X射线检测信号处理单元和具有它的x射线分析装置的制造方法
【专利说明】X射线检测信号处理单元和具有它的X射线分析装置
[0001]相关申请
[0002]本发明要求申请日为2013年7月10日，申请号为JP特愿2013-144520号的申请的优先权，通过参照，其整体作为构成本申请的一部分的内容而引用。
技术领域
[0003]本发明涉及X射线分析装置中的X射线检测信号处理单元的布线。
【背景技术】
[0004]在过去，在X射线分析装置中的X射线检测信号处理单元5C中，如图5所示的那样，作为输出X射线检测器4的输出信号的信号缆线的同轴缆线55、从前置放大器电源56向X射线检测器4的前置放大器50进行供电的前置放大器电源缆线60与将偏置电源供向X射线检测器4的偏置缆线(在图中未示出)分别是各自单独的，具有布线复杂，产生误布线、接触不良、对机械结构物的干扰等的问题。特别是在波长色散型多元素同时荧光X射线分析装置(在图中未示出)中，对于同轴缆线55、前置放大器电源缆线60，必须要求测定信道的数量，布线变得更复杂，外观上也复杂。另外，在扫描型荧光X射线分析装置(在图中未示出)中，由于在扫描时，同轴缆线55、前置放大器电源缆线60与X射线检测器4 一起进行移动，故这些缆线55、60的线材重量构成移动时的负荷。在过去的X射线检测信号处理单元5C中，具有这样的各种问题。
[0005]另外，在X射线分析以外的领域，在分别布置电源线和数据通信用的通信线的分析系统(对车的排气中包含的成分进行分析的分析系统)中，具有布线变复杂，产生接触不良等的不良状况，增加故障的原因的问题。于是，具有下述的分析系统，该分析系统利用通过电源的频率和数据信号的频率等的差异来可识别电源(供给电力)与数据信号的现象，将数据信号叠加于电源线中，从而谋求布线的简化(专利文献1)。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1:JP特开2000-49810号公报
【发明内容】
[0009]发明要解决的课题
[0010]但是，在X射线检测器的输出信号中，上升时较快的频率在10MHz?20MHz的范围内，衰减时的慢的频率为10kHz，具有10kHz?20MHz的范围内的宽频带，在于专利文献1中记载的频率差的分离方法的场合，无法将具有宽频带的频率的X射线检测器的输出信号与电源分离开。
[0011]于是，本发明是针对上述过去的问题而提出的，本发明的目的在于提供一种X射线检测信号处理单元和具有它的X射线分析装置，在该X射线检测信号处理单元中，不必分别要求X射线检测器的输出信号缆线和前置放大器电源缆线，可仅通过同轴缆线55来传送X射线检测器4的输出信号和来自前置放大器电源56的电力，可简化布线，从而消除误布线、接触不良、对机械结构物的干扰等，并且减轻线材的重量。
[0012]用于解决课题的技术方案
[0013]为了实现上述目的，本发明的第1方案的X射线检测信号处理单元通过脉冲处理器来对X射线检测器的输出信号进行处理，该X射线检测信号处理单元包括:前置放大器，该前置放大器对X射线检测器的输出信号进行放大；缓冲放大器，该缓冲放大器对上述前置放大器的输出信号进行稳定处理；同轴缆线，该同轴缆线将上述缓冲放大器的输出端和上述脉冲处理器经由第1电容器而连接于上述缓冲放大器侧，经由第2电容器而连接于上述脉冲处理器侧；前置放大器电源，该前置放大器电源向上述前置放大器和上述缓冲放大器进行供电。另外，上述前置放大器电源和上述前置放大器与上述缓冲放大器通过上述同轴缆线，经由第1电感器而连接于上述前置放大器电源侧，经由第2电感器而连接于上述前置放大器与上述缓冲放大器侧，该X射线检测信号处理单元包括反馈电路，该反馈电路经由第3电容器而将上述第1电容器的上述同轴缆线侧端与上述缓冲放大器的输入端连接。
[0014]按照本发明的第1方案的X射线检测信号处理单元，不必分别要求X射线检测器的输出信号缆线和前置放大器电源缆线，可仅通过同轴缆线来传送X射线检测器的输出信号和来自上述前置放大器电源的电力，可简化布线，从而消除误布线、接触不良、对机械结构物的干扰等，并且减轻线材的重量。
[0015]本发明的第2方案的X射线分析装置包括本发明的第1方案的X射线检测信号处理单元。
[0016]按照本发明的第2方案的X射线分析装置，由于具有本发明的第1方案的X射线检测信号处理单元，故可实现与本发明的第1方案的X射线检测信号处理单元相同的效果。
[0017]权利要求书和/或说明书和/或附图中公开的至少两个结构中的任意的组合均包含在本发明中。特别是，权利要求书中的各项权利要求的两个以上的任意的组合也包含在本发明中。
【附图说明】
[0018]根据参照附图的下面的优选的实施形式的说明，会更清楚地理解本发明。但是，实施形式和附图用于单纯的图示和说明，不应用于限制本发明的范围。本发明的范围由权利要求书确定。在附图中，多个附图中的同一部件标号表示同一或相应部分。
[0019]图1为本发明的实施方式的X射线分析装置的外观结构图；
[0020]图2为表示该装置的X射线检测信号的输入波形和输出波形的图；
[0021]图3为表示实验装置的X射线检测信号的输入波形和输出波形的图；
[0022]图4为利用电源与数据信号的频率差来将数据信号叠加于电源缆线中的实验装置的方框布线图；
[0023]图5为现有的X射线分析装置的X射线检测信号处理单元的方框布线图。
【具体实施方式】
[0024]下面根据图1来对本发明的实施方式的X射线分析装置进行说明。该装置比如为荧光X射线分析装置，该荧光X射线分析装置从X射线源1 (比如X射线管)对试样S照射一次X射线2，不经由分光元件而通过X射线检测器4来测定所产生的二次X射线3的强度，通过X射线检测信号处理单元5A来对相当于该已测定的X射线强度的X射线检测器4的输出信号进行数据处理，并且根据已处理的测定数据来对试样S中包含的元素进行定性分析、定量分析等。该装置包括X射线检测信号处理单元5A，该X射线检测信号处理单元5A通过脉冲处理器52来对X射线检测器4的输出信号进行处理。
[0025]X射线检测信号处理单元5A包括前置放大器50，该前置放大器50对X射线检测器4的输出信号进行放大；缓冲放大器51，该缓冲放大器51对前置放大器50的输出信号进行稳定处理；同轴缆线55，该同轴缆线55将缓冲放大器51的输出端B2与脉冲处理器52的输入端P经由第1电容器53而连接于缓冲放大器侧，经由第2电容器54而连接于脉冲处理器侧；前置放大器电源56，该前置放大器电源56对前置放大器50和缓冲放大器51进行供电。
[0026]在X射线检测信号处理单元5A中，前置放大器电源56与前置放大器50和缓冲放大器51通过同轴缆线55，经由第1电感器57而连接于前置放大器电源侧，经由第2电感器58而连接于前置放大器50和缓冲放大器侧。具体来说，第1电容器53中的设置于同轴缆线侧端的第1端子T1和第2电容器54中的设置于同轴缆线侧端的第2端子T2通过同轴缆线55而连接。另外，X射线检测信号处理单元5A包括反馈电路7，在该反馈电路7中，经由第2电容器59来将第1端子T1和缓冲放大器51的输入端B1连接，从而将缓冲放大器51的输出信号反馈。
[0027]下面根据图1对本实施方式的X射线分析装置的动作进行说明。如果对放置于