探针卡的定位件与探针卡的探针头的制作方法_2

文档序号:9470310阅读:来源:国知局

[0039]图17是另一种适用于本发明的实施例的探针卡的定位件的探针的示意图。
【具体实施方式】
[0040]为了详细说明本发明的结构、特点及功效,现举以下较佳实施例并配合【附图说明】如下。
[0041]请参照图4A所示,本实施例的探针卡的定位件100有一主开口 110、一第一副开口120、一第二副开口 130、一第三副开口 140、一第四副开口 150、一第一定位部160、一第二定位部170、一第一弹性部180与一第二弹性部190。第一副开口 120、第二副开口 130、第三副开口 140与第四副开口 150依序排列于主开口 110的周围,且第一副开口 120、第二副开口 130、第三副开口 140与第四副开口 150都连通于主开口 110。以第一副开口 120连通于主开口 110为例,在此所说的“连通”是指第一副开口 120直接相接于主开口 110,两者之间没有其他屏障。要先说明的是,定位件上具有多个主开口、多个副开口。在本实施例或其他实施例中仅以其中一个主开口及与主开口连通的第一副开口、第二副开口、第三副开口与第四副开口 ;或者是仅以其中一个主开口及与主开口连通的第一副开口、第二副开口的实施形态进行说明。
[0042]第一弹性部180位于第一副开口 120与第二副开口 130之间。也就是第一弹性部180的三边分别是主开口 110、第一副开口 120与第二副开口 130,而第一弹性部180剩下的另一边则连接至定位件100的其他部分。第一定位部160位于第二副开口 130与第三副开口 140之间。也就是第一定位部160的三边分别是主开口 110、第二副开口 130与第三副开口 140,而第一定位部160剩下的另一边则连接至定位件100的其他部分。第二弹性部190位于第三副开口 140与第四副开口 150之间。也就是第二弹性部190的三边分别是主开口 110、第三副开口 140与第四副开口 150,而第二弹性部190剩下的另一边则连接至定位件100的其他部分。第二定位部170位于第一副开口 120与第四副开口 150之间。也就是第二定位部170的三边分别是主开口 110、第一副开口 120与第四副开口 150,而第二定位部170剩下的另一边则连接至定位件100的其他部分。本实施例中,第一定位部160与第二定位部170呈相对设置,且第一弹性部180与第二弹性部190呈相对设置。
[0043]第一定位部160、第二定位部170、第一弹性部180与第二弹性部190都包含了主开口 110的周围的一部分。第一定位部160、第二定位部170、第一弹性部180与第二弹性部190还互补,在此所说的“互补”是指第一定位部160、第二定位部170、第一弹性部180与第二弹性部190共同构成了主开口 110的整个周围。以本实施例而言,第一定位部160、第二定位部170、第一弹性部180与第二弹性部190共同构成了主开口 110的整个的圆周,除了与第一至第四副开口 120-150连通的部分之外。
[0044]在本实施例的探针卡的定位件100中,第一定位部160的刚性与第二定位部170的刚性大于第一弹性部180的刚性与第二弹性部190的刚性。请同时参照图2、图4A与图4B,当如图2的探针90的具有椭圆形截面的身部94通过主开口 110时,刚性较小的第一弹性部180与第二弹性部190会因为受力而弯折如图4B,因此可避免定位件100与探针90的身部94之间产生过大的作用力,导致定位件100或探针90的损毁。当如图2的探针90的身部94完全通过主开口 110后,探针90的头部92不会压迫第一弹性部180与第二弹性部190,而第一弹性部180与第二弹性部190将恢复原状如图4A所示。而当第一弹性部180与第二弹性部190将恢复原状如图4A的状态时,此时探针90的头部92位于主开口 110。此外,本实施例的第一定位部160在主开口 110的周围具有一第一定位边160A,第二定位部170在主开口 110的周围具有一第二定位边170A,第一弹性部180在主开口 110的周围具有一第一弹性边180A,第二弹性部190在主开口 110的周围具有一第二弹性边190A。第一定位边160A、第二定位边170A、第一弹性边180A与第二弹性边190A用于支撑探针90的头部92。换言之,第一定位边160A、第二定位边170A、第一弹性边180A与第二弹性边190A共同构成了主开口 110的整个的圆周,除了与第一至第四副开口 120-150连通的部分之外。当如图2所示,探针90的头部92位于主开口 110时,第一定位边160A、第二定位边170A、第一弹性边180A与第二弹性边190A共同提供足够的定位力量,以将探针90的头部92限制于主开口 110。如此,可确保定位件100对探针90的头部92的定位力量足够,以在后续组装过程中避免探针90的头部92的位置偏移而无法完成组装或损毁。第一弹性边180A与第二弹性边190A的边长总合可以大于或等于第一定位边160A与第二定位边170A的边长总合,可视实际需求而定,不用于限制本发明。要说明的是,本发明大部分实施例都具有与本实施例相似的定位边与弹性边,但仅以本实施例为例进行说明,合先述明。
[0045]在本实施例中,定位件100的主开口 110的形状是以大致配合所要拘束的探针的头部的截面形状为主,例如是概呈圆形,但本发明不限制主开口的形状。由于本实施例的第一定位部160、第二定位部170、第一弹性部180与第二弹性部190互补,因此他们为了用于支持探针而所提供的形状可对探针的头部提供不错的定位效果。此外,本实施例的定位件100是以薄片状为例,其材质例如可以是聚亚酰胺(Polyimide)。定位件100的主开口 110、第一副开口 120、第二副开口 130、第三副开口 140与第四副开口 150可利用镭射加工、冲压等机械加工或是使用光罩方式直接形成于定位件100。在本实施例中,第一副开口 120、第二副开口 130、第三副开口 140与第四副开口 150为条状。条状的定义大致是指其垂直于延伸方向的方向上的宽度保持定值。另外,第一副开口 120、第二副开口 130、第三副开口 140与第四副开口 150远离主开口 110的一端具有弧状边缘为较佳。举例来说,倘若这些副开口为裂缝的话,裂缝受力后,因为应力集中有可能沿裂缝方向继续裂损下去,因此,第一副开口 120、第二副开口 130、第三副开口 140与第四副开口 150以为条状且远离主开口 110的一端具有弧状边缘为较佳。
[0046]请继续参照图4A,相对于主开口 110的一几何中心C10,第一副开口 120点对称于第三副开口 140,而第二副开口 130点对称于第四副开口 150。第一副开口 120点对称于第三副开口 140的意义是指,以几何中心ClO为点对称的中心,绕几何中心ClO旋转180°后,第一副开口 120与第三副开口 140的轮廓位置和旋转前的轮廓位置完全重合。在此先说明,后续图5A、图5B、图7、图9、图11与图16中的副开口也属于点对称的设计。伴随此设计,相对于主开口 110的几何中心C10,第一定位部160也会点对称于第二定位部170,第一弹性部180点对称于第二弹性部190。如此,有助于稳定地提供探针的头部(或是称为针尾)最佳的定位效果。本实施例中,第一副开口 120、第二副开口 130、第三副开口 140与第四副开口 150都是直条状且彼此平行。第一副开口 120的长度大于第二副开口 130的长度。在其他实施例中,第一副开口、第二副开口、第三副开口与第四副开口也可以分别为一曲线状、一折线状或其他外形。
[0047]接着请参照图5A,本实施例的探针卡的定位件100A与图4A的定位件100相似,差异在于本实施例的定位件100A的这些主开口 110排成一阵列且任意四个相邻的主开口110是排列成一矩形。定位件100A具有多个主开口 110、多个第一副开口 120、多个第二副开口 130、多个第三副开口 140与多个第四副开口 150。类似于图4A的定位件100,图5A中每个主开口 110对应一个第一副开口 120、一个第二副开口 130、一个第三副开口 140与一个第四副开口 150,且连接方式与相对位置都与图4A中所示的相同,因此也有相同于图4A中所示的多个第一定位部160、多个第二定位部170、多个第一弹性部180与多个第二弹性部190。通过这样的设计,这些主开口 110之间的最短距离D22或是这些副开口之间的最短距离D24都比图3的开口 85之间的距离DlO增加不少。因此,本实施例的探针卡的定位件100A可轻易应用在采用细微间距的探针的探针头中,且在探针的针径加大时,主开口 110之间依然能保有相当
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