在用于半导体测试的本地每引脚测试仪的自动测试设备上伪每站测试仪功能的制作方法_2

文档序号:8460618阅读:来源:国知局
示出了本公开的实施例,并且与说明书一起用于解释本公开的原理。
[0021]图1A示出了传统的自动测试仪系统。
[0022]图1B示出了另一传统的自动测试仪系统。
[0023]图2A示出了在其上可实现本发明的实施例的示例性测试仪系统。
[0024]图2B示出了在其上可实现本发明的实施例的示例性多线程处理。
[0025]图2C示出了在其上可实现本发明的实施例的另一示例性多线程处理。
[0026]图3A是示出了根据本发明的实施例的示例性自动测试仪系统的图。
[0027]图3B是示出了根据本发明的实施例的另一示例性自动测试仪系统的图。
[0028]图4A示出了根据本发明的实施例的自动测试仪系统的示例性资源分配过程图。
[0029]图4B示出了根据本发明的实施例的自动测试仪系统的另一示例性资源分配过程图。
[0030]图4C示出了根据本发明的实施例的自动测试仪系统的另一示例性资源分配过程图。
[0031]图5示出了根据本发明的实施例,示例性资源分配过程的流程图。
【具体实施方式】
[0032]现在将具体参考本公开的各实施例,其示例在附图中示出。虽然结合这些实施例进行说明,但是应该理解的是它们并非意图将本公开限制在这些实施例。相反,本公开意为覆盖可被包括在由所附权利要求限定的本公开的精神和范围内的替换、修改和等同形式。此外,在本公开的以下详细说明中,给出了很多具体细节以便提供对本公开的全面理解。但是,应该理解的是,本公开可在没有这些具体细节的情况下被实现。在其他实例中,熟知的方法、程序、组件和电路没有进行详细说明以便不给本公开的方面带来不必要的模糊。
[0033]【具体实施方式】的以下部分被作为过程来呈现和讨论。虽然本申请中对该过程的操作进行描述的附图(例如图5)公开了其操作和排序,但是该操作和排序是示例性的。实施例非常适合于执行各种其他操作或本申请的附图的流程图中所记载的操作的变化形式,以及以与本申请所示和所述的顺序不同的顺序来执行。
[0034]本申请中所使用的术语控制器、模块、系统等意为指与计算机相关的实体,具体而言,或者是硬件、固件、硬件和软件的组合、软件,或者是执行中的软件。例如,模块可以是,但不限于是在处理器上运行的进程、集成电路、对象、可执行文件、执行线程、程序和/或计算机。例如,在计算设备上运行的应用和计算设备均可以是模块。一个或多个模块可位于执行的处理和/或线程内,并且组件可位于一个计算机上和/或分布在两个或更多个计算机之间。此外,这些模块可从具有存储在其上的各种数据结构的各种计算机可读介质中执行。
[0035]如图2A所呈现的,示出了在其上可实现本发明的实施例的示例性测试仪系统100在实施例中,测试仪系统100可在能够单独或并行测试多个电子组件的任意测试系统中实现。
[0036]测试仪工作站15用作测试仪系统100内的控制器,并且可被用于通过嵌入式处理器70经由输入/输出装置45与DUT 101交互。多个嵌入式处理器70i可被容纳于测试头75中。虽然下面描述了单个嵌入式处理器70,但是本发明的实施例支持如图2A所示的多个嵌入式处理器(嵌入式处理器70i)。此外,每个嵌入式处理器可操作为独立测试其各自的DUT。本发明的实施例还可支持多个输入/输出设备。
[0037]矢量数据5和测试程序30被从输入/输出装置20接收并存储在存储器25中。测试程序30包含提供很多测试服务的指令,这些测试服务包括使用矢量数据5的测试过程、测试结果取回以及故障确定分析。此外,测试程序30可提供在适当的时刻读取和测量测试数据的同步指令。
[0038]存储在存储器25中的程序31使用处理器40读入矢量数据5以及来自测试程序30的指令。然后,程序31使用多线程编程模型创建线程,该线程向测试仪系统内存在的每个嵌入式处理器(例如,嵌入式处理器70)提供来自测试程序30的指令以及矢量数据5。本发明的实施例允许通过跨多个嵌入式处理器的分离线程共享测试程序的可能性。然后,嵌入式处理器70执行被示为存储在存储器50中的其自身的测试程序实例化55。每个嵌入式处理器独立于其他嵌入式处理器来执行其自身的程序。
[0039]矢量数据5可由信号数据组成,该信号数据可以是被施加于DUT的激励,该数据也可以是来自DUT的测量响应的形式。激励信号可以是描述各种逻辑状态的I和O的形式,也可以被描述为电压。矢量数据还可被描述为由I和O组成的序列模式(sequentialpattern)。
[0040]此外,测试仪工作站15可被装备为容纳信号仿真器或信号感知卡10。处理器40使用存储在矢量数据5中的数据来处理来自测试程序30的指令以向DUT 101发送仿真信号或从DUT 101读取信号,其中,从DUTlOl记录的信号数据可被测量以供故障确定分析。信号被用于提供测试资源(例如,时钟资源)、模拟输入信道电路、模拟输出信道电路、数字输入/输出信道电路以及电源。
[0041]以所述方式使用测试仪工作站15允许测试仪工作站15更集中于从故障器件收集故障信息或执行故障分析,从而提高了测试效率。以所述方式使用测试仪工作站15还允许其作为监视器来对特定DUT可能需要的现有测试仪资源的再分配进行协调。因此,测试仪工作站15有能力将由信道(例如,信道80)提供的测试仪资源重新分配给需要由该信道提供的资源的另一测试站。
[0042]测试头75在测试仪系统100内通过输入/输出装置20和45提供测试仪工作站15和DUT 101之间的接口。此外,测试头75提供用于在DUTlOl上执行测试的测试资源,例如,信道80。在对多个DUT以锁步的方式进行测试的并行测试方案中,测试头75可与很多DUT交互,从而产生很多测试站。虽然图2A示出了单个测试头,但是本发明的实施例可支持多个测试头。
[0043]嵌入式处理器70可用作测试仪工作站15的扩展。使用由程序31衍生的线程,程序实例化55使用处理器60来读取矢量数据5并且针对每个DUT执行测试程序30的指令,这可包括向DUT 101发送信号或从DUTlOl读取信号,以及记录给定测试的结果并通过输入/输出装置45将该数据传递给测试仪工作站15以供可能的故障确定分析。嵌入式处理器70还可访问用于提供或读取信号(例如,时钟资源、模拟输入信道电路、模拟输出信道电路、数字输入/输出信道电路以及电源)的仪器。虽然图2A示出了只可访问信道80的嵌入式处理器70,但是本发明的实施例支持可访问多个信道资源的多个嵌入式处理器70i。
[0044]此外,嵌入式处理器70可提供关于在DUT 101上执行的测试的周期性状态更新。例如,如果DUT 101故障,则除了传递该结果,嵌入式处理器70还可将关于在特定站处使用的信道资源的可用性的实时数据传递给测试仪工作站15。因此,在并行测试环境中,测试仪工作站15能够将嵌入式处理器70管辖下的特定信道资源(例如,信道80)重新分配给可使用该资源执行测试的另一 DUT的测试站。这产生了更少的被浪费资源并且改善了多站低效问题。
[0045]图2B提供了在其上可实现本发明的实施例的示例性多线程处理。在实施例中,程序31读入矢量数据5以及测试程序30。使用多线程编程模型,程序31允许由嵌入式处理器70、170和270使用矢量数据5执行的测试程序30的多线程执行,嵌入式处理器70、170和270中每一个具有其自身的程序实例化30。如图所示,线程300向嵌入式处理器70提供来自测试程序30的指令以及矢量数据5。同样,线程350向嵌入式处理器170提供来自测试程序30的指令以及矢量数据5。类似地,线程400向嵌入式处理器270提供来自测试程序30的指令以及矢量数据5。因此,本发明的实施例支持在多个嵌入式处理器之间同时执行测试程序30的实例化。
[0046]此外,本发明的实施例支持在每个嵌入式处理器内的测试程序30的指令的多线程执行。例如,测试控制器70可同时执行测试程序30的每个指令。因此,本发明的实施例支持这样的测试系统:在这些测试系统中,测试仪工作站和/或嵌入式处理器可作为分布式处理系统。
[0047]图2C提供了在其上可实现本发明的实施例的多线程处理的另一示例性图示。图2C还示出了嵌入式处理器70、170和270的每一个可执行其各自的程序30的实例化,这些实例化彼此不同。
[0048]图3A是在其上可实现本发明的实施例的测试站的示例性图示。在实施例中,嵌入式处理器70可在能够单独或并行测试多个电子组件的任意测试系统中实现。
[0049]嵌入式处理器70可通过在测试仪工作站15中运行的程序31衍生的线程经由输入/输出装置45接收矢量数据5和来自测试程序30的测试指令。矢量数据5可由信号数据组成,该信号数据可以是被施加于DUT 101的激励,该数据也可以是来自DUT 101的测量响应的形式。
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