专利名称：离子束溅射沉积薄膜压力传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种压力测量装置，具体涉及一种压力传感器。
现有压力传感器都由引压咀、弹性与敏感元件、外壳等组成，这种结构存在如下问题引压咀无阻尼特性，无法避免测量压力瞬间扰动对精度的不良影响，引压咀基座与弹性膜片间无应力隔离槽，不能减小传感器使用安装及热应力的不良影响，敏感元件通常为粘贴箔式电阻应变片，手工粘贴定位精度差，箔式电阻应变片不易获得高的内阻，胶层存在着蠕变、不耐老化、不抗辐射等缺点，使得传感器精度低、功耗大、可靠性与长期稳定性下降。
本实用新型之目的旨在提供一种抗干扰能力强、测量精度高、无蠕变、耐老化、抗辐射、内阻高、功耗低、使用寿命长、长期稳定性好的离子束溅射沉积薄膜压力传感器。
本实用新型的技术解决方案是这种离子束溅射沉积薄膜压力传感器具有引压咀、声学滤波头、外壳、输出插座，在引压咀后端固定压力敏感元件组件，压力敏感元件组件包括弹性敏感元件和内套及接线柱，弹性敏感元件又包括弹性元件和敏感元件，敏感元件为离子束溅射沉积及离子束干法刻蚀制作并含有绝缘层、电阻栅、引线层、钝化层的薄膜电阻应变片，薄膜电阻应变片直接制作于弹性元件上。
优点与积极效果本实用新型采用由离子束溅射沉积刻蚀制作的薄膜电阻变应片，无蠕变、耐老化、抗辐射、内阻高、功耗低、定位精度高，与弹性元件分子间结合形成一体，提高了敏感元件的测量精度和长期稳定性，声学滤波头提供对外界测量高频压力扰动的衰减，防止弹性元件瞬间过载，延长传感器的使用寿命，弹性敏感元件与引压咀基座应力隔离槽能降低传感器使用安装时安装应力的影响，增加传感器结构的工作稳定性。因此，本实用新型抗干扰能力强、测量精度高、使用寿命长、长期稳定性好。
图1为本实用新型结构纵向剖视图；图2为弹性敏感元件俯视图；图3为薄膜电阻应变片结构剖视图。
以下结合附图对本实用新型作进一步具体说明
如附图所示，本实用新型在引压咀1的下端装有螺纹联接的毛细管或阻尼纤维所组成的声学滤波头2，杯形的弹性敏感元件3及引压咀1后端焊接基座上具有应力隔离槽4，引压咀1与外壳5焊接，弹性敏感元件3的电气引线经内套6及输出插座7输出，图中R1、R2、R3、R4为离子束溅射沉积及离子束干法刻蚀制作的薄膜电阻应变片，8为薄膜电阻应变片的引线层，9、10为薄膜电阻应变片的绝缘及钝化薄膜层。
权利要求1.一种离子束溅射沉积薄膜压力传感器，具有引压咀、声学滤波头、外壳、输出插座，其特征在于在引压咀后端固定压力敏感元件组件，压力敏感元件组件包括弹性敏感元件和内套及接线柱，弹性敏感元件又包括弹性元件和敏感元件，敏感元件为离子束溅射沉积及离子束干法刻蚀制作并含有绝缘层、电阻栅、引线层、钝化层的薄膜电阻应变片，薄膜电阻应变片直接制作于弹性元件上。
专利摘要一种离子束溅射沉积薄膜压力传感器,具有引压嘴、声学滤波头、外壳,输出插座,在引压嘴后端固定压力敏感元件组件,压力敏感元件组件包括内套、接线柱和弹性敏感元件,弹性敏感元件由离子束溅射沉积及离子束干法刻蚀制作并含绝缘层、电阻栅、引层线、钝化层的薄膜电阻应变片及薄膜电阻应变片制作在弹性元件上构成。本实用新型抗干扰能力强,精度高、使用寿命长、长期稳定性好。
文档编号G01L9/04GK2400795SQ99249979
公开日2000年10月11日 申请日期1999年12月23日 优先权日1999年12月23日
发明者王洪业 申请人:王洪业