1.一种缺陷检测方法,其特征在于,所述方法包括:
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述对所述第一二维图像和所述第二二维图像进行处理,获得目标低能量谱和目标相位谱,包括:
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述根据所述第一二维图像和所述第二二维图像,获得目标频谱,包括:
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述根据所述第一二维图像和所述第二二维图像,确定目标二维图像,包括:
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,在所述根据所述第一摄像装置的内参数和外参数对所述第一二维图像进行校正,获得校正后的第一二维图像;以及根据所述第二摄像装置的内参数和外参数对所述第二二维图像进行校正,获得校正后的第二二维图像之前,所述方法还包括:
6.根据权利要求1至5任一项所述的方法,其特征在于,所述对所述目标低能量谱和所述目标相位谱执行匹配计算,确定缺陷信息,包括:
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,
8.根据权利要求1至5任一项所述的方法,其特征在于,所述获取第一二维图像和第二二维图像,包括:
9.根据权利要求1至5任一项所述的方法,其特征在于,
10.根据权利要求1至5任一项所述的方法,其特征在于,
11.一种缺陷检测装置,其特征在于,所述装置包括:
12.一种缺陷检测设备,其特征在于,包括至少一个处理器,所述至少一个处理器用于与存储器耦合,读取并执行所述存储器中的指令,以实现如权利要求1至10中任一项所述的方法。
13.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质存储了计算机程序,当所述计算机程序被处理器执行时,使得处理器执行权利要求1至10中任一项所述的方法。