用于测试探针卡的转换卡的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明有关于一种转换卡，特别是指其为一种用于测试探针卡的转换卡。
【背景技术】
[0002] 长久以来，半导体业界在晶圆可靠度测试（wafer acceptance test)时，都会先验 证直流探针卡（Probe Card)是否可用，因直流探针卡担负着最后段测试时，IC在被切割前 (WS :Wafer Sort)，功能测试是否正常的重要角色，当IC测试能正常工作后，IC即会被切割 包装（FT :Final Test ;IC has been packaged)并再作后续的分类（BIN)测试，由此可知，当 直流探针卡的错误率高时，会直接影响后面出货的速度与质量，但直流探针卡随着IC功能 越来越强，脚数越来越多，甚至高达几万根的脚数，其价格动辄千万，若直流探针卡被判为 错误率高，则须再作清针，甚至换卡的动作，这些动作非常耗费成本及时间，晶圆厂及测试 厂时常为了赶货给客户，经常以直接换卡的方式测到正确为止，而这些换下来的直流探针 卡的费用则是由晶圆厂及测试厂直接吸收掉，因此直流探针卡的库存率，常会达到台币几 千万至数亿的等级，造成成本大幅提高。
[0003] 由于半导体业界长期借由此直流测试方式来测试直流探针卡，其改善方式已达瓶 颈，爰是，本发明人今基于产品不断改良创新的理念，乃本着多年从事半导体及与电子相关 的测试产业产品设计开发的实务经验，以及积极潜心研发思考，而利用交流方式对直流电 探针卡的错误分析及改善，经由无数次的实际测试、实验，致有本发明的产生。
【发明内容】
[0004] 本发明的目的，在于提供一种借第一传输单元传输交流信号，并将交流信号经由 直流/交流转换电路、第二传输单元接至直流探针卡，运用交流电路及传输线原理，以配合 交流信号仪器利用交流方式对直流电探针卡进行错误分析测试及改善的用于测试探针卡 的转换卡。
[0005] 为达上述的目的，本发明的解决方案是：
[0006] -种用于测试探针卡的转换卡，包含有：
[0007] -板体；
[0008] 至少一第一传输单兀，设于该板体，该第一传输单兀用以电性连接于测试仪器以 传输交流信号；
[0009] 至少一第二传输单元，设于该板体，该第二传输单元用以电性连接于探针卡接 P ;
[0010] -直流/交流转换电路，设于该板体，该直流/交流转换电路电性连接于该第一传 输单元、该第二传输单元。
[0011] 进一步，该板体具有一穿孔。
[0012] 进一步，该第一传输单元为数个排列成一区域的电性连接孔。
[0013] 进一步，该第二传输单元为电性连接孔。
[0014] 进一步，该板体、该第一传输单元、该第二传输单元及该直流/交流转换电路一体 制成为一印刷电路板（PCB，Printed circuit board)。
[0015] 进一步，该板体、该第一传输单元、该第二传输单元及该直流/交流转换电路压合 成一体。
[0016] 以借第一传输单元传输交流信号，并将交流信号经由直流/交流转换电路、第二 传输单元、探针卡接口接至直流探针卡，运用交流电路及传输线原理，以配合逻辑分析仪、 示波器、时域反射仪、频域网络分析仪、误码产生器、眼图分析仪等交流信号测试仪器，利用 交流方式可对直流电探针卡进行错误分析测试及改善，避免误判探针卡的错误率，达到降 低换卡率及清针率，降低直流探针卡的库存率。
【附图说明】
[0017] 图1为本发明的上视图；
[0018] 图2为本发明的上视局部放大图；
[0019] 图3为本发明测试实施例的立体分解图；
[0020] 图4为本发明测试实施例的剖面图；
[0021] 图5为本发明的构造方块示意图；
[0022] 图6为本发明配合逻辑分析仪、数字信号产生器的测试实施例图；
[0023] 图7为图6的测试结果图；
[0024] 图8本发明配合逻辑分析仪、示波器、数字信号产生器的测试实施例图；
[0025] 图9为图8的测试结果图；
[0026] 图10为本发明配合时域反射仪的测试实施例图；
[0027] 图11为图10的测试结果图；
[0028] 图12为本发明配合频域网络分析仪的测试实施例图；
[0029] 图13为图12的测试结果图；
[0030] 图14为本发明配合眼图分析仪、误码产生器的测试实施例图；
[0031] 图15为图14的测试结果图；
[0032] 图16为本发明配合眼图分析仪与误码产生器整合机型的测试实施例图；
[0033] 图17为本发明的测试程序流程图。
[0034] 【符号说明】
[0035] 用于测试探针卡的转换卡10板体11
[0036] 第一传输单元12 连接线121
[0037] 第二传输单元13 直流/交流转换电路14
[0038] 穿孔15 探针卡接口 20
[0039] 直流探针卡30 测试设备31
[0040] 逻辑分析仪40 数字信号产生器41
[0041] 不波器50 时域反射仪60
[0042] 频域网络分析仪70 误码产生器80
[0043] 眼图分析仪90 误码产生器与眼图分析仪整合机型91。
【具体实施方式】
[0044] 为了进一步解释本发明的技术方案，下面通过具体实施例来对本发明进行详细阐 述。
[0045] 请参阅图1至图16所示，本发明用于测试探针卡（Probe Card)的转换卡10构造 包含有一板体11、数第一传输单元12、数第二传输单元13及一直流/交流转换电路14,其 中：
[0046] 该板体11于一实施例具有一穿孔15,用以减轻重量、节省材料，进而降低制造成 本。
[0047] 该第一传输单元12设于板体11，第一传输单元12用以电性连接于预定的测试仪 器以传输交流信号，于本实施例第一传输单元12可与测试仪器的连接线121电性连接，而 第一传输单元12以八个状平均设于板体11，使数个连接线121也可同时电性连接于数个第 一传输单元12,据此，测试仪器能借由一条连接线121连接于不同位置的第一传输单元12 而分区测试直流探针卡30,或者测试仪器能借由数条连接线121连接于不同位置的第一传 输单元12而同时分区测试直流探针卡30。
[0048] 该第一传输单元12于一实施例为数个排列成一区域的电性连接孔。
[0049] 该第二传输单元13设于板体11，第二传输单元13用以电性连接于探针卡接口 (P0G0 tower) 20。
[0050] 该第一传输单元12于一实施例为电性连接孔，于本实施例探针卡接口 20上侧的 数探针穿设于第二传输单元13中。
[0051 ] 该直流/交流转换电路14设于板体11，直流/交流转换电路14电性连接于该第 一传输单兀12、第二传输单兀13。
[0052] 于一构造实施例，该板体11、第一传输单元12、第二传输单元13及直流/交流转 换电路14 一体制成为一印刷电路板（PCB，Printed circuit board);或者是该板体11、第一 传输单元12、第二传输单元13及直流/交流转换电路14压合成一体。
[0053] 以借第一传输单元12传输交流信号，并将交流信号经由直流/交流转换电路14、 第二传输单元13、探针卡接口 20接至直流探针卡（Probe Card)30,运用交流电路及传输线 原