在用于半导体测试的本地每引脚测试仪的自动测试设备上伪每站测试仪功能的制作方法_3

文档序号:8460618阅读:来源:国知局
除了处理由程序55提供的、与执行测试有关的本地指令和将结果传递给测试仪工作站15之外,处理器60还可处理来自程序55的指令以提供与嵌入式处理器70管辖下的信道资源的使用有关的状态更新。例如,嵌入式处理器70的信道80可向DUT 101提供时钟测试资源。此外,信道81可提供模拟激励信号,而信道82可接收响应于由信道81提交的激励信号而输出的模拟信号。信道83可被配置为一旦该信道被连接到相应的引脚183,则向DUTlOl提供并从DUT 101接收数字激励信号。此外,信道84可被配置为当该器件接受测试时通过引脚184向DUT 101提供电源。每个信道可向嵌入式处理器70发送关于其状态的周期性通知。例如,信道80可向测试仪工作站15指示信道80当前正在根据测试程序30执行它被分配的任务,或者其已经完成了它被分配的任务并且正在等待进一步的指令。
[0050]图3B提供了在其上可实现本发明的实施例的示例性多站配置方案。嵌入式处理器70、170和270的每一个可独立测试其各自的DUT (101,201和301)。与先前的示例一样,嵌入式处理器70的信道80可向DUTlOl提供时钟测试资源。此外,信道81可提供模拟激励信号。同样,信道82可接收响应于由信道81提交的激励信号而输出的模拟信号。信道83可被配置为向DUT 101提供并从DUT 101接收数字激励信号。此外,信道84可被配置为当该器件接受测试时通过引脚184向DUT 101提供电源。当信道80到84被连接到DUT101上其各自的引脚(引脚180到184)并且电源被提供给DUT 101时,可发起DUT 101的测试。
[0051]类似地,嵌入式处理器170的信道85可向DUT 201提供时钟测试资源。此外,信道86可提供模拟激励信号。同样,信道87可接收响应于由信道86提交的激励信号而输出的模拟信号。信道88可被配置为向DUT201提供并从DUT 201接收数字激励信号。此外,信道89可被配置为当该器件接受测试时通过引脚189向DUT 201提供电源。当信道85到89被连接到DUT 201上其各自的引脚(引脚185到189)并且电源被提供给DUT 201时,可发起DUT 201的测试。
[0052]此外,嵌入式处理器270的信道90可向DUT 301提供时钟测试资源。此外,信道91可提供模拟激励信号。同样,信道92可接收响应于由信道91提交的激励信号而输出的模拟信号。信道93可被配置为向DUT301提供并从DUT 301接收数字激励信号。此外,信道94可被配置为当该器件接受测试时通过引脚194向DUT 301提供电源。当信道90到94被连接到DUT 301上其各自的引脚(引脚190到194)并且电源被提供给DUT 301时,可发起DUT 301的测试。
[0053]嵌入式处理器70、170和270的每一个独立地执行要使用其各自的信道资源对其各自的器件在本地执行的指令。同样,嵌入式处理器70、170和270的每一个通过由测试仪工作站15衍生的线程来接收矢量数据5和来自测试程序30的测试指令。此外,每个嵌入式处理器可向测试仪工作站15提供关于其各自的信道资源中的每一个的可用性的状态更新。
[0054]例如,如果DUT 101故障,则除了传递该结果,嵌入式处理器70还可将关于信道80到84的可用性的实时数据传递给测试仪工作站15。因此,在并行测试环境中,测试仪工作站15能够将信道80到84重新分配给可使用这些信道资源执行测试的另一 DUT的测试站,其结果是信道80到84的更有效的使用。对于测试仪工作站15,为了重新分配信道80到84,其必须首先与控制测试仪工作站15想要的信道资源的嵌入式处理器70通信。
[0055]测试仪工作站15还可监视每个嵌入式处理器正在做什么并且可与处置器通信以将完成的DUT输出,从故障器件收集故障信息或执行故障分析测试。测试仪工作站15还具有收集另一器件并重新初始化测试的功能。嵌入式处理器70、170和270独立地操作。本发明的实施例允许嵌入式处理器接收相同的指令集或不同的指令集以在其各自的被测器件上执行。
[0056]图4A提供了在其上可实现本发明的实施例的测试仪资源分配方案的示例性图示。与先前的示例一样,嵌入式处理器70的信道80可向DUTlOl提供时钟测试资源。此夕卜,信道81可提供模拟激励信号。同样,信道82可接收响应于由信道81提交的激励信号而输出的模拟信号。信道83可被配置为向DUT 101提供并从DUT 101接收数字激励信号。此外,信道84可被配置为当该器件接受测试时通过引脚184向DUT 101提供电源。当信道80到84被连接到DUT 101上其各自的引脚(引脚180到184)并且电源被提供给DUT 101时,可发起DUT 101的测试。
[0057]此外,图4A呈现了 DUT 101不再需要由分配给它的信道80到84提供的测试仪资源(被示为阴影区域)的情境,因为DUT 101可被认为是“故障”器件或不需要分配给它的资源。嵌入式处理器170的信道85和87均不能提供分别由DUT 201的引脚185和187请求的时钟资源以及接收输出的模拟信号响应的资源(被示为阴影区域)。
[0058]在本发明的实施例中,通过状态更新,嵌入式处理器70可提醒测试仪工作站15:在其管辖下的信道(信道80到84)可被用于再分配。或者,测试仪工作站15可检测信道80和82均不再被DUT 101使用,并且可用于被由测试仪工作站15进行再分配。测试仪工作站15进而将提供时钟资源以及接收输出的模拟信号响应的资源的信道80和82重新分配,这些资源恰好是嵌入式处理器170在DUT 201上执行测试所需的资源。
[0059]如图4B所示,测试仪工作站15向嵌入式处理器70做出资源再分配请求以使所需的测试仪资源对嵌入式处理器170可用,这一请求被嵌入式处理器70同意。属于嵌入式处理器70的阴影信道80和82示出了嵌入式处理器70已接受由测试仪工作站15做出的请求并且已同意将时钟和测量资源重新分配给测试DUT 201的站。阴影信道80和82还指示它们对于DUT 101不再可用。非阴影信道85和87表示所请求的资源已被重新分配给嵌入式处理器170,并且所请求的资源现在对DUT 201可用。
[0060]如图4C所示,现在嵌入式处理器170具有由测试仪工作站15通过嵌入式处理器70变为可用的所需的测试仪资源,并且可执行完成DUT 201的测试所需的任务。阴影DUT引脚185和187示出嵌入式处理器170如何将所请求的资源应用到DUT 201以继续测试该器件。
[0061]图5是描述了根据这里所述的各种实施例的示例性步骤的流程图。
[0062]在步骤510,测试仪工作站通过输入/输出端口接收测试程序指令和矢量数据。矢量数据可由信号数据组成,该信号数据可以是被施加于被测器件(DUT)的激励,该数据也可以是来自DUT的测量响应的形式。激励信号可以是描述各种逻辑状态的I和O的形式,也可以被描述为电压。矢量数据还可被描述为从存储器读取的由I和O组成的序列模式。
[0063]在步骤515,每个嵌入式处理器从测试仪工作站接收其自身的测试程序的指令的实例化以及矢量数据,然后其由每个嵌入式处理器使用在每个嵌入式处理器的管辖内可用的信道资源来执行。每个嵌入式处理器可独立地执行彼此不同的测试程序,或者,它们中的每一个也可执行相同的测试程序。
[0064]在步骤520,每个嵌入式处理器在其各自的DUT上独立地执行其各自的测试程序实例化。此外,每个嵌入式处理器独立地测试其各自的DUT。
[0065]在步骤525,测试仪工作站监视每个嵌入式处理器的关于其各自的信道资源的使用的任意状态更新,以确定每个嵌入式处理器各自的信道资源是否正在被使用。
[0066]在步骤530,做出确定以确定嵌入式处理器是否具有任何未被正在使用的信道资源。如果嵌入式处理器具有任何未被正在使用的信道资源,则由测试仪工作站做出另一确定以查看是否存在正在请求该特定资源的任意嵌入式处理器,如步骤535所详细说明的。如果没有嵌入式处理器正在请求资源,则做出另一确定以确定DUT是否已完成测试,如步骤540所详细说明的。
[0067]在步骤535,做出确定以查看是否存在任何正在请求该特定资源的嵌入式处理器。如果存在正在请求该特定资源的嵌入式处理器,则测试仪工作站将与具有所需的信道资源的嵌入式处理器通信并请求该嵌入式处理器使该信道资源对其他嵌入式处理器可用,如步骤545所详细说明的。如果没有嵌入式处理器正在请求资源,则做出另一确定以确定DUT是否已完成测试,如步骤540所详细说明的。
[0068]在步骤540,做出关于DUT是否已完成测试的确定。如果它们已完成测试,则测试仪工作站将这些器件输出并且接收新的器件以供测试,如步骤550所详细说明的。如果它们未完成测试,则测试仪工作站将继续监视每个嵌
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