专利名称：工艺数据的获取方法和装置、设备控制系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及生产线设备控制的技术领域，特别是涉及一种工艺数据的获取方法和装置、一种设备控制系统。
背景技术：
随着单个工艺技术的发展，以及工艺过程的日趋复杂、系统化程度的逐渐提高，工艺过程自动化控制技术也应用得更加广泛。例如，为了全程监控半导体加工工艺过程中的各项数据，分析出现硬件故障或不合格产品的原因，已有方法提出了数据获取功能，这里的数据获取主要是指获取工艺过程中的数据，即随着时间的递增记录下工艺过程中的各个参数值，如压力、温度、射频电压等。 操作人员通过分析获取到的数据，就可以监控生产线设备的状况，发现工艺过程中出现的问题，对工艺过程或者设备进行准确控制或预警，以及，寻找工艺改进的方向，提高工艺的
纟口术寸。参照图1，示出了已有方法一种具有数据获取功能的设备控制系统，其主要包括工厂接口 101、上位机102，下位机103和数据处理模块处理模块104 ；各模块之间相互通讯协作，最终能够实现工厂命令的传达、机台的高效控制，从而使机台达到较高的产率。各模块的功能如下上位机102的开发是为了实现各类半导体加工设备的自动化控制，使之满足生产线自动化生产的需要；具体而言，其向上通过工厂接口 101与工厂主机(FAB HOST)通信，接收和执行工厂下发的生产指令，同时负责将设备的运行时信息反馈给工厂；向下与下位机 103连接，通过特有的调度算法来指挥和协调下位机103的工作，使设备达到符合要求的生产效率；其可以提供友好的图形操作界面，供用户实现对设备的控制；数据处理模块处理模块104主要用于获取工艺数据值，如压力、温度、射频电压等；下位机103，其与上位机102和数据处理模块104进行直接交互，用于定义Data对象，其中，所述Data对象通过结点号和通道号与硬件设备相对应；由于对Data对象的读写操作可以相当于对硬件设备的读写，因此，除了下位机103本身，上位机102和数据处理模块104也可以对所述Data对象进行读写操作。在一种已有方法中，上位机102和数据处理模块104均基于IAP (在程序运行中编程，In Application Programming)开发包IO(Input Output，输入输出)模块的订阅机制进行Data对象的读写操作。订阅机制的原理为如果客户端希望在某个Data对象的值发生变化时得到通知，则可以继承Subscriber类并实现回调函数void update (UntypedData*data， const Valuelnfo&value)，然后调用Data对象的subscribe ()方法注册一个订阅者(Subscriber)。这样，当该Data对象的值发生变化时，服务器端会自动回调所有 Subscriber 对象的 update ()方法。 其中，update (UntypedData氺data，constValuelnfo&value)方法中的UntypedData氺data代表发生变化的Data对象，ValueInfo代表变化后的新值。由于服务器端通过回调Subscriber对象的updateO方法，即能够把Data 对象的更新信息发布到客户端，因此可通过update ()操作来接收该更新信息。基于订阅机制进行Data对象的读写操作的实现过程具体可以包括步骤1、上位机102和数据处理模块104分别继承Subscriber类，并实现回调函数 Update ()；步骤2、上位机102和数据处理模块104分别通过调用下位机103中某个Data对象的subscribe ()方法，注册相应的订阅者，这里的注册顺序自定；步骤3、在Data对象的值发生变化时，下位机103根据步骤2中的注册顺序，分别调用相应订阅者的updataO方法；步骤4、上位机102和数据处理模块104分别通过相应的update ()操作接收更新的信息，并在接收完毕后返回。一个完整的订阅机制的通信既包括服务器端对订阅者的调用又包括该订阅者的返回，且某一时刻只允许一个通信；这样，在服务器端具有多个订阅者时，必须要等待上一个订阅者的返回之后才能调用下一个订阅者；所以，在上一个订阅者没有返回的时候，下一个订阅者是不能被调用的，此时，不能被调用的下一个订阅者就被默认为通信连接失败。针对订阅者的返回，下位机103为Data对象设定相应的时间约束，具体地，一旦某个订阅者的返回超过该时间约束，就自动认为连接超时，数据传送失败，从而关闭通信链路。但是，对于数据处理模块104来说，其在读取数据时，需要涉及到连接、打开、关闭等数据库操作；这样，在连续读取数据时，必然遇到数据库操作过于频繁的问题；同时，由于数据库存储容量的问题，必然会造成数据不能及时存储而造成的数据堆积问题；这些问题都会增加返回时间，也即导致订阅者的不及时返回。因此，在基于订阅机制进行Data对象的读写操作的过程中，由于数据处理模块 104的返回超过上述时间约束的概率非常大，一旦发生，下位机103就会关闭通信链路，而通信链路的关闭会导致所有订阅者的数据传输都不能实现，也即，上位机102和数据处理模块104均不能与下位机103进行数据传输。而对于一个设备控制系统来说，上位机102 与下位机103的通信失败，则表示上位机102不能指挥和协调下位机103的工作，会造成数据丢失、机台状态的不稳定等一系列很严重的、不可允许的问题。总之，需要本领域技术人员迫切解决的一个技术问题就是如何消除数据处理模块与下位机的数据通信对上位机与下位机的数据通信的影响，以避免上位机102与下位机 103之间的通信失败。
发明内容
本发明提供一种工艺数据的获取方法和装置、一种设备控制系统，能够在避免上位机与下位机之间的数据通信失败的同时，提高二者数据通信的有效性。为了解决上述问题，本发明公开了一种工艺数据的获取方法，包括上位机基于订阅机制，获取下位机的数据对象所对应的工艺数据；数据处理模块使用主动读取机制，获取下位机的数据对象所对应的工艺数据。优选的，所述数据处理模块使用主动读取机制，获取下位机的数据对象所对应的工艺数据的步骤，包括所述数据处理模块按照预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口获取当前工艺数据，其中，所述当前工艺数据为下位机通过采集当前工艺过程所获得的工艺数据，所述Remote接口封装有针对下位机的数据对象的操作。优选的，所述数据处理模块按照预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口获取当前工艺数据的步骤，包括按照所述预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口，连续自动获取当前工艺数据。优选的，所述数据处理模块按照预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口获取当前工艺数据的步骤，包括按照所述预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口，手动获取当前工艺数据。优选的，所述数据处理模块按照预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口获取当前工艺数据的步骤，包括按照所述预设时间间隔，调用所述Remote接口的GetValueO方法读取与当前工艺数据。优选的，所述预设时间间隔不超过200ms。另一方面，本发明还公开了一种工艺数据的获取装置，包括上位机、下位机和数据处理模块，其中，所述上位机基于订阅机制，获取下位机的数据对象所对应的工艺数据；所述数据处理模块使用主动读取机制，获取下位机的数据对象所对应的工艺数据。优选的，所述数据处理模块包括获取子模块，用于按照预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口获取当前工艺数据，其中，所述当前工艺数据为下位机通过采集当前工艺过程所获得的工艺数据， 所述Remote接口封装有针对下位机的数据对象的操作。优选的，所述获取子模块包括自动获取单元，用于在工艺过程中，按照所述预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口，连续自动获取当前工艺数据。优选的，所述获取子模块包括手动获取单元，用于按照所述预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口，手动获取当前工艺数据。优选的，所述获取子模块，具体用于按照所述预设时间间隔，调用所述Remote接口的GetValueO方法读取当前工艺数据。优选的，所述预设时间间隔不超过200ms。另一方面，本发明还公开了一种设备控制系统，包括权利要求8至12中任一项所述的工艺数据的获取装置与背景技术的已有方法相比，本发明具有以下优点本发明在获取工艺数据的过程中，上位机与下位机之间的数据通信采用订阅机制，而数据处理模块与下位机之间的数据通信采用主动读取机制。
首先，由于使用不同的通信链路，则这两个数据通信不会相互影响，这样，即使在数据处理模块通信失败的情况下，也不会影响上位机与下位机之间的数据通信；并且，上位机本身并不具备订阅者的不及时返回等引起数据传输阻塞的原因，因此，上位机与下位机之间的数据通信具有稳定性，能够避免上位机与下位机之间的通信失败。其次，根据订阅机制的原理，由于只有在下位机检测到上位机订阅的Data对象的值发生变化时，下位机才会触发二者的数据通信，故上位机与下位机之间的数据通信涉及较小数据量的传输，具有传输时间小和传输效率高的特点，从而能够保证上位机与下位机之间的数据通信的有效性。再者，相对于已有方法使用订阅机制时由下位机(服务器端)触发数据通信，本发明主动读取机制使得数据处理模块掌握对于数据通信的主动权；并且，由于主动读取机制不存在订阅机制使用中的订阅者的返回及时间约束等限制，故对于数据处理模块，其数据库操作过于频繁、数据库存储容量引起的数据堆积等问题都不会对主动读取机制的使用造成影响，从而，使用主动读取机制能够保证数据处理模块与下位机之间数据通信的稳定性。
图1是已有方法一种具有数据获取功能的设备控制系统示意；图2是本发明一种工艺数据的获取方法实施例的流程图；图3是本发明一种工艺数据的获取装置实施例的结构图；图4是本发明一种设备控制系统实施例的结构图。
具体实施例方式为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式
对本发明作进一步详细的说明。
背景技术：
的已有方法中，上位机和数据处理模块对同一 Data对象均基于订阅机制进行读写操作，使得二者使用同一条通信链路与下位机进行数据通信，二者的数据通信相互影响；这也解释了，为何在数据处理模块的数据传输阻塞时，上位机与下位机之间会出现通信失败。由此可见，使用同一条通信链路是上位机与下位机之间通信失败的根本原因。如果使用不同的通信链路，则二者的数据通信不会相互影响，从而使得即使在数据处理模块通信失败的情况下，也不会影响上位机与下位机之间的数据通信。发明人注意到了这一点，因此，创造性地提出了本发明的核心构思之一，也即，上位机与下位机之间的数据通信仍然采用订阅机制，而数据处理模块与下位机之间的数据通信，则采用主动读取机制。参照图2，示出了本发明一种工艺数据的获取方法实施例的流程图，具体可以包括步骤201、上位机基于订阅机制，获取下位机的数据对象所对应的工艺数据；本发明可以应用在各种复杂工艺的自动控制技术中，由上位机和数据处理模块通过下位机从加工工艺过程的各个设备上获取各种工艺数据的值；以方便操作人员全程监控加工工艺过程中的各种工艺数据，分析出现硬件故障或不合格产品的原因。为了简便起见，在本发明的具体实施例中均采用半导体加工工艺为具体应用环境进行介绍，但其并不应作为本发明的应用限制，实际上，本发明可以应用在各种复杂工艺的自动控制技术中，例如，大型化工产品的生产工艺等等。在具体实现中，所述步骤201具体可以包括子步骤Al、上位机继承Subscriber类，并实现回调函数UpdateO ；子步骤A2、上位机通过调用下位机中某个Data对象的subscribe ()方法，注册相应的订阅者，这里，Data对象可与具体的工艺数据(如压力数据、温度数据、射频电压数据等)相应；子步骤A3、当下位机检测到上位机订阅的Data对象的值发生变化时，通回调相应订阅者的update()方法来通知上位机；子步骤A4、上位机依据所述回调，通过相应的update ()操作接收值发生变化的所述Data对象，并在接收完毕后返回。在一个设备控制系统中，上位机具有承上启下的作用，除了向上通过工厂接口软件与工厂主机通信外，其还向下与下位机相连，能够通过特有的调度算法来指挥和协调下位机的工作，使设备达到符合要求的生产效率；由此可见，上位机与下位机之间的数据通信具有至关重要的作用，其对稳定性、效率性具有特殊的要求，具体表现在1)如果通信不稳定或失败，则会造成数据丢失，机台状态的不稳定等一系列很严重的、不可允许的问题；2)如果通信占用时间过多，则会增加上位机的负担，影响其与工厂主机的通信，从而影响整个设备控制系统的生产效率。以下论述本发明实施例中，上位机与下位机之间的数据通信能够满足稳定性和效
率性的理由。首先，上位机与下位机之间的数据通信采用订阅机制，而数据处理模块与下位机之间的数据通信采用主动读取机制，由于使用不同的通信链路，则这两个数据通信不会相互影响，这样，即使在数据处理模块通信失败的情况下，也不会影响上位机与下位机之间的数据通信；并且，对于上位机来说，其返回超过该时间约束的概率非常小甚至微乎其微，因此，本发明实施例中上位机与下位机之间的数据通信具有稳定性；其次，根据订阅机制的原理，由于只有在检测到上位机订阅的Data对象的值发生变化时，下位机才会触发二者的数据通信，故相对于未检测即通信的其它通信机制，本发明实施例中上位机与下位机之间的数据通信涉及较小数据量的传输，从而具有传输时间小和传输效率高的特点。步骤202、数据处理模块使用主动读取机制，获取下位机的数据对象所对应的工艺数据。相对于使用订阅机制时，由下位机(服务器端)触发数据通信，主动读取机制的优点之一在于客户端对于数据通信的主动权，也即，客户端可以在任何时间触发与服务器端的数据通信；并且，由于主动读取机制不存在订阅者的返回及时间约束等限制，故对于数据处理模块，其数据库操作过于频繁、数据库存储容量引起的数据堆积等问题都不会对主动读取机制的使用造成影响，从而，使用主动读取机制能够保证数据处理模块与下位机之间数据通信的稳定性。在具体实现中，所述数据处理模块可以按照预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口获取当前工艺数据，其中，所述当前工艺数据为下位机通过采集当前工艺过程所获得的工艺数据，所述Remote接口封装有针对下位机的Data对象的操作。由于Data对象是与工艺数据相应的，故获取Data对象可以等同于获取工艺数据。 这里，预设时间间隔是指获取Data对象的时间间隔，可由所述数据处理模块根据具体需要设定。关于Remote接口的定义，其封装有对服务器端(下位机)Data实体对象的基本操作，这里的操作可以包括读操作、写操作、信息获取操作等。这样，对于客户端(数据处理模块)而言，Remote接口代表的就是一个远程Data对象，从而客户端可以通过它对相应的 Data对象进行读写和信息获取等操作。具体地，Remote接口可以定义GetValue ()、getInfo()等方法；其中，GetValueO的返回值是RemoteValuelnfo类型，功能是获取远程Data对象的值，远程 Data对象的值信息可以包括Data对象的类型描述信息，有效性、获取时间和值等；因此， 可以按照预设时间间隔，调用所述Remote接口的GetValue ()方法读取下位机的Data对象的值。另夕卜，Bool SetValue (string value, out string err)的功能是对远程 Data 对象进行设值操作，其参数Value代表要设置的数值，string代表类型，err代表设值失败时的错误信息描述，其在设值操作成功时返回true，设值操作失败时返回false。以及， getlnfo ()方法的功能是获取远程Data对象的信息。由于所述Remote接口封装有针对下位机的Data对象的各种基本操作，故在调用 Remote接口时，所述数据处理模块可以针对相应的Data对象进行所述封装的操作，以达到数据获取的目的。需要说明的是，对于基于IAP开发的下位机，IAP开发包可以直接提供所述Remote 接口，并根据实际需要在Remote接口定义SetValue ()、GetValue ()、getlnfo ()等方法；也即，所述数据处理模块可以直接调用所述Remote接口，这样，既具有接口耦合性好、使用方便等优点，同时，可以避免使用其它软件或服务提供的接口，以及，其它软件或服务与本发明实施例的耦合性问题。对于所述数据处理模块按照预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口获取当前工艺数据的步骤，本发明可以提供如下数据获取方案一、自动数据获取方案；自动数据获取方案的思想在于，为满足生产线自动化生产的需要，获取当前工艺所涉及的数据；自动数据获取的启动和停止都受工艺的影响，也即，自动数据获取应发生在工艺的全过程中，只要预设时间间隔和当前工艺所涉及的数据确定，在无例外情况下，在工艺过程中的自动数据获取是不间断的。具体地，在工艺过程中，按照预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口， 连续自动获取与当前工艺数据相应的Data对象的值。以半导体加工工艺为例，在工艺启动和数据处理模块运行后，能够以wafer (硅片)为单位，连续自动获取每片wafer生产过程中的工艺参数和电气参数的数据。这里的工艺参数可为默认，也可为操作人员制定；电气参数大多用二进制数据0、1表示，用于向操作人员呈现某设备的工作状态，例如，用0、1表示阀门是否打开，或者，用0、1表示腔室的电压是否超过阈值等等，本发明对所获取的具体工艺参数和电气参数的数据不加以限制。二、手动数据获取方案。相对于自动数据获取跟随工艺，手动数据获取方案可以脱离于工艺，例如，其获取的当前工艺参数可以包括设备过程参数，虽然这里的设备过程参数可与自动数据获取方案中的工艺参数重复，但是由于所述获取发生在非工艺过程，因此，手动数据获取方案的开始时间和停止时间都可由操作人员控制。具体而言，本方案可以按照所述预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口，手动获取与设备过程参数相应的Data对象的值。以上对两种数据获取方案进行了详细介绍，可以理解，本领域技术人员可以根据需要联合使用所述两种方案，或者，使用其中任一种方案，本发明对此不加以限制。当然，除了上述几种方案，本领域技术人员还可以采用其它数据获取方案，本发明对此也不加以限制。在本发明的一种优选实施例中，所述工艺数据的获取方法还可以包括将所获取Data对象存入数据库；基于数据库操作，获取所获取Data对象的变化。以半导体加工工艺为例，可以根据操作人员设定，将连续自动获取的数据保存到数据库中；在本发明的一种应用示例中，在工艺所对应的数据库中，所保存的数据可用 wafer的Lot ID, Slot ID，recipe及工艺开始时间等信息标识，这里，Lot ID为当前wafer 所在的批量标识，一般地，连续25个wafer对应相同的Lot ID ；Slot ID代表当前wafer所在的摆放位置，通常与wafer —一对应，recipe代表当前wafer所在的工艺配方。对于工艺所对应的数据库，在Data对象不发生变化时是不需要更新的，假设Data 对象对应温度参数，而连续10次获取的温度参数均相同，则不需要更新；因此，在本发明的另一种优选实施例中，所述工艺数据的获取方法还可以包括基于数据库操作，获取所获取Data对象的变化；基于所获取Data对象的变化，更新工艺所对应的数据库。在本发明实施例中，优选的是，所述预设时间间隔不超过200ms，实验数据表明，不超过200ms的预设时间间隔能够很好地满足获取精度的要求。与前述获取方法实施例相应，本发明还公开了一种工艺数据的获取装置，参照图 3，具体可以包括上位机301、下位机302和数据处理模块303，其中，所述上位机301可基于订阅机制，获取下位机302的数据对象所对应的工艺数据；所述数据处理模块303可使用主动读取机制，获取下位机的数据对象所对应的工艺数据。在本发明的一种优选实施例中，所述数据处理模块303可以包括获取子模块Bi，用于按照预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口获取当前工艺数据，其中，所述当前工艺数据为下位机通过采集当前工艺过程所获得的工艺数据，所述Remote接口封装有针对下位机的数据对象的操作。优选的，所述获取子模块Bi，可具体用于按照所述预设时间间隔，调用所述 Remote接口的GetValueO方法读取当前工艺数据。
本发明可以提供如下获取子模块Bl的设计方案设计方案一、基本思想在于，获取当前工艺所涉及的数据，自动数据获取的启动和停止都受工艺的影响，也即，自动数据获取发生在工艺的全过程中，只要预设时间间隔和当前工艺所涉及的数据确定，在无例外情况下，在工艺过程中的自动数据获取是不间断的。相应地，可以在所述获取子模块Bl中设计自动获取单元B11，用于在工艺过程中，按照所述预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口，连续自动获取当前工艺数据。以半导体加工工艺为例，所述当前工艺数据可以包括硅片生产过程中的工艺参数和电气参数。设计方案二、相对于设计方案一跟随工艺，本方案脱离于工艺，且获取对象是设备过程参数，且获取发生在非工艺过程，因此，本方案的开始时间和停止时间都可由操作人员控制。相应地，所述获取子模块Bl可以包括手动获取单元B12，用于按照所述预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote 接口，手动获取当前工艺参数。优选的，所述获取子模块Bl还可以包括控制单元B13，用于控制所述手动获取步骤的开始时间和停止时间。以上对两种获取子模块Bl的设计方案进行了详细介绍，可以理解，本领域技术人员可以根据需要联合使用所述两种方案，或者，使用其中任一种方案，本发明对此不加以限制。当然，除了上述几种方案，本领域技术人员还可以采用其它设计方案，本发明对此也不加以限制。在本发明的一种优选实施例中，所述数据处理模块303还可以包括保存子模块Cl，用于将所获取的Data对象存入数据库。更为优选的，所述数据处理模块303还可以包括变化获取子模块C2，用以基于数据库操作，获取所获取Data对象的变化；更新子模块C3，用以基于所获取Data对象的变化，更新工艺所对应的数据库。在本发明实施例中，优选的是，所述预设时间间隔不超过200ms，实验数据表明，不超过200ms的预设时间间隔能够很好地满足获取精度的要求。上述工艺数据的获取装置可以应用在各种需要数据获取的加工工艺环境中。例如，可以应用于各种加工工艺的设备控制系统中，所述包括工艺数据的获取装置的设备控制系统可用于众多通用或专用的计算系统环境或配置中。例如多处理器系统、服务器、网络PC、小型计算机、大型计算机、包括以上任何系统或设备的分布式计算环境等等。例如，参照图4，示出了本发明一种设备控制系统实施例，其可以包括工厂接口 401、上位机402，下位机403和数据处理模块404，其中，所述上位机402可基于订阅机制，获取下位机403的数据对象所对应的工艺数据；所述数据处理模块404可使用主动读取机制，获取下位机403的数据对象所对应的工艺数据。
本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。对于装置和系统实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。以上对本发明所提供的一种工艺数据的获取方法和装置，以及一种设备控制系统，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式
及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
权利要求
1.一种工艺数据的获取方法，其特征在于，包括上位机基于订阅机制，获取下位机的数据对象所对应的工艺数据； 数据处理模块使用主动读取机制，获取下位机的数据对象所对应的工艺数据。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述数据处理模块使用主动读取机制，获取下位机的数据对象所对应的工艺数据的步骤，包括所述数据处理模块按照预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口获取当前工艺数据，其中，所述当前工艺数据为下位机通过采集当前工艺过程所获得的工艺数据，所述Remote接口封装有针对下位机的数据对象的操作。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述数据处理模块按照预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口获取当前工艺数据的步骤，包括按照所述预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口，连续自动获取当前工艺数据。
4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述数据处理模块按照预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口获取当前工艺数据的步骤，包括按照所述预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口，手动获取当前工艺数据。
5.如权利要求2至4任一所述的方法，其特征在于，所述数据处理模块按照预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口获取当前工艺数据的步骤，包括按照所述预设时间间隔，调用所述Remote接口的GetValueO方法读取与当前工艺数据。
6.如权利要求2或4任一所述的方法，其特征在于，所述预设时间间隔不超过200ms。
7.—种工艺数据的获取装置，包括上位机、下位机和数据处理模块，其特征在于， 所述上位机基于订阅机制，获取下位机的数据对象所对应的工艺数据；所述数据处理模块使用主动读取机制，获取下位机的数据对象所对应的工艺数据。
8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，所述数据处理模块包括获取子模块，用于按照预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口获取当前工艺数据，其中，所述当前工艺数据为下位机通过采集当前工艺过程所获得的工艺数据，所述 Remote接口封装有针对下位机的数据对象的操作。
9.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述获取子模块包括自动获取单元，用于在工艺过程中，按照所述预设时间间隔，通过调用下位机提供的 Remote接口，连续自动获取当前工艺数据。
10.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述获取子模块包括手动获取单元，用于按照所述预设时间间隔，通过调用下位机提供的Remote接口，手动获取当前工艺数据。
11.如权利要求8-10任一所述的装置，其特征在于，所述获取子模块，具体用于按照所述预设时间间隔，调用所述Remote接口的GetValueO方法读取当前工艺数据。
12.如权利要求8-10任一所述的装置，其特征在于，所述预设时间间隔不超过200ms。
13.一种设备控制系统，其特征在于，包括权利要求7至12中任一项所述的工艺数据的获取装置。
全文摘要
本发明提供了一种工艺数据的获取方法和装置、一种设备控制系统，其中的方法具体包括上位机基于订阅机制，获取下位机的数据对象所对应的工艺数据；数据处理模块使用主动读取机制，获取下位机的数据对象所对应的工艺数据。本发明的技术方案，能够消除数据处理模块与下位机的数据通信对上位机与下位机的数据通信的影响，且在避免上位机与下位机之间的数据通信失败的同时，提高二者数据通信的有效性。
文档编号G05B19/418GK102540983SQ20101058399
公开日2012年7月4日 申请日期2010年12月10日 优先权日2010年12月10日
发明者李娟娟, 杨洋, 陈玉静 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司