探针卡的定位件与探针卡的探针头的制作方法_3

文档序号:9470310阅读:来源:国知局
足够的距离而不会轻易破裂。
[0048]本实施例的第一副开口 120与第二副开口 130之间具有一偏位距离D26。具体而言,第一副开口 120的两端都位于直线LlO上,但第二副开口 130的两端并非同时落于直线LlO上,故第一副开口 120与第二副开口 130之间具有偏位距离D26。另外,第一副开口 120与第四副开口 150之间具有一偏位距离D28。具体而言,第一副开口 120的两端都位于直线LlO上,但第四副开口 150的两端并非同时落于直线LlO上,故第一副开口 120与第四副开口 150之间具有偏位距离D28。当然地,也可以以第二副开口或第四副开口的两端都位于直线上为例,不用于限制本发明。
[0049]接着请参照图5B所示,本实施例的探针卡的定位件100B与图4A的定位件100及图5A的定位件100A相似,差异在于本实施例的定位件100B的任意三个相邻的主开口 110是排列成一三角形。通过这样的设计,本实施例的探针卡的定位件100B可应用在采用了不同排列方式的探针的探针头中,且主开口 110之间依旧保有相当足够的距离而不会轻易破裂。当然,本发明定位件上多个主开口的排列方式(布孔方式)不局限于上述两种实施例,可以依据待测物、使用探针的针径、或定位件的材质不同,而有不同布孔的设置方式,例如可以是单一颗待测物上即有上述两种实施例的布孔方式或是其中一种实施例的布孔方式加上仅有一个主开口的布孔方式等,不用于限制本发明。此外,应了解到,本发明的定位件在不改变其应用条件之下,例如其开口仍为根据待测物上待测接点的位置而设置以及使用探针针径不需改变的情况下,本发明所提供的各种开口形状(例如本实施例或下述各实施例所提供的)也可与先前技术的定位件的开口形状(如图3所示)一同使用在同一个定位件上,不应用于限制本发明。换言之,只要定位件上有至少一个如本发明所提供的具有主开口及第一、二副开口且形成出定位部及弹性部的异形孔,即属于本发明的范围。此外,更应了解到,根据待测物上的待测接点之间的间距,本发明的定位件上多个主开口的排列方式(布孔方式),也可在相同间距下选择将本发明的定位件上的各种开口形状与先前技术的定位件的开口形状(如图3所示)一同使用在同一个定位件上,可视实际使用情况而定。
[0050]接着请参照图6所示,本实施例的探针卡的定位件200A与图4A的定位件100相似,在此仅介绍差异处。本实施例的定位件200A的主开口 210A具有通过其几何中心C20的一对称线L20。相对于对称线L20,第一副开口 220A与第四副开口 250A线对称于第二副开口 230A与第三副开口 240A。第一副开口 220A与第四副开口 250A线对称于第二副开口 230A与第三副开口 240A的意义是指,以对称线L20为线对称的对称线,将定位件200A沿对称线L20对折后,第一副开口 220A与第四副开口 250A的轮廓位置和第二副开口 230A与第三副开口 240A的轮廓位置完全重合。在此先说明,后续图8、图10、图12、图14A与图14B中的副开口也属于线对称的设计。本实施例中,第一副开口 220A的长度小于第三副开口 240A的长度。通过这样的设计,第一副开口 220A与第二副开口 230A之间的弹性部260A的刚性会比第四副开口 250A与第三副开口 240A之间的弹性部260B的刚性低而易于变形且不易损毁。[0051 ] 接着请参照图7所示,本实施例的探针卡的定位件200B与图4A的定位件100相似,在此仅介绍差异处。本实施例中,第一副开口 220B平行于第三副开口 240B,而第二副开口 230B平行于第四副开口 250B,但第一副开口 220B不平行于第二副开口 230B。第一副开口 220B的长度大于第二副开口 230B的长度。另一方面,本实施例的第一定位部264A在主开口 210B的周围具有一第一定位边264A1,第二定位部264B在主开口 210B的周围具有一第二定位边264B1,第一弹性部262A在主开口 210B的周围具有一第一弹性边262A1,第二弹性部262B在主开口 210B的周围具有一第二弹性边262B1。要说明的是,本实施例中的第一、第二定位边264AU264B1与第一、第二弹性边262AU262B1的发明特征如上述图4A所示的实施例所述,在此容不赘述。以及,本实施例的第一副开口 220B与第二副开口 230B之间具有一偏位距离D26B ;另外,第一副开口 220B与第四副开口 250B之间具有一偏位距离D28B,偏位距离D26B与D28B的发明特征如上述图5A所示的实施例所述,在此容不赘述。
[0052]接着请参照图8所示,本实施例的探针卡的定位件200C与图6的定位件200A相似,在此仅介绍差异处。本实施例中,第一副开口 220C平行于第二副开口 230C,但第三副开口 240C不平行于第四副开口 250C。
[0053]接着请参照图9所示,本实施例的探针卡的定位件200D与图7的定位件200B相似,在此仅介绍差异处。本实施例中,第二副开口 230D与第四副开口 250D为直条状,且第一副开口 220D与第三副开口 240D为曲线状。
[0054]接着请参照图10所示,本实施例的探针卡的定位件200E与图8的定位件200C相似,在此仅介绍差异处。本实施例中,第一副开口 220E与第二副开口 230E为直条状,且第三副开口 240E与第四副开口 250E为曲线状。
[0055]接着请参照图11所示,本实施例的探针卡的定位件200F与图7的定位件200B相似,在此仅介绍差异处。本实施例中,第一副开口 220F与第三副开口 240F为折线状,即分别包括相连的两个直线部分220F1、220F2、240F1、240F2。第一副开口 220F远离主开口 210F的部分220F1平行于第二副开口 230F,而第一副开口 220F靠近主开口 210F的部分220F2则没有平行于第二副开口 230F。
[0056]接着请参照图12所示,本实施例的探针卡的定位件200G与图8的定位件200C相似,在此仅介绍差异处。本实施例中,第三副开口 240G与第四副开口 250G为折线状,即分别包括相连的两个直线部分。第三副开口 240G远离主开口 210G的部分平行于第四副开口250G,而第三副开口 240G靠近主开口 210G的部分则没有平行于第四副开口 250G。
[0057]请参照图13与图5A所示,本实施例的探针头20例如适用于一垂直式探针卡,以将垂直式探针卡的一线路基板,例如印刷电路板或空间转换板(space transformer),电性连接至至少一个待测物(Device under test)。具体而言,探针头20包括一上导板21、一下导板22、一定位件100A以及多根探针90。上导板21具有多个上贯穿孔21a。下导板22具有多个下贯穿孔22a。定位件100A位于上导板21与下导板22之间。每根探针90定位于上导板21的上贯穿孔21a与下导板22的下贯穿孔22a之间,并穿过定位件100A的主开口 110。当然地,定位件100A也可以以本发明其他实施例的定位件取代。此外,要说明的是,这些探针90可通过微机电(Micro electro mechanical systems ;MEMS)制程所产生,即是所谓的MEMS针或是通过线材经机械冲压成形所产生,即是所谓的成形针。
[0058]以上探针卡的定位件都以每个主开口对应两个定位部与两个弹性部的副开口为例,但本发明的探针卡的定位件的每个主开口也可以只对应一个定位部与一个弹性部的副开口,或者每个主开口也可以对应更多个定位部与更多个弹性部的副开口。以下,将通过数个实施例说明每个主开口对应一个定位部与一个弹性部的副开口的设计。本发明的探针卡的定位件以及使用上述的定位件的探针头的发明特征已详述于以上实施例,在接下来的实施例中,与之前实施例相同之处将不再赘述,合先述明。
[0059]请参照图14A所示,本实施例的探针卡的定位件300A有一主开口 310A、一第一副开口 320A、一第二副开口 330A、一定位部360A与一弹性部380A。第一副开口 320A与第二副开口 330A排列于主开口 310A的周围,且第一副开口 320A与第二副开口 330A都连通于主开口 310A。弹性部380A位于第一副开口 320A与第二副开口 330A之间。定位部360A与弹性部380A互补,也就是说定位部360A与弹性部380A共同构成了主开口 31A的整个周围。以本实施例而言,定位部360A与弹性部380A共同构成了主开口 31A的整个的圆周,除了与第一副开口 320A及第二副开口 330A连通的部分之外。定位部360A的刚性大于弹性部38
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