1.一种镀层材料的氢含量检测装置,其特征在于:包括
2.根据权利要求1所述的一种镀层材料的氢含量检测装置,其特征在于:所述真空获得系统包括真空泵、阀门,阀门连通于真空泵和真空工作腔(1)之间,真空泵选自机械泵(2)、分子泵(3)、离子泵(4)。
3.根据权利要求1所述的一种镀层材料的氢含量检测装置,其特征在于:所述真空测量系统选自真空表、热电偶规管或超高真空规。
4.根据权利要求1所述的一种镀层材料的氢含量检测装置,其特征在于:所述质谱仪(9)连通于真空工作腔(1),或者质谱仪(9)位于真空工作腔(1)内部。
5.根据权利要求1所述的一种镀层材料的氢含量检测装置,其特征在于:所述真空工作腔(1)由不锈钢顶盖(11)和不锈钢真空容器(12)形成,顶盖(11)和真空容器(12)之间采用密封圈法兰密封。
6.根据权利要求5所述的一种镀层材料的氢含量检测装置,其特征在于:所述温控装置包括加热装置(13)和制冷装置(14),加热装置(13)设置于样品台(8),加热装置(13)为电加热装置(13);制冷装置(14)为液氮制冷装置(14),包括液氮流通管,液氮流通管分布于样品台(8)内。
7.根据权利要求1所述的一种镀层材料的氢含量检测装置,其特征在于:所述真空工作腔(1)由石英管(15)和不锈钢容器(16)形成,石英管(15)连通于不锈钢容器(16)的一端,样品台(8)位于石英管(15)内。
8.根据权利要求7所述的一种镀层材料的氢含量检测装置,其特征在于:所述温控装置为加热笼(17),加热笼采用红外辐射加热,加热笼(17)设置于石英管(15)外部,以对石英管(15)内的待测品进行升温。
9.一种镀层材料的氢含量检测方法,其特征在于,使用权利要求1-8任一所述的一种镀层材料的氢含量检测装置进行测量,包括:
10.根据权利要求9所述的一种镀层材料的氢含量检测方法,其特征在于:所述步骤s4之后,重复步骤s3和s4,获得待测品在不同设定温度下的氢气含量,且不同的设定温度从低到高依次进行。