一种换能器以及成像系统的制作方法

文档序号:37281448发布日期:2024-03-12 21:20阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种换能器,其特征在于,包括:基底和多个换能单元,所述多个换能单元在所述基底上排列为阵列;

2.根据权利要求1所述的换能器,其特征在于,所述第一阈值为

3.根据权利要求1或2所述的换能器,其特征在于,所述补偿子单元还在谐波段谐振。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的换能器,其特征在于,所述上电极包括多个分块电极,当所述上电极和所述下电极之间产生电荷时,通过所述多个分块电极中的中心电极获取所述接收电信号,所述中心电极包括与所述上电极的中心点距离最近的至少一个分块电极。

5.根据权利要求4所述的换能器,其特征在于,

6.根据权利要求4或5所述的换能器,其特征在于,所述多个分块电极分为至少一个内电极和/或至少一个外电极,所述至少一个外电极包围所述至少一个内电极;

7.根据权利要求4-6中任一项所述的换能器,其特征在于,所述多个分块电极对称排列。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的换能器,其特征在于,

9.根据权利要求1-8中任一项所述的换能器,其特征在于,相邻的换能单元之间的距离不超过1.5倍基频波长。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的换能器,其特征在于,所述换能单元包括微机械压电超声波换能器pmut单元,所述每个pmut单元中所述上电极和所述下电极之间还设置了压电感应层。

11.根据权利要求1-9中任一项所述的换能器,其特征在于,所述换能单元包括微机械电容超声波换能器cmut单元,所述上电极和所述下电极之间包括绝缘层,所述上电极和所述下电极间还设置了空腔结构。

12.根据权利要求1-11中任一项所述的换能器,其特征在于,所述多个换能单元的形状包括矩形、椭圆或者具有至少两条中心对称轴多边形中的至少一种,且所述基准子单元的长宽比大于1。

13.根据权利要求12所述的换能器,其特征在于,所述至少一个补偿子单元表面的形状包括长宽比等于1的圆形或者正多边形。

14.根据权利要求1-13中任一项所述的换能器,其特征在于,所述阵列的宽度小于所述换能器的工作波长的1.5倍。

15.一种换能器,其特征在于,包括:基底和多个换能单元,所述多个换能单元排列在所述基底上;

16.根据权利要求15所述的换能器,其特征在于,

17.一种成像系统,其特征在于,包括:探头以及处理器;

18.根据权利要求17所述的成像系统,其特征在于,所述成像系统还包括:

19.根据权利要求17或18所述的成像系统,其特征在于,所述探头中设置了多个换能器,所述多个换能器按照阵列排列。


技术总结
本申请提供一种换能器以及成像系统,通过不同尺寸的换能单元耦合而成的阵列,在同一个换能单元中可以实现基频段和谐波段的发射与接收,从而增加基频发射和接收带宽,并同时实现谐波成像。该换能器阵列包括:多个换能单元在基底上排列为阵列;每个换能单元的振膜包括结构层、上电极、压电层和下电极;该多个换能单元分为至少一个基准子单元和至少一个补偿子单元,基准子单元的长宽比不小于补偿子单元的长宽比,基准子单元用于在基频段和谐波段产生谐振,补偿子单元在基频段或同时在基频段和谐波段产生谐振,且补偿子单元在基频的谐振频率与基准子单元在基频的谐振频率不同,从而扩宽基频收发带宽。

技术研发人员:陈旭颖,于媛媛,徐景辉,谢金,屈梦娇
受保护的技术使用者:华为技术有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/3/11
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