探针卡的定位件与探针卡的探针头的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种定位件与探针头，特别是指一种探针卡的定位件与探针卡的探针头。
【背景技术】
[0002]半导体集成电路芯片通常采用探针卡来进行电性测试。探针卡包括印刷电路板、空间转换板及探针头，而探针头至少包含上导板、下导板及多根探针。探针头的上导板与下导板通常具有多个贯孔，且每一贯孔仅容许单一探针穿过。因此，当芯片的待测接点间距变小时，对应的探针头的测试间距也必须对应变小，以符合细微间距(fine pitch)。
[0003]如图1所示，一般用于测试半导体芯片的探针头80，包含一上导板81、一下导板82，以及多根探针90，如图2所示，各探针90的头部92截面概呈圆形，身部94的截面可为椭圆形或方形；为了方便组装探针头80的各组成构件，通常会先将各探针90的头部92定位于一定位件84，定位件84具有多个贯穿定位件84的开口 85。开口 85的形状是由一个圆形与一个椭圆形所叠加成的。开口 85中圆形的部分相似于探针90头部92的截面形状，各探针90的头部92穿设于定位件84的开口 85，使开口 85可拘束探针90，并且再容置于上导板81的上贯穿孔86，使各探针90的身部94延伸至下导板82。
[0004]在组装上述探针头80的时候，是先将定位件84设于下导板82，再使各探针90穿过定位件84的各开口 85，各探针90呈椭圆形的截面形状的身部94也会穿过各开口 85中椭圆形的部分，以避免探针90因为与开口 85的壁面相互干涉接触而产生结构破损。然而，实际使用后发现，开口 85无法有效对探针90的头部92产生定位效果，原因在于探针90的头部92只要稍微受力就会从开口 85中圆形的部分移往侧边的椭圆形的部分。如此一来因为开口 85太大，将会使所有探针90晃动或偏位，使所有探针90的头部92无法一致地对齐并穿过上导板81的上贯穿孔86，使得探针90定位效果不佳、组装难度提高且产品合格率降低。
[0005]另一方面，从图3可看出面积扩大的开口 85会使开口 85之间的距离DlO缩短。在采用如图1的细微间距而未增加间距的探针头80中，若要改用较大针径的探针90，则开口85之间的距离DlO会更加缩短，导致定位件84在该处破裂的机率大增，更使得组装难度进一步提尚且广品合格率进一步降低。故，如何能有效地解决上述缺点，实属当如相关领域亟需改进的目标。
【发明内容】
[0006]针对上述问题，本发明的主要目的在于提供一种探针卡的定位件，用于提供符合细微间距接点的待测物测试的探针卡组装。
[0007]本发明的主要目的还在于提供一种探针卡的探针头，其中探针头所使用的定位件，可用于提供符合细微间距接点的待测物测试的探针卡组装。
[0008]为达到上述目的，本发明所提供的一种探针卡的定位件，其特征在于具有一主开口、一第一副开口、一第二副开口、至少一定位部、至少一弹性部，其中所述第一副开口与所述第二副开口排列于所述主开口的周围并连通于所述主开口，所述至少一定位部与所述至少一弹性部互补，所述至少一弹性部位于所述第一副开口与所述第二副开口之间，所述至少一定位部的刚性大于所述至少一弹性部。
[0009]上述本发明的技术方案中，所述至少一定位部在所述主开口的周围具有一定位边，所述至少一弹性部在所述主开口的周围具有一弹性边，所述定位边的边长大于或等于所述弹性边的边长。
[0010]所述主开口概呈圆形或矩形。
[0011]所述第一副开口与所述第二副开口分别为一直条状、一曲线状或一折线状。
[0012]更具有一第三副开口与一第四副开口，其中所述至少一定位部包括一第一定位部与一第二定位部，所述至少一弹性部包括一第一弹性部与一第二弹性部，所述第一副开口、所述第二副开口、所述第三副开口与所述第四副开口依序排列于所述主开口的周围并连通于所述主开口，所述第一弹性部位于所述第一副开口与所述第二副开口之间，所述第一定位部位于所述第二副开口与所述第三副开口之间，所述第二弹性部位于所述第三副开口与所述第四副开口之间，所述第二定位部位于所述第一副开口与所述第四副开口之间，所述第一定位部的刚性与所述第二定位部的刚性大于所述第一弹性部的刚性与所述第二弹性部的刚性。
[0013]所述第一定位部与所述第二定位部呈相对设置且所述第一弹性部与所述第二弹性部呈相对设置。
[0014]所述第一副开口、所述第二副开口、所述第三副开口与所述第四副开口分别为一直条状、一曲线状或一折线状。
[0015]所述第一副开口、所述第二副开口、所述第三副开口与所述第四副开口远离所述主开口的一端具有弧状边缘。
[0016]所述第一副开口与所述第四副开口之间具有一偏位距离，或者所述第一副开口与所述第二副开口之间具有一偏位距离。
[0017]所述第一定位部在所述主开口的周围具有一第一定位边，所述第二定位部在所述主开口的周围具有一第二定位边，所述第一弹性部在所述主开口的周围具有一第一弹性边，所述第二弹性部在所述主开口的周围具有一第二弹性边，所述第一定位边、所述第二定位边、所述第一弹性边与所述第二弹性边用于支撑一探针。
[0018]所述第一弹性边与所述第二弹性边的边长总合大于或等于所述第一定位边与所述第二定位边的边长总合。
[0019]所述第一副开口与所述第二副开口彼此平行，或者所述第一副开口与所述第三副开口彼此平行。
[0020]相对于通过所述主开口的一几何中心的一对称线，所述第一副开口与所述第二副开口彼此线对称，或者相对于所述主开口的一几何中心，所述第一副开口与所述第三副开口彼此点对称。
[0021 ] 所述第一副开口点对称于所述第三副开口，所述第二副开口点对称于所述第四副开口。
[0022]所述第一副开口与所述第三副开口点对称，所述第二副开口与所述第四副开口点对称，所述第一副开口的长度大于或等于所述第二副开口的长度。
[0023]所述第一副开口与所述第二副开口线对称，所述第三副开口与所述第四副开口线对称，所述第一副开口的长度小于或等于所述第三副开口的长度。
[0024]具有多个所述主开口、多个所述第一副开口、多个所述第二副开口、多个所述第三副开口、多个所述第四副开口、多个所述第一定位部、多个所述第二定位部、多个所述第一弹性部与多个所述第二弹性部，各所述主开口连通对应的一个所述第一副开口、一个所述第二副开口、一个所述第三副开口与一个所述第四副开口，各所述主开口排成一阵列，且任四相邻的各所述主开口排列成一矩形。
[0025]具有多个所述主开口、多个所述第一副开口、多个所述第二副开口、多个所述第三副开口、多个所述第四副开口、多个所述第一定位部、多个所述第二定位部、多个所述第一弹性部与多个所述第二弹性部，各所述主开口连通对应的一个所述第一副开口、一个所述第二副开口、一个所述第三副开口与一个所述第四副开口，各所述主开口排成一阵列，且任三相邻的各所述主开口排列成一三角形。
[0026]本发明还提供了一种探针卡的探针头，其特征在于包括:一上导板，具有多个上贯穿孔；一下导板，位于所述上导板的一侧，具有多个下贯穿孔；一如以上所述的探针卡的定位件，位于所述上导板与所述下导板之间，且具有多个所述主开口 ；多根探针，定位于所述上导板的各所述上贯穿孔与所述下导板的各所述下贯穿孔之间，并穿过所述定位件的各所述主开口。
[0027]采用上述技术方案，本发明的定位件可为探针提供很好的定位效果，且不易损毁探针，定位件的开口与开口之间的部位也不易崩坏。由此，可降低探针卡的探针头的组装难度且提尚探针卡的探针头的广品合格率。
【附图说明】
[0028]图1是习知探针头的示意图；
[0029]图2是习知探针的立体图；
[0030]图3是习知定位件的局部俯视图；
[0031]图4A是本发明一实施例的探针卡的定位件的局部立体图；
[0032]图4B是图4A的定位件的另一种状态的示意图；
[0033]图5A与图5B是本发明另外两个实施例的探针卡的定位件的局部俯视图；
[0034]图6至图12是本发明另外七个实施例的探针卡的定位件的局部俯视图；
[0035]图13是本发明一实施例的探针卡的探针头的示意图；
[0036]图14A与图14B是本发明另外两个实施例的探针卡的定位件的局部俯视图；
[0037]图15是一种适用于本发明的实施例的探针卡的定位件的探针的示意图；
[0038]图16是本发明另一实施例的探针卡的定位件的局部俯视图；