内表面检查装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种内表面检查装置。该内表面检查装置是将末端配置于被检查物的孔的内部来检查孔的内表面的状态的装置。内表面检查装置具有：棒状透镜；配置于棒状透镜的基端侧的环形照明、同轴照明以及拍摄部；以及照明控制部。棒状透镜在末端侧具有将从径向外侧射入的光朝向基端侧反射的反射部。环形照明将与轴向具有规定的角度的环形的光射入棒状透镜，同轴照明将与轴向大致平行的光射入棒状透镜。照明控制部能够根据光量设定值，控制所述环形照明以及所述同轴照明的开闭，多级调节环形照明以及同轴照明中的至少一个的光量。
【专利说明】
内表面检查装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种检查孔的内表面的状态的内表面检查装置。
【背景技术】
[0002]在电气设备或者汽车等各种装置中存在筒状的部件或者具有筒状的孔部的部件。这样形状的部件是在内部通过流体的管或者与其他部件嵌合的部位等。因此，要求筒状的内表面不存在裂缝或者气泡等缺陷或者要求成型精度的误差较小。例如在用于汽车的引擎的圆筒状的气缸中，其内表面需要以较高地精度完成。
[0003]因此，以往关于筒状的部件或者部件的孔部，为了检查在筒或者孔的内表面是否存在缺陷，使用内表面检查装置。例如在日本特开2009-69374号公报中记载了以往的内表面检查装置。
[0004]上述内表面检查装置具有在末端具有为反射部的斜面的圆柱体。在以往的内表面检查装置中，从圆柱体的基端侧射入照明光，圆柱体的末端配置于孔的内部。由此，以往的内表面检查装置在圆柱体的基端侧将孔的内表面形状作为影像可视化，从而判断在孔的内表面是否存在缺陷。
[0005]在上述文献记载的内表面检查装置中，使用环形照明作为照亮孔的内表面的照明。环形照明射入与轴向具有规定的角度的环状的光。在这样的环形照明中，光向圆柱体的射入角度具有恒定的宽度。因此，在存在于孔的内表面的缺陷的凹凸较小的情况下，在凹凸周边不易发生亮度的变化。因此，在上述内表面检查装置中，在使用环形照明的情况下，难以检测孔的内表面的凹凸较小的缺陷。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型的目的是提供一种能够精确地检测各种缺陷的内表面检查装置。
[0007]本申请的例示性的内表面检查装置具有从基端朝向末端沿轴向延伸的棒状透镜，内表面检查装置至少将末端配置于被检查物的孔的内部，检查构成孔的被检查物的内表面的状态。内表面检查装置具有:棒状透镜;环形照明；同轴照明；拍摄部；以及照明控制部。棒状透镜是柱状，在末端侧具有反射部，并沿轴向延伸。环形照明配置于棒状透镜的所述基端侦U，且将与轴向具有规定的角度的环状的光射入棒状透镜。同轴照明配置于棒状透镜的基端侧，将与轴向大致平行的光射入棒状透镜。拍摄部配置于棒状透镜的基端侧，并拍摄来自反射部的光。照明控制部控制环形照明以及同轴照明。反射部将从径向外侧射入的光向基端侧反射。照明控制部能够根据光量设定值，控制所述环形照明以及所述同轴照明的开闭，多级调节环形照明以及同轴照明中的至少一个的光量。
[0008]内表面检查装置还具有:监视器，其显示拍摄部所拍摄的影像；以及输入部，其输入有光量设定值。
[0009]内表面检查装置还具有缺陷检测部，所述缺陷检测部从所述拍摄部输入拍摄的拍摄数据，对拍摄部所拍摄的影像即拍摄数据进行解析，检测被检查物的所述内表面中的缺陷位置。
[0010]拍摄部是C⑶照相机。
[0011]棒状透镜具有从其末端侧端面朝向基端侧凹陷的凹部。凹部的内表面形成为内径随着从基端侧朝向末端侧而扩展的圆锥形状。
[0012]同轴照明具有半透半反镜和光源。半透半反镜配置于与棒状透镜在轴向上重叠的位置。光源从半透半反镜的径向外侧向所述半透半反镜照射光。
[0013]内表面检查装置还具有:装置主体，其具有棒状透镜、环形照明、同轴照明以及拍摄部；以及工作台，其具有载置台以及工作台驱动部。在载置台载置有装置主体。工作台驱动部是在内部具有马达的载置台的移动机构，工作台驱动部使载置台移动。
[0014]根据本申请的例示性的一实施方式，能够提高内表面检查装置检测各种缺陷的检测精度。
[0015]参照附图并通过以下对本实用新型优选实施方式的详细说明，本实用新型的上述及其他特征、要素、步骤、特点和优点会变得更加清楚。
【附图说明】
[0016]图1是第一实施方式所涉及的内表面检查装置的概略图。
[0017]图2是第一实施方式所涉及的装置主体的剖视图。
[0018]图3是表示第一实施方式所涉及的内表面检查装置的控制系统的模块图。
[0019]图4是表示内表面检查装置的检查工序的流程图。
[0020]图5是表示内表面检查装置的设定工序的流程图。
【具体实施方式】
[0021]以下参照附图对本实用新型的例示性的实施方式进行说明。另外，在本说明书中，分别将与棒状透镜的中心轴线平行的方向称作“轴向”、将与中心轴线正交的方向称作“径向”，将沿以中心轴线为中心的圆弧的方向称作“周向”。
[0022]〈1.第一实施方式〉
[0023]〈1-1.内表面检查装置的结构〉
[0024]图1是本实用新型的第一实施方式所涉及的内表面检查装置I的立体图。图2是装置主体20的剖视图。如图1所示，内表面检查装置I具有:装置主体20;操作部30;工作台40;以及控制部50。
[0025]内表面检查装置I是将后述的棒状透镜21的至少末端配置于被检查物8的孔81的内部，检查具有孔81的被检查物8的内表面810的状态的装置。内表面检查装置I能够检查筒状的部件的内表面或者部件所具有的孔部的内表面等。筒状的部件或者部件所具有的孔部例如构成电气设备或者汽车等各种装置。
[0026]如图1以及图2所示，装置主体20具有:棒状透镜21 ；环形照明22;同轴照明23 ；拍摄部24;以及外壳25。棒状透镜21、环形照明22、同轴照明23以及拍摄部24分别固定于外壳25。
[0027]棒状透镜21是圆柱状的透镜，沿中心轴线9沿轴向延伸。在以下的说明中，将棒状透镜21的两端中的固定于外壳25的端部称作“基端”，将配置于孔81的内部的端部称作“末端”。本实施方式的棒状透镜21由玻璃形成。另外，如果是光透过性高的材料，棒状透镜21也可以由树脂等其他材料形成。
[0028]棒状透镜21具有从末端侧端面朝向基端侧凹陷的凹部211。凹部211的内表面形成为内径随着从基端侧朝向末端侧而扩展的圆锥形状。构成凹部211的棒状透镜21的表面被研磨。棒状透镜21的表面构成反射部212。反射部212将从径向外侧射入的光向基端侧反射，将从基端侧射入的光向径向外侧反射。
[0029]另外，反射部212的圆锥形状的母线与中心轴线9成45度。由此，从径向外侧朝向中心轴线9射入的光在反射部212沿中心轴线9从末端侧向基端侧反射，不在棒状透镜21的外周面进行反射而是朝向棒状透镜21的基端侧端部。
[0030]在本实施方式中，对构成凹部211的棒状透镜21的表面即反射部212实施镜面加工。由此，能够提高反射部212的反射率。反射部212配置于棒状透镜21的最靠末端侧的位置。由此，即使在被检查物的孔在轴向上较长的情况下，也能够检查至被检查物的孔的里侧。
[0031]棒状透镜21的基端侧的端部是被研磨成平面状的基端面213。基端面213相对于中心轴线9垂直地配置。包含基端面213的棒状透镜21的基端侧的端部配置于外壳25内。由此，抑制了来自外部的光从基端面213射入棒状透镜21。
[0032]环形照明22是将与轴向具有规定的角度的环状的光射入棒状透镜21的照明装置。环形照明22配置于棒状透镜21的基端侧。从轴向观察时，环形照明22在中央具有沿轴向贯通的开口部221。环形照明22配置于开口部221的中心与中心轴线9大致一致的位置。环形照明22将与轴向具有规定的角度的环状的光朝向基端面213照射。在此，“规定的角度”指的是大于等于5度小于90度的范围中的恒定的范围。
[0033]如图2中虚线所示，从环形照明22照射的光的至少一部分从基端面213射入棒状透镜21，在棒状透镜21的外周面反射并朝向末端侧前进，通过反射部212朝向径向外侧反射。由此，从环形照明22照射的光的一部分朝向反射部212的径向外侧，照射被检查物8的孔81的内表面810。
[0034]同轴照明23是将与轴向大致平行的光射入棒状透镜21的照明装置。同轴照明23配置于棒状透镜21的基端侧。同轴照明23具有:半透半反镜231;以及光源232。半透半反镜231是分束器，配置于与棒状透镜21在轴向上重叠的位置。半透半反镜231的反射面配置于与轴向成45度的角度的位置。光源232从半透半反镜231的径向外侧朝向半透半反镜231射出光。
[0035]通过该结构，从光源232照射的光在半透半反镜231的反射面朝向轴向末端侧反射。由此，从光源232照射的光成为与轴向大致平行的光，朝向基端面213前进。在此，“与轴向大致平行”指的是与中心轴线9所成的角小于5度。
[0036]如图2中双点划线所述，从同轴照明23照射的光的至少一部分穿过环形照明22的开口部221，从基端面213射入棒状透镜21，在棒状透镜21内朝向末端侧前进，在比反射部212靠径向外侧的位置朝向与轴向大致垂直的方向反射。由此，从同轴照明23照射的光的一部分朝向反射部212的径向外侧，照射内表面810。
[0037]拍摄部24是具有透镜241的CCD照相机。拍摄部24配置于棒状透镜21的基端侧，拍摄来自反射部212的轴向的光。在本实施方式中，拍摄部24的透镜241相对于环形照明22的开口部221以及同轴照明23的半透半反镜231配置于与棒状透镜21相反的一侧的位置。即，透镜241隔着开口部221以及半透半反镜231与棒状透镜21的基端面213在轴向上相向。由此，拍摄部24能够通过基端面213、开口部221以及半透半反镜231拍摄反射在棒状透镜21的反射部212的反射部212的径向外侧的影像。
[0038]操作部30具有:监视器31;以及输入部32。监视器31是显示与内表面检查装置I的各处理相关的各种信息(例如，载置台41的位置信息、拍摄数据S24以及光量设定值S50等)的部位。监视器31例如使用液晶显示器等显示装置。
[0039]输入部32是向控制部50输入各种指令的部位。操作内表面检查装置I的操作者能够一边确认监视器31，一边操作输入部32。输入部32例如使用键盘或者鼠标等。
[0040]另外，操作部30也可以使用监视器31与输入部32—体的装置(例如触摸式的显示器等)O
[0041 ]工作台40具有:载置台41;以及工作台驱动部42。在载置台41载置有装置主体20。工作台驱动部42例如是在内部具有马达的载置台41的移动机构。工作台驱动部42使载置台41的X轴方向(装置主体20的轴向，水平方向)、y轴方向(与X轴方向正交的水平方向)以及z轴方向(与X轴方向以及y轴方向正交的铅垂方向)的位置移动。
[0042]在本实施方式中，通过操作者通过输入部32向控制部50的后述的位置调节部51输入指令，从位置调节部51向工作台驱动部42输入位置调节指令S51。由此，工作台驱动部42按照位置调节指令S51调节载置台41的各方向的位置。另外，位置调节部51例如也可以基于来自位置检测传感器(未图示)的信号等计算出载置台41的各方向的目标位置，输出位置调节指令S51。
[0043]图3是表示内表面检查装置I的控制系统的模块图。如图1以及图3所示，控制部50与装置主体20、操作部30以及工作台40的各部分电连接。本实施方式的控制部50由个人计算机构成。如图3中概略所示，控制部50具有:位置调节部51 ；照明控制部52 ；缺陷检测部53 ；缺陷存储部54;样本存储部55;光量设定值确定部56;以及设定值存储部57。这些各部分51至57的功能通过作为控制部50的计算机按照计算机程序动作来实现。
[0044]位置调节部51为了将载置台41的位置配置于工作台驱动部42的所希望的位置，向工作台驱动部42输出位置调节指令S51。位置调节部51若从输入部32被输入移动指令S32，则按照移动指令S32调节载置台41的位置。位置调节部51以在检查过程中使反射部212依次沿X轴方向移动的方式调节载置台41的位置。
[0045]照明控制部52控制环形照明22以及同轴照明23。具体地说，照明控制部52按照后述的光量设定值S50控制环形照明22以及同轴照明23的开闭，多级调节环形照明22的光量。另外，在本实施方式中，照明控制部52能够多级调节环形照明22的光量。然而，同轴照明23的光量在打开的情况下只能一级调节。但是，在本实用新型中，也可只能一级调节环形照明的光量，多级调节同轴照明的光量，或者也可以多级调节环形照明的光量和同轴照明的光量双方。
[0046]从拍摄部24向缺陷检测部53输入拍摄的拍摄数据S24。缺陷检测部53对拍摄部24所拍摄的影像即拍摄数据S24进行解析，检测被检查物8的内表面810的缺陷位置数据S53。
[0047]在检查工序中，缺陷检测部53将拍摄数据S24以及缺陷位置数据S53输出至操作部30的监视器31。由此，监视器31显示拍摄部24所拍摄的拍摄数据S24和缺陷检测部53检测出的缺陷位置数据S53。
[0048]在后述的设定工序中，缺陷检测部53将检测结果即缺陷位置数据S53输出至缺陷存储部54。另外，也可在设定工序中缺陷检测部53将拍摄数据S24以及缺陷位置数据S53输出至操作部30的监视器31。
[0049]缺陷存储部54存储将光量设定值S50和与该光量设定值S50对应的缺陷位置数据S53配对的检测数据S54。在本实施方式的缺陷存储部54存储多组检测数据S54。
[0050]样本存储部55存储表示事先准备的样品被检查物的缺陷位置的抽样数据S55。
[0051 ]光量设定值确定部56对存储于缺陷存储部54的检测数据S54与存储于样本存储部55的抽样数据S55进行比较，确定光量设定值S50。光量设定值确定部56将确定了的光量设定值S50输出至设定值存储部57。
[0052]在本实施方式中，光量设定值S50通过百分比表示各照明22、23占最大光量的比例。因此，在例如环形照明22的光量是最大光量的50 %，同轴照明23的光亮是最大光亮的100 % (即只是打开)的情况下，光量设定值350为[50%,100%]ο
[0053]在设定值存储部57存储光量设定值S50。在从光量设定值确定部56向设定值存储部57输入光量设定值S50的情况下或者操作者向输入部32输入光量设定值S50的情况下，设定值存储部57的光量设定值S50被改写。在检查工序中，按照存储于设定值存储部57的光量设定值S50，照明控制部52调节环形照明22的光量。
[0054]如上所述，在内表面检查装置I中，使用两种照明(环形照明22与同轴照明23)作为照亮为检查对象的被检查物8的内表面810的照明。
[0055]环形照明22相对于棒状透镜21的基端面213从径向外侧朝向径向内侧的方向照射光。即，若驱动环形照明22，则向棒状透镜21射入与轴向具有规定的角度的环状的光。在只使用环形照明22作为照亮被检查物8的内表面810的照明的情况下，向棒状透镜21的入射角度具有恒定的范围。即，从环形照明22照射的朝向各种方向的光中的位于相对于轴向具有规定的角度范围内的光射入棒状透镜21。在这种情况下，内表面810被包含各种角度的光照射。因此，在形成于内表面810的缺陷的凹凸较小的情况下，在该缺陷周边不易产生亮度的变化。因此，在只使用环形照明22作为照亮被检查物8的内表面810的照明的情况下，内表面检查装置难以检测出凹凸较小的缺陷。
[0056]另一方面，同轴照明23相对于棒状透镜21的基端面照射与中心轴线9大致平行的光。即，若驱动同轴照明23，则向棒状透镜21射入与轴向大致平行的光。因此，内表面810被与中心轴线9大致垂直的光照射。在只使用同轴照明23作为照亮内表面810的照明的情况下，向棒状透镜21的入射角度几乎没有范围。换言之，从同轴照明23向棒状透镜21射入的光的入射角度几乎是恒定的。在这种情况下，内表面810只被朝向恒定方向的光照射。因此，SP使在形成于内表面810的缺陷的凹凸较小的情况下，在该缺陷的周边也容易产生亮度的变化。因此，即使在只使用同轴照明23作为照亮被检查物8的内表面810的照明的情况下，内表面检查装置也容易检测出凹凸较小的缺陷。
[0057]然而，如果只使用同轴照明23作为照亮内表面810的照明，在内表面810附着没有凹凸的清洗痕的情况下，在该清洗痕迹周边有时也产生亮度的变化。因此，在只使用同轴照明23作为照亮内表面810的照明的情况下，内表面检查装置有可能将清洗痕等没有凹凸的污点检测为有凹凸的缺陷。
[0058]在内表面检查装置I中，同时使用环形照明22和同轴照明23两者。由此，抑制了产生上述那样的检测遗漏或者误检测。特别是在内表面检查装置I中，能够多级调节环形照明22和同轴照明23中的至少一个的光量。由此，能够调节环形照明22与同轴照明23的光量的比例。即，内表面检查装置I能够使用具有恰当的定向性的照明进行内表面检查。因此，内表面检查装置I能够检测出较小的凹凸，且能够进行误识别较少的内表面检查。其结果是，能够提高内表面检查装置对各种缺陷的检测精度。
[0059]〈1-2.关于检查工序〉
[0060]接下来，参照图4对使用了内表面检查装置I的检查工序进行说明。图4是表示内表面检查装置I的检查工序的流程的流程图。
[0061]在检查被检查物8的内表面810时，首先，将被检查物8放置于内表面检查装置I(步骤STlOl )。接下来操作者操作输入部32，向控制部50的位置调节部51输入移動指令S32。由此，工作台驱动部42调节载置台41的X轴方向、y轴方向以及z轴方向的位置，对装置主体20与被检查物8的孔81进行位置调整(步骤ST102)。此时，使装置主体20的中心轴线9与孔81的中心轴线80—致。使装置主体20的反射部212配置于孔81的入口附近。
[0062]接下来，控制部50通过位置调节部51驱动工作台驱动部42，使装置主体20沿X轴方向移动，并通过拍摄部24获取拍摄数据S24(步骤ST103)。此时，使环形照明22以及同轴照明23驱动，通过反射部212向孔81的内表面810照射光。拍摄部24通过反射部212拍摄该内表面810的影像。反射部212位于装置主体20的末端。反射部212从孔81的入口向里移动或者从里向入口移动，拍摄部24拍摄孔81的内表面810的影像。由此，该内表面810的各个X轴方向位置的影像被作为拍摄数据S24输入缺陷检测部53。
[0063]在步骤ST103中，按照光量设定值S50，由控制部50的照明控制部52进行环形照明22以及同轴照明23的控制。即，照明控制部52在步骤ST103开始前将环形照明22以及同轴照明23从关闭切换为打开，调节环形照明22的光量。该检查工序中使用的光量设定值S50通过后述的设定工序或者其他方法事先设定。
[0064]接下来，控制部50的缺陷检测部53对输入的拍摄数据S24进行解析，检测内表面810的缺陷位置。缺陷检测部53根据检测出的缺陷位置计算出缺陷位置数据S53，进行有无缺陷的判断(步骤ST104)。监视器31显示在步骤STlO中获取的拍摄数据S24、缺陷位置数据S53以及有无缺陷的判定结果。
[0065]另外，也可以不通过缺陷检测部53判断有无缺陷，而是通过操作者判断。例如，也可以通过操作者目视确认显示于监视器31的拍摄数据S24以及缺陷位置数据S53，操作者判定有无缺陷。也可以控制部50不对拍摄数据S24进行缺陷位置的特定等解析，通过操作者只目视确认显示于监视器31的拍摄数据S24，操作者进行有无缺陷的判断。
[0066]如此一来，步骤ST103至步骤ST104是从环形照明22以及同轴照明23向棒状透镜21的基端侧射入光，基于在棒状透镜21的基端侧获取的反射部212的径向外侧的影像，检查被检查物8的内表面810的状态的检查工序。最迟在该检查工序之前，即步骤ST103之前，需要设定步骤ST103中的检查时的光量设定值S50。
[0067]在通过缺陷检测部53判定有无缺陷之后，将被检查物8从内表面检查装置I卸下(步骤 ST105)。
[0068]〈1-3.关于设定工序〉
[0069]接下来，参照图5对使用了内表面检查装置I的光量设定值S50的设定工序的一个例子进行说明。图5是表示内表面检查装置I的光量设定值S50的设定工序的流程的流程图。
[0070]首先，将已知缺陷位置的样品被检查物放置于内表面检查装置1(步骤ST201)。接下来，与检查工序的步骤STlOl相同，对装置主体20与样品被检查物的孔的位置进行匹配调整(步骤ST202)。此时，使装置主体20的中心轴线9与样品被检查物的孔的中心轴线一致。使装置主体的反射部212配置于样品被检查物的孔的入口附近。
[0071 ] 接下来，控制部50的照明控制部52驱动环形照明22，将环形照明22的光量设定为最大光量的O %，驱动同轴照明23，将同轴照明23的光量设定为最大光量的100 %。即，照明控制部52将光量设定值S50设定为[0% ,100%]。控制部50维持该照明状态，通过位置调节部51驱动工作台驱动部42。控制部50通过工作台驱动部42使装置主体20沿X轴方向移动，通过拍摄部24获取拍摄数据S24(步骤ST203)。
[0072]如此一来，在步骤ST203中，在样品被检查物的孔的内部配置有反射部212的状态下，获取光量设定值S50是规定的值[O %，100 % ]的情况下的反射部212的径向外侧的影像的拍摄数据S24。
[0073]接下来，照明控制部52驱动环形照明22，将环形照明22的光量设定为最大光量的25%，驱动同轴照明23，将同轴照明23的光量设定为最大光量的100%。即，照明控制部52将光量设定值S50设定为[25%，100%]。控制部50维持该照明状态，通过位置调节部51使工作台驱动部42驱动。控制部50通过工作台驱动部42使装置主体20沿X轴方向移动，通过拍摄部24获取拍摄数据S24(步骤ST204)。
[0074]如此一来，在步骤ST204中，在样品被检查物的孔的内部配置有反射部212的状态下，获取光量设定值S50是规定的值[25%，100%]的情况下的反射部212的径向外侧的影像的拍摄数据S24。
[0075]接下来，照明控制部52驱动环形照明22，将环形照明22的光量设定为最大光量的50%，驱动同轴照明23，将同轴照明23的光量设定为最大光量的100%。即，照明控制部52将光量设定值S50设定为[50 %，100 % ]。控制部50维持该照明状态，通过位置调节部51驱动工作台驱动部42。控制部50通过工作台驱动部42使装置主体20沿X轴方向移动，通过拍摄部24获取拍摄数据S24(步骤ST205)。
[0076]并且，照明控制部52驱动环形照明22，将环形照明22的光量设定为75%，驱动同轴照明23，将同轴照明23的光量设定为100 %。即，照明控制部52将光量设定值S50设定为[75%，100%]。控制部50维持该照明状态，通过位置调节部51驱动工作台驱动部42。控制部50通过工作台驱动部42使装置主体20沿X轴方向移动，通过拍摄部24获取拍摄数据S24(步骤ST206)。
[0077]照明控制部52驱动环形照明22，将环形照明22的光量设定为100%，驱动同轴照明23，将同轴照明23的光量设定为100%。即，照明控制部52将光量设定值S50设定为[100%，100%]。并且，控制部50维持该照明状态，通过位置调节部51驱动工作台驱动部42。控制部50通过工作台驱动部42使装置主体20沿X轴方向移动，通过拍摄部24获取拍摄数据S24(步骤ST207)。
[0078]如此一来，在步骤ST203至步骤ST207中，在样品被检查物的孔的内部配置有反射部212的状态下，使环形照明22的光量阶梯式变化，并将在棒状透镜21的基端侧获取的反射部212的径向外侧的影像作为拍摄数据S24获取。
[0079]然后，缺陷检测部53对在步骤ST203至步骤ST207中获取的各拍摄数据S24进行解析，计算出根据各拍摄数据S24检测出的缺陷位置的缺陷位置数据S53(步骤ST208)。缺陷检测部53将与各拍摄数据S24对应的光量设定值S50和缺陷位置数据S53输出至缺陷存储部54。由此，缺陷存储部54存储将与各拍摄数据S24对应的光量设定值S50和缺陷位置数据S53配对的检测数据S54。
[0080]光量设定值确定部56对存储于缺陷检测部53的检测数据S54和存储于样本存储部55的抽样数据S55进行比较，确定恰当的光量设定值S50(步骤ST209)。具体的说，光量设定值确定部56例如将与和抽样数据S55最一致的缺陷位置数据S53为一组的光量设定值S50确定为恰当的光量设定值S50。另外，光量设定值确定部56也可以将与各缺陷位置数据S53的一致率作为基准，基于一系列的计算计算出光量设定值S50。
[0081 ]光量设定值确定部56所确定的光量设定值S50被存储于设定值存储部57。然后，将样品被检查物从内表面检查装置I卸下(步骤ST210)。
[0082]〈2.变形例〉
[0083]以上对本实用新型的例示性的实施方式进行了说明，但是本实用新型不限于上述实施方式。
[0084]在上述实施方式中，对棒状透镜的反射部实施镜面加工。然而，只要反射部能够以一定值以上的反射率(例如60%)将从径向外侧射入的光进行反射，也可以不对反射部进行镜面加工。
[0085]在上述实施方式中，基于在将同轴照明的光量设定为恒定值，使环形照明的光量变化的情况下拍摄的影像确定光量设定值。然而，也可基于在将环形照明的光量设定为恒定值，使同轴照明的光量变化的情况下拍摄的影像确定光量设定值。也可以基于在使环形照明的光量以及同轴照明的光量双方变化的情况下拍摄的影像确定光量设定值。
[0086]在上述实施方式中，在样品被检查物的孔的内部配置有反射部的状态下，基于拍摄的影像确定光量设定值。然而，也可以在为进行检查的对象的被检查物的孔的内部配置有反射部的状态下，根据在使环形照明以及同轴照明的至少一个的光量变化的情况下拍摄的影像确定光量设定值。
[0087]在上述实施方式中，基于拍摄的影像，控制部的光量设定值确定部确定光量设定值。然而，也可基于拍摄的影像，由操作者确定光量设定值。此时，操作者只要一边确认显示于监视器的拍摄数据，一边操作输入部，将光量设定值输入控制部内的设定值存储部即可。
[0088]除此之外，内表面检查装置的细节部分的形状也可与各图不同。并且，上述实施方式和变形例中出现的各要素在不发生矛盾的范围内可以适当组合。
[0089]本实用新型例如能够用于内表面检查装置。
【主权项】
1.一种内表面检查装置，其具有从基端朝向末端沿轴向延伸的棒状透镜，所述内表面检查装置至少将所述末端配置于被检查物的孔的内部，检查构成所述孔的所述被检查物的内表面的状态，其特征在于， 所述内表面检查装置具有: 柱状的所述棒状透镜，其在所述末端侧具有反射部，并沿轴向延伸； 环形照明，其配置于所述棒状透镜的所述基端侧，且将与轴向具有规定的角度的环状的光射入所述棒状透镜； 同轴照明，其配置于所述棒状透镜的所述基端侧，将与轴向大致平行的光射入所述棒状透镜； 拍摄部，其配置于所述棒状透镜的所述基端侧，并拍摄来自所述反射部的光；以及 照明控制部，其控制所述环形照明以及所述同轴照明， 所述反射部将从径向外侧射入的光向所述基端侧反射， 所述照明控制部能够根据相对于所述环形照明以及所述同轴照明的最大光量的比例即光量设定值，控制所述环形照明以及所述同轴照明的开闭，多级调节所述环形照明以及所述同轴照明中的至少一个的光量。2.根据权利要求1所述的内表面检查装置，其特征在于， 所述内表面检查装置还具有: 监视器，其显示所述拍摄部所拍摄的影像；以及 输入部，其输入有所述光量设定值。3.根据权利要求1所述的内表面检查装置，其特征在于， 所述内表面检查装置还具有缺陷检测部，所述缺陷检测部从所述拍摄部输入拍摄的拍摄数据，对所述拍摄部所拍摄的影像即拍摄数据进行解析，检测所述被检查物的所述内表面中的缺陷位置。4.根据权利要求1所述的内表面检查装置，其特征在于， 所述拍摄部是CCD照相机。5.根据权利要求1所述的内表面检查装置，其特征在于， 所述棒状透镜具有从所述末端侧端面朝向所述基端侧凹陷的凹部， 所述凹部的内表面形成为内径随着从所述基端侧朝向所述末端侧而扩展的圆锥形状。6.根据权利要求1所述的内表面检查装置，其特征在于， 所述同轴照明具有半透半反镜和光源， 所述半透半反镜配置于与所述棒状透镜在轴向上重叠的位置， 所述光源从所述半透半反镜的径向外侧向所述半透半反镜照射光。7.根据权利要求1所述的内表面检查装置，其特征在于， 所述内表面检查装置还具有: 装置主体，其具有所述棒状透镜、所述环形照明、所述同轴照明以及所述拍摄部；以及 工作台，其具有载置台以及工作台驱动部， 在所述载置台载置有所述装置主体， 所述工作台驱动部是在内部具有马达的所述载置台的移动机构，所述工作台驱动部使所述载置台移动。
【文档编号】G01N21/90GK205449824SQ201620147597
【公开日】2016年8月10日
【申请日】2016年2月26日
【发明人】野村昭, 吉川幸男
【申请人】日本电产东测有限公司