一种镀层材料的氢含量检测装置和方法与流程

文档序号:36726723发布日期:2024-01-16 12:34阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种镀层材料的氢含量检测装置,其特征在于:包括

2.根据权利要求1所述的一种镀层材料的氢含量检测装置,其特征在于:所述真空获得系统包括真空泵、阀门,阀门连通于真空泵和真空工作腔(1)之间,真空泵选自机械泵(2)、分子泵(3)、离子泵(4)。

3.根据权利要求1所述的一种镀层材料的氢含量检测装置,其特征在于:所述真空测量系统选自真空表、热电偶规管或超高真空规。

4.根据权利要求1所述的一种镀层材料的氢含量检测装置,其特征在于:所述质谱仪(9)连通于真空工作腔(1),或者质谱仪(9)位于真空工作腔(1)内部。

5.根据权利要求1所述的一种镀层材料的氢含量检测装置,其特征在于:所述真空工作腔(1)由不锈钢顶盖(11)和不锈钢真空容器(12)形成,顶盖(11)和真空容器(12)之间采用密封圈法兰密封。

6.根据权利要求5所述的一种镀层材料的氢含量检测装置,其特征在于:所述温控装置包括加热装置(13)和制冷装置(14),加热装置(13)设置于样品台(8),加热装置(13)为电加热装置(13);制冷装置(14)为液氮制冷装置(14),包括液氮流通管,液氮流通管分布于样品台(8)内。

7.根据权利要求1所述的一种镀层材料的氢含量检测装置,其特征在于:所述真空工作腔(1)由石英管(15)和不锈钢容器(16)形成,石英管(15)连通于不锈钢容器(16)的一端,样品台(8)位于石英管(15)内。

8.根据权利要求7所述的一种镀层材料的氢含量检测装置,其特征在于:所述温控装置为加热笼(17),加热笼采用红外辐射加热,加热笼(17)设置于石英管(15)外部,以对石英管(15)内的待测品进行升温。

9.一种镀层材料的氢含量检测方法,其特征在于,使用权利要求1-8任一所述的一种镀层材料的氢含量检测装置进行测量,包括:

10.根据权利要求9所述的一种镀层材料的氢含量检测方法,其特征在于:所述步骤s4之后,重复步骤s3和s4,获得待测品在不同设定温度下的氢气含量,且不同的设定温度从低到高依次进行。


技术总结
本申请公开了一种测量镀层材料氢含量的检测装置和方法,一种应用于航空航天设备中高精密高稳定要求的零件的镀层材料氢含量无损动态检测装置及方法。所述装置,包括真空工作腔、样品台、真空获得系统、真空测量系统、质谱仪以及主控设备。真空获得系统采用机械泵、分子泵、离子泵等多级真空泵获得高真空环境并可进行不同真空度量级的选择,质谱仪、真空泵通过真空管路与真空工作腔连接,所分析气体进入质谱仪进行分析检测。样品台的设计充分考虑样品台的快速均温加热以及快速冷却功能。

技术研发人员:董源,王景润,王楠,崔庆新,冯立,李家峰,张家强,白晶莹,徐俊杰,佟晓波
受保护的技术使用者:北京卫星制造厂有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
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