能十字移动的运动座7，所述运动座7上固结有体式显微镜8，所述体式显微镜8位于检测区1a正上方。所述龙门固定架6的横板上固定有左右导轨10，所述左右导轨10上滑动连接有沿其滑动的左右滑板11，所述左右滑板11上端设置有前后滑座，所述前后滑座内滑动连接有可沿其滑动的前后导轨12，所述前后导轨12与左右导轨10垂直且固定在运动座7下端。运动座
7通过左右导轨10、左右滑板11、前后滑座和前后导轨12实现前后和左右方向上的十字型移动，以实现体式显微镜8的检测区1a上方位置的调节，便于观察探针卡。
[0023]
所述底座1上固定有朝向检测区1a的照明灯，照明灯对检测区1a的待测探针卡照明，便于检测者通过体式显微镜8观察探针针头与测试顶针5的抵靠状态。所述底座1的四角设置有把手15，便于手动搬动整个压力检测设备。
[0024]
将待测探针卡放置在检测区1a，调整三维微调平台2，是测试顶针5定位到待测针尖位置与针尖抵靠，移动体式显微镜8至最佳观察位置，观察检测顶针与针尖的接触及下压情况。三维微调平台2的z向输出轴带动测试顶针5下压达到设定的形变量，通过压力传感器4和高度传感器3记录压力值和高度值，完成待测探针卡针尖的压力检测。整个检测装置结构简单、操作方便，便于观测和记录检测结果。
[0025]
以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。