缺陷检测方法、装置及设备与流程

文档序号:34732786发布日期:2023-07-08 03:16阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种缺陷检测方法,其特征在于,所述方法包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述对所述第一二维图像和所述第二二维图像进行处理,获得目标低能量谱和目标相位谱,包括:

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述根据所述第一二维图像和所述第二二维图像,获得目标频谱,包括:

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述根据所述第一二维图像和所述第二二维图像,确定目标二维图像,包括:

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,在所述根据所述第一摄像装置的内参数和外参数对所述第一二维图像进行校正,获得校正后的第一二维图像;以及根据所述第二摄像装置的内参数和外参数对所述第二二维图像进行校正,获得校正后的第二二维图像之前,所述方法还包括:

6.根据权利要求1至5任一项所述的方法,其特征在于,所述对所述目标低能量谱和所述目标相位谱执行匹配计算,确定缺陷信息,包括:

7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,

8.根据权利要求1至5任一项所述的方法,其特征在于,所述获取第一二维图像和第二二维图像,包括:

9.根据权利要求1至5任一项所述的方法,其特征在于,

10.根据权利要求1至5任一项所述的方法,其特征在于,

11.一种缺陷检测装置,其特征在于,所述装置包括:

12.一种缺陷检测设备,其特征在于,包括至少一个处理器,所述至少一个处理器用于与存储器耦合,读取并执行所述存储器中的指令,以实现如权利要求1至10中任一项所述的方法。

13.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质存储了计算机程序,当所述计算机程序被处理器执行时,使得处理器执行权利要求1至10中任一项所述的方法。


技术总结
本申请公开了一种缺陷检测方法、装置及设备。该方法包括:获取第一二维图像和第二二维图像,第一二维图像是第一摄像装置以第一视角对待检测物品进行拍摄获得的图像,第二二维图像是第二摄像装置以第二视角对待检测物品进行拍摄获得的图像;对第一二维图像和第二二维图像进行处理,获得目标低能量谱和目标相位谱,目标低能量谱包括第一二维图像的低能量谱和第二二维图像的低能量谱,目标相位谱包括第一二维图像的相位谱和第二二维图像的相位谱;对目标低能量谱和目标相位谱执行匹配计算,确定缺陷信息,缺陷信息包括缺陷相对于待检测物品的坐标信息和缺陷的形状大小信息。该方法可以实现对待检测物品内部存在的缺陷的检测。

技术研发人员:邹志明,吴梓荣
受保护的技术使用者:赣州市秋田微电子有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/13
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