0A的刚性。互补的定位部360A所提供在主开口 310A旁的定位边360A1与弹性部380A所提供在主开口 310A旁的弹性边380A1可共同为探针提供很好的定位效果。
[0060]接着请参照图14B所示，本实施例的探针卡的定位件300C与图14A的定位件300A相似，在此仅介绍差异处。本实施例的定位件300C的主开口 310C的形状是以大致配合所要拘束的探针的头部的截面形状为主，例如概呈矩形。互补的定位部360C与弹性部380C也一样可共同为探针提供很好的定位效果，且弹性部380C可弹性变形以避免损毁探针。本实施例的定位件300C的主开口 310C的形状是矩形，可用于如图15的MEMS针90B。在MEMS针90B的止挡部92B通过主开口 31C时，弹性部380C会被止挡部92B推挤而弹性变形，待止挡部92B离开主开口 31C后弹性部380C就会恢复原状。
[0061]接着请参照图16所示，本实施例的探针卡的定位件400与图4A的定位件100相似，在此仅介绍差异处。本实施例的定位件400的主开口 410的形状是以大致配合所要拘束的探针的头部的截面形状为主，例如是概呈矩形。互补的第一定位部460、第二定位部470、第一弹性部480与第二弹性部490也一样可共同提供探针很好的定位效果，且第一弹性部480与第二弹性部490可弹性变形以避免损毁探针。本实施例的定位件400的主开口 410的形状是矩形，可用于如图17所示的MEMS针90C。在MEMS针90C的两个止挡部92C通过主开口 410时，第一弹性部480与第二弹性部490分别会被止挡部92C推挤而弹性变形，待止挡部92C离开主开口 410后第一弹性部480与第二弹性部490就会恢复原状。第一定位部460与第二定位部470呈相对设置，且第一弹性部480与第二弹性部490呈相对设置。
[0062]综上所述，在本发明中，定位件的互补的定位部与弹性部可共同为探针提供很好的定位效果，且副开口之间的弹性部可以在探针穿过时提供适当的变形裕度以避免过度摩擦而损毁探针，同时定位件在主开口与主开口之间的强度也因为距离拉大而得到提升，以避免主开口与主开口之间的部位崩坏。由此，降低探针卡的探针头的组装难度且提高探针卡的探针头的产品合格率。
[0063]虽然本发明已通过如上实施例进行揭示，然其并非用于限定本发明，任何所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的创作精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，故本发明的保护范围当以后附的权利要求书所界定的范围为准。
【主权项】
1.一种探针卡的定位件，其特征在于具有一主开口、一第一副开口、一第二副开口、至少一定位部、至少一弹性部，其中所述第一副开口与所述第二副开口排列于所述主开口的周围并连通于所述主开口，所述至少一定位部与所述至少一弹性部互补，所述至少一弹性部位于所述第一副开口与所述第二副开口之间，所述至少一定位部的刚性大于所述至少一弹性部。2.如权利要求1所述的探针卡的定位件，其特征在于:所述至少一定位部在所述主开口的周围具有一定位边，所述至少一弹性部在所述主开口的周围具有一弹性边，所述定位边的边长大于或等于所述弹性边的边长。3.如权利要求1所述的探针卡的定位件，其特征在于:所述主开口概呈圆形或矩形。4.如权利要求1所述的探针卡的定位件，其特征在于:所述第一副开口与所述第二副开口分别为一直条状、一曲线状或一折线状。5.如权利要求1所述的探针卡的定位件，其特征在于:更具有一第三副开口与一第四副开口，其中所述至少一定位部包括一第一定位部与一第二定位部，所述至少一弹性部包括一第一弹性部与一第二弹性部，所述第一副开口、所述第二副开口、所述第三副开口与所述第四副开口依序排列于所述主开口的周围并连通于所述主开口，所述第一弹性部位于所述第一副开口与所述第二副开口之间，所述第一定位部位于所述第二副开口与所述第三副开口之间，所述第二弹性部位于所述第三副开口与所述第四副开口之间，所述第二定位部位于所述第一副开口与所述第四副开口之间，所述第一定位部的刚性与所述第二定位部的刚性大于所述第一弹性部的刚性与所述第二弹性部的刚性。6.如权利要求5所述的探针卡的定位件，其特征在于:所述第一定位部与所述第二定位部呈相对设置且所述第一弹性部与所述第二弹性部呈相对设置。7.如权利要求5所述的探针卡的定位件，其特征在于:所述第一副开口、所述第二副开口、所述第三副开口与所述第四副开口分别为一直条状、一曲线状或一折线状。8.如权利要求7所述的探针卡的定位件，其特征在于:所述第一副开口、所述第二副开口、所述第三副开口与所述第四副开口远离所述主开口的一端具有弧状边缘。9.如权利要求5所述的探针卡的定位件，其特征在于:所述第一副开口与所述第四副开口之间具有一偏位距离，或者所述第一副开口与所述第二副开口之间具有一偏位距离。10.如权利要求5所述的探针卡的定位件，其特征在于:所述第一定位部在所述主开口的周围具有一第一定位边，所述第二定位部在所述主开口的周围具有一第二定位边，所述第一弹性部在所述主开口的周围具有一第一弹性边，所述第二弹性部在所述主开口的周围具有一第二弹性边，所述第一定位边、所述第二定位边、所述第一弹性边与所述第二弹性边用于支撑一探针。11.如权利要求10所述的探针卡的定位件，其特征在于:所述第一弹性边与所述第二弹性边的边长总合大于或等于所述第一定位边与所述第二定位边的边长总合。12.如权利要求5所述的探针卡的定位件，其特征在于:所述第一副开口与所述第二副开口彼此平行，或者所述第一副开口与所述第三副开口彼此平行。13.如权利要求5所述的探针卡的定位件，其特征在于:相对于通过所述主开口的一几何中心的一对称线，所述第一副开口与所述第二副开口彼此线对称，或者相对于所述主开口的一几何中心，所述第一副开口与所述第三副开口彼此点对称。14.如权利要求13所述的探针卡的定位件，其特征在于:所述第一副开口点对称于所述第三副开口，所述第二副开口点对称于所述第四副开口。15.如权利要求13所述的探针卡的定位件，其特征在于:所述第一副开口与所述第三副开口点对称，所述第二副开口与所述第四副开口点对称，所述第一副开口的长度大于或等于所述第二副开口的长度。16.如权利要求13所述的探针卡的定位件，其特征在于:所述第一副开口与所述第二副开口线对称，所述第三副开口与所述第四副开口线对称，所述第一副开口的长度小于或等于所述第三副开口的长度。17.如权利要求5所述的探针卡的定位件，其特征在于:具有多个所述主开口、多个所述第一副开口、多个所述第二副开口、多个所述第三副开口、多个所述第四副开口、多个所述第一定位部、多个所述第二定位部、多个所述第一弹性部与多个所述第二弹性部，各所述主开口连通对应的一个所述第一副开口、一个所述第二副开口、一个所述第三副开口与一个所述第四副开口，各所述主开口排成一阵列，且任四相邻的各所述主开口排列成一矩形。18.如权利要求5所述的探针卡的定位件，其特征在于:具有多个所述主开口、多个所述第一副开口、多个所述第二副开口、多个所述第三副开口、多个所述第四副开口、多个所述第一定位部、多个所述第二定位部、多个所述第一弹性部与多个所述第二弹性部，各所述主开口连通对应的一个所述第一副开口、一个所述第二副开口、一个所述第三副开口与一个所述第四副开口，各所述主开口排成一阵列，且任三相邻的各所述主开口排列成一三角形。19.一种探针卡的探针头，其特征在于包括: 一上导板，具有多个上贯穿孔； 一下导板，位于所述上导板的一侧，具有多个下贯穿孔； 一如权利要求1-18中任一项所述的探针卡的定位件，位于所述上导板与所述下导板之间，且具有多个所述主开口 ； 多根探针，定位于所述上导板的各所述上贯穿孔与所述下导板的各所述下贯穿孔之间，并穿过所述定位件的各所述主开口。
【专利摘要】本发明涉及一种探针卡的定位件与探针头。定位件有一主开口、一第一副开口、一第二副开口、至少一定位部与至少一弹性部。第一副开口与第二副开口排列于主开口的周围并连通于主开口。至少一定位部与至少一弹性部互补。至少一弹性部位于第一副开口与第二副开口之间。至少一定位部的刚性大于至少一弹性部的刚性。由此，可降低探针卡的探针头的组装难度且提高探针卡的探针头的产品合格率。
【IPC分类】G01R1/067, G01R1/04
【公开号】CN105223385
【申请号】CN201510361788
【发明人】陈子扬, 谢尚融, 李忠哲, 陈宗毅, 李天嘉, 郭嘉源, 林哲纬
【申请人】旺矽科技股份有限公司
【公开日】2016年1月6日
【申请日】2015年6月26日
【公告号】DE102015110128A1, US20150377926