一种多层电极位移传感器的制造方法_3

文档序号:8680493阅读:来源:国知局
电极基片110上的接收电极引出端位114对准;由导电颗粒和粘接剂混合而成的异方导通层150将过线板130与发射电极基片110相粘接,同时将过线板130上各发射电极导通端位与发射电极基片
110上各发射电极引出端位--连通,也将接收电极导通端位134与接收电极引出端位114
连通;这样,就使得发射电极基片110上的发射电极组111中同一相位的发射电极相互连通,并通过过线板130上8路发射引出电极组131中的一条发射引出电极引出,N组每组8路发射电极组111的8个不同相位发射电极分别从过线板130上8路发射引出电极组131的八条发射引出电极连接到侦测电路140中的侦测IC 141,接收电极113通过过线板130上接收引出电极133也连接到侦测电路140中的侦测IC 141。
[0042]发射基片110上发射电极组111的电极面朝向耦合电极基片120上耦合电极组121的电极面,耦合电极基片120上的栅状耦合电极组121由N路栅状电极组成,N条耦合电极栅也排成一个整圆环,栅状耦合电极组121的圆心与栅状发射电极组111的圆心相重合,耦合电极组121中各耦合电极部分与发射基片110上的发射电极组111重叠、部分与接收电极113重叠,耦合电极组121将发射电极组111上的电信号传递到接收电极113上。当具有栅状耦合电极组121的耦合基片120在发射基片110上绕环状发射电极组111的圆心转动时,发射基片110上接收电极113接收到的电信号的相位随耦合基片120的转动而变化,并传递到侦测电路140,形成8路驱动鉴相式电容栅角位移传感器100。
[0043]【具体实施方式】二
[0044]如图2a和图2b所示的电容栅角位移传感器200,包括发射电极基片210、耦合电极基片220、过线板230和侦测电路240。发射电极基片210是玻璃材质基片,栅状发射电极组211和接收电极213制备在发射电极基片210的同一表面上,栅状发射电极组211的各发射电极分别具有发射电极引出端位,各发射电极引出端位组成发射电极引出端位组212,接收电极213具有接收电极引出端位214 ;耦合电极基片220也是玻璃材质基片,齿轮状耦合电极221制备在耦合电极基片220上,耦合电极221将发射电极组211上的电信号传递到接收电极213上;过线板230是双层或多层印刷线路板(PCB板),其上制备有发射引出电极组231、接收引出电极233、发射电极导通端位组232和接收电极导通端位234,发射电极导通端位组232和接收电极导通端位234制备在过线板230的同一表面上,发射引出电极组231和接收引出电极233制备在过线板230另外的层上。
[0045]其中图2a是发射电极基片210、耦合电极基片220、过线板230处于分离时的状态,图2b是发射电极基片210、过线板230、耦合电极基片220和侦测电路240组合成角位移传感器200时的状态。发射电极基片210上的栅状发射电极组211由N组每组8路栅状电极组成,8N条发射电极栅排成一个圆环,各发射电极以等角间距分布在圆环形上,各组中同相位的发射电极排列在各组中的相同位置;发射电极向外圈延伸到各自的引出端位,8N个发射电极引出端位组成发射电极引出端位组212 ;栅状发射电极组211同一表面的内圈是圆盘形接收电极213。过线板230上的发射引出电极组231是一组8路电极组,发射电极导通端位组232由N组每组8路导通端位组成,各发射电极导通端位分别与发射电极基片210上的各发射电极引出端位的排列位置相同,每条发射引出电极与发射电极导通端位组232中同相位的N个发射电极导通端位通过导通孔相连通,各条发射引出电极依次与发射电极导通端位组232中不同相位的发射电极导通端位连通;接收电极导通端位234的位置处于发射电极基片210上接收电极213的区域内,接收引出电极233与接收电极导通端位234通过导通孔相连通。
[0046]在发射电极基片210上发射电极引出端位组212处和接收电极213处,涂敷由导电颗粒和粘接剂混合成浆料的异方导通层250,将过线板230与发射电极基片210层叠在一起,过线板230上制备有发射电极导通端位组232和接收电极导通端位234的表面,与发射电极基片210上制备有栅状发射电极组211的表面相向靠紧压接,过线板230上发射电极导通端位组232的各发射电极导通端位与发射电极基片210上发射电极引出端位组212的各发射电极引出端位一一对准,接收电极导通端位234与发射电极基片210上的接收电极引出端位214对准;由导电颗粒和粘接剂混合而成的异方导通层250将过线板230与发射电极基片210相粘接,同时将过线板230上各发射电极导通端位与发射电极基片210上各发射电极引出端位一一连通,也将接收电极导通端位234与接收电极213连通;这样,就使得发射电极基片210上的发射电极组211中同一相位的发射电极相互连通,并通过过线板230上8路发射引出电极组231中的一条发射引出电极引出,N组每组8路发射电极组211的8个不同相位发射电极分别从过线板230上8路发射引出电极组231的八条发射引出电极连接到侦测电路240中的侦测IC 241,接收电极213通过过线板230上接收引出电极233也连接到侦测电路240中的侦测IC 241。
[0047]发射基片210上发射电极组211的电极面背向耦合电极基片220上齿轮状耦合电极221的电极面,耦合电极基片220上的齿轮状耦合电极221由N个齿组成,齿轮状耦合电极221的圆心与栅状发射电极组211的圆心相重合,耦合电极221中各齿状电极部分与发射基片210上的发射电极组211重叠、部分与接收电极213重叠,耦合电极221将发射电极组211上的电信号传递到接收电极213上。当具有齿轮状耦合电极221的耦合基片220在发射基片210上绕环状发射电极组211的圆心转动时,发射基片210上接收电极213接收到的电信号的相位随耦合基片220的转动而变化,并传递到侦测电路240,形成8路驱动鉴相式电容栅角位移传感器200。
[0048]【具体实施方式】三
[0049]如图3a和图3b所示的电容栅角位移传感器300,包括发射电极基片310、耦合电极基片320、过线板330和侦测电路340。发射电极基片310是陶瓷材质基片,栅状发射电极组311和接收电极313制备在发射电极基片310的同一表面上,栅状发射电极组311的各发射电极分别具有发射电极引出端位,各发射电极引出端位组成发射电极引出端位组312,接收电极313具有接收电极引出端位314 ;耦合电极基片320也是陶瓷材质基片,栅状耦合电极组321制备在耦合电极基片320上,耦合电极组321将发射电极组311上的电信号传递到接收电极313上;过线板330是双层或多层印刷线路板(PCB板),其上制备有发射引出电极组331、接收引出电极333、发射电极导通端位组332和接收电极导通端位334,发射电极导通端位组332和接收电极导通端位334制备在过线板330的同一表面上,发射引出电极组331和接收引出电极333制备在过线板330另外的层上。
[0050]其中图3a是发射电极基片310、耦合电极基片320、过线板330处于分离时的状态,图3b是发射电极基片310、过线板330、耦合电极基片320和侦测电路340组合成角位移传感器300时的状态。发射电极基片310上的栅状发射电极组311由N组每组8路栅状电极组成,8N条发射电极栅排成一个圆环,各发射电极以等角间距分布在圆环形上,各组中同相位的发射电极排列在各组中的相同位置;排成圆环的栅状发射电极组311的各发射电极向外圈延伸到各自的引出端位,SN个发射电极引出端位组成发射电极引出端位组312 ;栅状发射电极组311同一表面的内圈是环形接收电极313,环形接收电极313内圈的中心处设置有一通孔315。耦合电极基片320中心与发射电极基片310上通孔315相对应的位置也设置有一通孔322。过线板330上的发射引出电极组331是一组8路电极组,发射电极导通端位组332由N组每组8路导通端位组成,各发射电极导通端位分别与发射电极基片310上的各发射电极引出端位的排列位置相同,每条发射引出电极与发射电极导通端位组332中同相位的N个发射电极导通端位通过导通孔相连通,各条发射引出电极依次与发射电极导通端位组332中不同相位的发射电极导通端位连通。
[0051]在发射电极基片310上发射电极引出端位组312处,涂敷由导电颗粒和粘接剂混合成浆料的异方导通层350,将过线板330与发射电极
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