变温超高真空扫描隧道显微镜样品台的制作方法

文档序号:68679阅读:569来源:国知局
专利名称:变温超高真空扫描隧道显微镜样品台的制作方法
技术领域
本实用新型涉及用于变温超高真空扫描隧道显微镜的样品台。
技术背景
变温超高真空扫描隧道显微镜是一种用于研究表面科学的研究工具,目前的变温超高真空扫描隧道显微镜由各生产厂商分别涉及,配件昂贵,切不可通用,这就造成了维护困难诸多缺点,样品台作为其中的一个配件,同样存在上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种使用方便、能够在多种高温超高真空扫描隧道显微镜上使用的样品台。
为了实现上述目的,本实用新型采用的技术方案如下
本实用新型的变温超高真空扫描隧道显微镜样品台,包括基架和样品固定架,所述的样品固定架高度可调的固定在所述的基架上。
优选的,所述的基架包括基底、基底上的固定架、位于固定架上的限位突起,所述的样品固定架通过对称设置的两个螺栓可调节的固定在所述的固定架上、所述限位突起的上方。
优选的,所述的基底为扁平的长方体结构,所述的固定架呈长条设置于所述基底的中心、并贯穿所述基底,所述的限位突起为位于所述固定架中心且和所述固定架等宽的长条状结构。
优选的,所述的样品固定架包括基座和固定在基座中心的样品台,所述的基座通过螺栓和所述的固定架固定。
优选的,所述的基座为圆柱接圆台的一体结构,所述的样品台呈圆柱状设置于所述基座的顶部中心位置。
优选的,所述的变温超高真空扫描隧道显微镜样品台的材质采用金属钼
本实用新型的有益效果如下
本实用新型的样品台的结构使用方便,能够利用多种样品传送系统传递样品,如可以利用基架上的突出部分用真空机械手传样,也可以利用基架和样品固定架间的空隙用磁力传样杆传样,也适用于绝大多数的商业真空样品操纵台。


图1为本实用新型的样品台的主视图;
图2为本实用新型的样品台的仰视图;
图3为本实用新型的样品台的侧视图;
图4为本实用新型的样品台的立体图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型的技术方案和有益效果进一步进行说明。
参见附图1至4,本实用新型的样品台包括基架3和样品固定架6,基架3包括基底1、基底1上的固定架2、位于固定架上的限位突起8,样品固定架6通过对称设置的两个螺栓7固定在固定架2上、限位突起8的上方,且高度可调,螺栓7可以选择0-80大小的螺杆和螺母。基底1为扁平的长方体结构,固定架2呈长条设置于基底1的中心、并贯穿基底 1,限位突起8为和固定架2等宽的长条状结构。样品固定架6包括基座4和固定在基座4 中心的样品台5,基座4通过螺栓和固定架2固定。基座4为圆柱接圆台的一体结构,样品台5呈圆柱状设置于基座4的顶部中心位置。
本实用新型的变温超高真空扫描隧道显微镜样品台,包括螺栓7,的材质选用难熔金属钼,金属钼具有高强度、高熔点、耐腐蚀、耐磨研,放气率低等优点,其中其熔点高达 ^KKTC以上,可以适用于包括金、银、铜等金属,鍺、硅等半导体以及二氧化硅、二氧化钛等氧化物在内的绝大多数的研究样品。
权利要求
1.变温超高真空扫描隧道显微镜样品台,其特征在于,包括基架和样品固定架,所述的样品固定架高度可调的固定在所述的基架上。
2.根据权利要求
1所述的变温超高真空扫描隧道显微镜样品台,其特征在于,所述的基架包括基底、基底上的固定架、位于固定架上的限位突起,所述的样品固定架通过对称设置的两个螺栓可调节的固定在所述的固定架上、所述限位突起的上方。
3.根据权利要求
2所述的变温超高真空扫描隧道显微镜样品台,其特征在于,所述的基底为扁平的长方体结构,所述的固定架呈长条设置于所述基底的中心、并贯穿所述基底, 所述的限位突起为位于所述固定架中心且和所述固定架等宽的长条状结构。
4.根据权利要求
2所述的变温超高真空扫描隧道显微镜样品台,其特征在于,所述的样品固定架包括基座和固定在基座中心的样品台,所述的基座通过螺栓和所述的固定架固定。
5.根据权利要求
4所述的变温超高真空扫描隧道显微镜样品台,其特征在于,所述的基座为圆柱接圆台的一体结构,所述的样品台呈圆柱状设置于所述基座的顶部中心位置。
6.根据权利要求
1至5任一所述的变温超高真空扫描隧道显微镜样品台,其特征在于, 所述的变温超高真空扫描隧道显微镜样品台的材质采用金属钼。
专利摘要
本实用新型涉及用于变温超高真空扫描隧道显微镜样品台,包括基架和样品固定架,所述的样品固定架高度可调的固定在所述的基架上。本实用新型的样品台的结构使用方便,能够利用多种样品传送系统传递样品,如可以利用基架上的突出部分用真空机械手传样,也可以利用基架和样品固定架间的空隙用磁力传样杆传样,也适用于绝大多数的商业真空样品操纵台。
文档编号G01Q30/00GKCN202041548SQ201120139605
公开日2011年11月16日 申请日期2011年5月5日
发明者马权 申请人:天津众通网络科技服务有限公司导出引文BiBTeX, EndNote, RefMan
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